Untersuchung der tiefen Störstelle Vanadium in semi-isolierendem 4H- und 6H-SiC mittels des spektralen Lochbrennens:
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3
INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
5
2
VANADIUM
IN
SILIZIUMKARBID
7
2.1
DAS
HALBLEITERMATERIAL
SILIZIUMKARBID
.
7
2.1.1
EIGENSCHAFTEN
UND
BEDEUTUNG
.
7
2.1.2
HERSTELLUNG
.
9
2.1.3
FLACHE
UND
TIEFE
STOERSTELLEN,
DOTIERUNG
.
9
2.1.4
POLYTYPISMUS
.
10
2.2
EIGENSCHAFTEN
DES
VANADIUMS
IN
SILIZIUMKARBID
.
14
2.2.1
OPTISCHE
EIGENSCHAFTEN
UND
ELEKTRONENSPINRESONANZ
(ESR)
.
14
2.2.2
DONATOR
UND
AKZEPTOREIGENSCHAFTEN,
KOMPENSATION
.
17
2.2.3
TERMSCHEMA
DES
VIERWERTIGEN
VANADIUMS
.
18
3
GRUNDLAGEN
DES
SPEKTRALEN
LOCHBRENNENS
21
3.1
NULL-PHONON-LINIEN
.
21
3.1.1
LEBENSDAUER
UND
LINIENBREITE
BEI
0
K
.
22
3.1.2
TEMPERATURVERHALTEN
.
24
3.1.3
INHOMOGENE
LINIENVERBREITERUNG
.
25
3.2
PRINZIP
DES
SPEKTRALEN
LOCHBRENNENS
.
27
3.2.1
UEBERBLICK
.
27
3.2.2
BRENNMECHANISMEN
.
28
3.2.3
STABILITAET
SPEKTRALER
LOECHER
.
31
3.2.4
ANFORDERUNGEN
AN
GEEIGNETE
SYSTEME
.
32
3.2.5
VERGLEICH
MIT
VERWANDTEN
METHODEN
.
34
3.3
ANWENDUNGSMOEGLICHKEITEN
.
35
3.3.1
HOCHAUFGELOESTE
SPEKTROSKOPIE
.
36
3.3.2
OPTISCHE
DATENSPEICHERUNG
.
37
4
INHALTSVERZEICHNIS
4
EXPERIMENTELLER
AUFBAU
39
4.1
UEBERBLICK
.
39
4.2
LASERSYSTEM
.
41
4.3
MESSWERTERFASSUNG
.
43
4.4
VERWENDETE
PROBEN
.
44
5
MESSUNGEN
AM
6H-SIC:V
46
5.1
ABSORPTIONSSPEKTREN
UND
SPEKTRALES
LOCHBRENNEN
.
46
5.2
ANALYSE
DES
BRENNMECHANISMUS
.
51
5.3
SPEKTROSKOPIE
DER
ELEKTRONENFALLEN
.
53
5.3.1
THERMISCHE
STABILITAET
.
55
5.3.2
OPTISCHE
REVERSIBILITAET,
BESTIMMUNG
DER
DONATOMIVEAUS
.
57
5.4
TEMPERATURABHAENGIGKEIT
DER
LINIENBREITEN
.
60
5.5
ZUSAMMENFASSUNG
DER
ERGEBNISSE
.
62
6
MESSUNGEN
AM
4H-SIC:V
64
6.1
ABSORPTIONSSPEKTREN
UND
OPTISCHES
UMLADEN
.
64
6.2
SPEKTROSKOPIE
DER
ELEKTRONENFALLEN
.
68
6.2.1
THERMISCHE
STABILITAET
.
68
6.2.2
OPTISCHE
REVERSIBILITAET,
BESTIMMUNG
DER
DONATOMIVEAUS
.
69
6.3
TEMPERATURABHAENGIGKEIT
DER
LINIENBREITEN
.
71
6.4
ZUSAMMENFASSUNG
DER
ERGEBNISSE
.
74
7
DISKUSSION
UND
VERGLEICH
DER
ERGEBNISSE
IN
6H
UND
4H-SIC
75
7.1
KRISTALLFELDEINFLUSS
UND
TERMSCHEMATA
.
75
7.2
LINIENBREITEN
UND
LEBENSDAUERN
.
77
7.3
DONATOMIVEAUS
UND
6H/4H-BANDDISKONTINUITAET
.
80
7.4
SIC
ALS
MATERIAL
FUER
DAS
SPEKTRALE
LOCHBRENNEN
.
83
8
ZUSAMMENFASSUNG
85
LITERATURVERZEICHNIS
88 |
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