Untersuchung der strukturellen und dielektrischen Eigenschaften von dünnen Bornitrid-Filmen:
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1998
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GLIEDERUNG
1. EINLEITUNG
1
1.1 MODIFIKATIONEN VON BOMITRID 1
1.2 ABSCHEIDUNG UND CHARAKTERISIERUNG DUENNER BN-FILME 3
1.3 ZIELE DIESER ARBEIT 10
2. MECHANISMEN DER IONENSTRAHLGESTUETZTEN ABSCHEIDUNG 12
2.1 WECHSELWIRKUNG ZWISCHEN IONEN UND FESTKOERPER 12
2.2 DAS STRUCTURE ZONE DIAGRAM' 12
2.3 INTRINSISCHE SPANNUNGEN NACH WINDISCHMANN BZW. DAVIS 13
2.4 TEXTUR VON DUENNEN FILMEN 14
2.5 ABSCHEIDUNG SUPERHARTER MATERIALIEN (TA-C(:H) BZW. C-BN) 16
3. DIELEKTRISCHE UND VIBRONISCHE EIGENSCHAFTEN VON MATERIE 21
3.1 DIELEKTRISCHE FUNKTION 21
3.2 DER HARMONISCHE OSZILLATOR 22
3.3 EFFEKTIVE MEDIEN 23
3.4 VIBRONISCHE EIGENSCHAFTEN VON MATERIE (PHONONEN) 24
3.5 PHAENOMENOLOGISCHE ANSAETZE ZUR WEITEREN PARAMETRISIERUNG 31
3.6 MECHANISMEN DER VERBREITERUNG UND VERSCHIEBUNG DER RESONANZKURVE 30
4. EXPERIMENTELLE DETAILS 35
4.1 HERSTELLUNG UND MODIFIZIERUNG DER BN-FILME 3 5
4.2 POLARISIERTE INFRAROT REFLEXION 39
4.3 WEITERE CHARAKTERISIERUNGSMETHODEN 46
5. PROBLEME BEI DER BESTIMMUNG DES C-BN-ANTEILS 49
6. EINFLUSS DER BOR-ISOTOPEN AUF IR-SPEKTREN 61
7. WEITERE CHARAKTERISIERUNG VON BN-FILMEN 72
8. PARAMETERVARIATION 83
9. TEXTURIERUNG VON H-BN 88
10. DISKUSSION 94
10.1 IR-EIGENSCHAFTEN DER VERSCHIEDENEN BN-PHASEN 94
10.2 ABHAENGIGKEIT DER SCHICHTEIGENSCHAFTEN VON DEPOSITIONSPARAMETER 100
10.3 IONENIMPLANTATION IN BN 104
10.4 VERIFIZIERUNG VON C-BN-WACHSTUMSMECHANISMEN 104
10.5 VERGLEICH BN MIT KOHLENSTOFF 108
10.6 BEDEUTUNG FUER DIE PRAXIS 109
10.7 AUSBLICK HO
11. ZUSAMMENFASSUNG 114
LISTE DER VERWENDETEN SYMBOLE 120
LITERATURLISTE 122
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