(1998). Integrated sensors, microactuators, & microsystems (MEMS). IEEE.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Integrated Sensors, Microactuators, & Microsystems (MEMS). Piscataway, NJ: IEEE, 1998.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Integrated Sensors, Microactuators, & Microsystems (MEMS). IEEE, 1998.
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