Beiträge zum Saphir-Wafer-Direktbonden:
Gespeichert in:
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|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
1998
|
| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 5]
519 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Zugl.: Halle, Univ., Diss., 1998 |
| Beschreibung: | VI, 74 S. Ill., graph. Darst. |
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INHALT
1.
EINFUEHRUNG
.
S
EITE
1
2.
THEORETISCHE
GRUNDLAGEN
DER
ADHAESION
.
S
EITE
8
2.1
VAN-DER-WAALS
ODER
DISPERSIVE
KRAEFTE
ZWISCHEN
ATOMEN
UND
MOLEKUELEN
8
2.2
VAN-DER-WAALS
ODER
DISPERSIVE
KRAEFTE
ZWISCHEN
OBERFLAECHEN
.
10
3.
SAPHIR-DIREKTBONDEN
VON
HALBLEITERMATERIALIEN
.
S
EITE
16
3.1
SILICON-ON-SAPPHIRE
(SOS)
.
16
EXPERIMENTELLES
UND
ERGEBNISSE
.
17
3.2 GALLIUMARSENIDE-ON-SAPPHIRE
(GOS)
.
24
EXPERIMENTELLES
UND
ERGEBNISSE
.
25
3.3
GALLIUMARSENID
GEGEN
SILIZIUM
AUF
SAPHIRSUBSTRAT
.
34
EXPERIMENTELLES
UND
ERGEBNISSE
.
35
3.4
ZUSAMMENFASSUNG
.
39
4.
SAPHIR-DIREKTBONDEN
VON
TIEFTEMPERATUR
RELEVANTEN
MATERIALIEN
.
S
EITE
41
4.1
STRONTIUMTITANAT
GEGEN
SAPHIRSUBSTRAT
.
42
EXPERIMENTELLES
UND
ERGEBNISSE
.
43
4.2
POLITUR
VON
YBCO-DUENNSCHICHTEN
.
45
EXPERIMENTELLES
UND
ERGEBNISSE
.
46
4.3 YBCO-DUENNSCHICHTEN
GEGEN
SAPHIR
.
48
EXPERIMENTELLES
UND
ERGEBNISSE
.
49
4.4
(1102)
SAPHIR
GEGEN
SAPHIRSUBSTRAT
.
50
EXPERIMENTELLES
UND
ERGEBNISSE
.
51
4.5
BACK-TO-BACK
WAFER
BONDING:
DOPPELSEITIGE
YBCO-BESCHICHTUNG
DURCH
RUECKSEITIGES
DIREKTBONDEN
VON
EINSEITIG
BESCHICHTETEN
SAPHIR-SUBSTRATEN.
56
EXPERIMENTELLES
UND
ERGEBNISSE.
57
4.6
ZUSAMMENFASSUNG
.
58
5.
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
.
S
EITE
61
6.
ANHANG
.
S
EITE
67
EXPERIMENTELLE
BESTIMMUNG
DES
YOUNGSCHEN
MODUL
E
VON
SRTIOS
.
67
7.
LITERATURVERZEICHNIS
.
S
EITE
70 |
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