Beiträge zum Saphir-Wafer-Direktbonden:
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | German |
| Published: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
1998
|
| Edition: | Als Ms. gedr. |
| Series: | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 5]
519 |
| Subjects: | |
| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
| Item Description: | Zugl.: Halle, Univ., Diss., 1998 |
| Physical Description: | VI, 74 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 3183519054 |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV012078920 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20030523 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 980729s1998 ad|| mm|| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 953352803 |2 DE-101 | |
| 020 | |a 3183519054 |9 3-18-351905-4 | ||
| 035 | |a (OCoLC)45527387 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV012078920 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-91G |a DE-355 |a DE-703 |a DE-210 |a DE-83 | ||
| 084 | |a UP 3150 |0 (DE-625)146377: |2 rvk | ||
| 084 | |a ELT 356d |2 stub | ||
| 084 | |a ELT 091d |2 stub | ||
| 084 | |a ELT 069d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Kopperschmidt, Pascal |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Beiträge zum Saphir-Wafer-Direktbonden |c Pascal Kopperschmidt |
| 250 | |a Als Ms. gedr. | ||
| 264 | 1 | |a Düsseldorf |b VDI-Verl. |c 1998 | |
| 300 | |a VI, 74 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 5] |v 519 | |
| 500 | |a Zugl.: Halle, Univ., Diss., 1998 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Galliumarsenid |0 (DE-588)4019155-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Bonden |0 (DE-588)4232594-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Mehrschichtsystem |0 (DE-588)4244347-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Wafer |0 (DE-588)4294605-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Saphir |0 (DE-588)4179096-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Saphir |0 (DE-588)4179096-0 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Galliumarsenid |0 (DE-588)4019155-2 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Wafer |0 (DE-588)4294605-0 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Mehrschichtsystem |0 (DE-588)4244347-7 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Bonden |0 (DE-588)4232594-8 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Saphir |0 (DE-588)4179096-0 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Wafer |0 (DE-588)4294605-0 |D s |
| 689 | 1 | 2 | |a Bonden |0 (DE-588)4232594-8 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 810 | 2 | |a 5] |t Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI |v 519 |w (DE-604)BV000016442 |9 519 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=008177854&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
Record in the Search Index
| _version_ | 1805068112972742656 |
|---|---|
| adam_text |
INHALT
1.
EINFUEHRUNG
.
S
EITE
1
2.
THEORETISCHE
GRUNDLAGEN
DER
ADHAESION
.
S
EITE
8
2.1
VAN-DER-WAALS
ODER
DISPERSIVE
KRAEFTE
ZWISCHEN
ATOMEN
UND
MOLEKUELEN
8
2.2
VAN-DER-WAALS
ODER
DISPERSIVE
KRAEFTE
ZWISCHEN
OBERFLAECHEN
.
10
3.
SAPHIR-DIREKTBONDEN
VON
HALBLEITERMATERIALIEN
.
S
EITE
16
3.1
SILICON-ON-SAPPHIRE
(SOS)
.
16
EXPERIMENTELLES
UND
ERGEBNISSE
.
17
3.2 GALLIUMARSENIDE-ON-SAPPHIRE
(GOS)
.
24
EXPERIMENTELLES
UND
ERGEBNISSE
.
25
3.3
GALLIUMARSENID
GEGEN
SILIZIUM
AUF
SAPHIRSUBSTRAT
.
34
EXPERIMENTELLES
UND
ERGEBNISSE
.
35
3.4
ZUSAMMENFASSUNG
.
39
4.
SAPHIR-DIREKTBONDEN
VON
TIEFTEMPERATUR
RELEVANTEN
MATERIALIEN
.
S
EITE
41
4.1
STRONTIUMTITANAT
GEGEN
SAPHIRSUBSTRAT
.
42
EXPERIMENTELLES
UND
ERGEBNISSE
.
43
4.2
POLITUR
VON
YBCO-DUENNSCHICHTEN
.
45
EXPERIMENTELLES
UND
ERGEBNISSE
.
46
4.3 YBCO-DUENNSCHICHTEN
GEGEN
SAPHIR
.
48
EXPERIMENTELLES
UND
ERGEBNISSE
.
49
4.4
(1102)
SAPHIR
GEGEN
SAPHIRSUBSTRAT
.
50
EXPERIMENTELLES
UND
ERGEBNISSE
.
51
4.5
BACK-TO-BACK
WAFER
BONDING:
DOPPELSEITIGE
YBCO-BESCHICHTUNG
DURCH
RUECKSEITIGES
DIREKTBONDEN
VON
EINSEITIG
BESCHICHTETEN
SAPHIR-SUBSTRATEN.
56
EXPERIMENTELLES
UND
ERGEBNISSE.
57
4.6
ZUSAMMENFASSUNG
.
58
5.
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
.
S
EITE
61
6.
ANHANG
.
S
EITE
67
EXPERIMENTELLE
BESTIMMUNG
DES
YOUNGSCHEN
MODUL
E
VON
SRTIOS
.
67
7.
LITERATURVERZEICHNIS
.
S
EITE
70 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Kopperschmidt, Pascal |
| author_facet | Kopperschmidt, Pascal |
| author_role | aut |
| author_sort | Kopperschmidt, Pascal |
| author_variant | p k pk |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV012078920 |
| classification_rvk | UP 3150 |
| classification_tum | ELT 356d ELT 091d ELT 069d |
| ctrlnum | (OCoLC)45527387 (DE-599)BVBBV012078920 |
| discipline | Physik Elektrotechnik |
| edition | Als Ms. gedr. |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV012078920</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20030523</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">980729s1998 ad|| mm|| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">953352803</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3183519054</subfield><subfield code="9">3-18-351905-4</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)45527387</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV012078920</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91G</subfield><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-703</subfield><subfield code="a">DE-210</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">UP 3150</subfield><subfield code="0">(DE-625)146377:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 356d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 091d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 069d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Kopperschmidt, Pascal</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Beiträge zum Saphir-Wafer-Direktbonden</subfield><subfield code="c">Pascal Kopperschmidt</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Als Ms. gedr.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Düsseldorf</subfield><subfield code="b">VDI-Verl.</subfield><subfield code="c">1998</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">VI, 74 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 5]</subfield><subfield code="v">519</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Halle, Univ., Diss., 1998</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Galliumarsenid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4019155-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Bonden</subfield><subfield code="0">(DE-588)4232594-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mehrschichtsystem</subfield><subfield code="0">(DE-588)4244347-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Wafer</subfield><subfield code="0">(DE-588)4294605-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Saphir</subfield><subfield code="0">(DE-588)4179096-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Saphir</subfield><subfield code="0">(DE-588)4179096-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Galliumarsenid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4019155-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Wafer</subfield><subfield code="0">(DE-588)4294605-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Mehrschichtsystem</subfield><subfield code="0">(DE-588)4244347-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Bonden</subfield><subfield code="0">(DE-588)4232594-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Saphir</subfield><subfield code="0">(DE-588)4179096-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Wafer</subfield><subfield code="0">(DE-588)4294605-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Bonden</subfield><subfield code="0">(DE-588)4232594-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="810" ind1="2" ind2=" "><subfield code="a">5]</subfield><subfield code="t">Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI</subfield><subfield code="v">519</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV000016442</subfield><subfield code="9">519</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=008177854&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV012078920 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-20T03:44:56Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3183519054 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008177854 |
| oclc_num | 45527387 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91G DE-BY-TUM DE-355 DE-BY-UBR DE-703 DE-210 DE-83 |
| owner_facet | DE-91G DE-BY-TUM DE-355 DE-BY-UBR DE-703 DE-210 DE-83 |
| physical | VI, 74 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1998 |
| publishDateSearch | 1998 |
| publishDateSort | 1998 |
| publisher | VDI-Verl. |
| record_format | marc |
| series2 | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 5] |
| spelling | Kopperschmidt, Pascal Verfasser aut Beiträge zum Saphir-Wafer-Direktbonden Pascal Kopperschmidt Als Ms. gedr. Düsseldorf VDI-Verl. 1998 VI, 74 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 5] 519 Zugl.: Halle, Univ., Diss., 1998 Galliumarsenid (DE-588)4019155-2 gnd rswk-swf Bonden (DE-588)4232594-8 gnd rswk-swf Mehrschichtsystem (DE-588)4244347-7 gnd rswk-swf Wafer (DE-588)4294605-0 gnd rswk-swf Saphir (DE-588)4179096-0 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Saphir (DE-588)4179096-0 s Galliumarsenid (DE-588)4019155-2 s Wafer (DE-588)4294605-0 s Mehrschichtsystem (DE-588)4244347-7 s Bonden (DE-588)4232594-8 s DE-604 5] Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI 519 (DE-604)BV000016442 519 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=008177854&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Kopperschmidt, Pascal Beiträge zum Saphir-Wafer-Direktbonden Galliumarsenid (DE-588)4019155-2 gnd Bonden (DE-588)4232594-8 gnd Mehrschichtsystem (DE-588)4244347-7 gnd Wafer (DE-588)4294605-0 gnd Saphir (DE-588)4179096-0 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4019155-2 (DE-588)4232594-8 (DE-588)4244347-7 (DE-588)4294605-0 (DE-588)4179096-0 (DE-588)4113937-9 |
| title | Beiträge zum Saphir-Wafer-Direktbonden |
| title_auth | Beiträge zum Saphir-Wafer-Direktbonden |
| title_exact_search | Beiträge zum Saphir-Wafer-Direktbonden |
| title_full | Beiträge zum Saphir-Wafer-Direktbonden Pascal Kopperschmidt |
| title_fullStr | Beiträge zum Saphir-Wafer-Direktbonden Pascal Kopperschmidt |
| title_full_unstemmed | Beiträge zum Saphir-Wafer-Direktbonden Pascal Kopperschmidt |
| title_short | Beiträge zum Saphir-Wafer-Direktbonden |
| title_sort | beitrage zum saphir wafer direktbonden |
| topic | Galliumarsenid (DE-588)4019155-2 gnd Bonden (DE-588)4232594-8 gnd Mehrschichtsystem (DE-588)4244347-7 gnd Wafer (DE-588)4294605-0 gnd Saphir (DE-588)4179096-0 gnd |
| topic_facet | Galliumarsenid Bonden Mehrschichtsystem Wafer Saphir Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=008177854&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| volume_link | (DE-604)BV000016442 |
| work_keys_str_mv | AT kopperschmidtpascal beitragezumsaphirwaferdirektbonden |