Titansilizide auf Silizium-Germaniumschichten:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Demuth, Volker (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:German
Veröffentlicht: Erlangen Friedrich-Alexander-Univ., Lehrstuhl für Mikrocharakterisierung 1998
Schriftenreihe:Mikrostrukturelle Materialforschung 6
Schlagworte:
Beschreibung:Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1998
Beschreibung:142 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:3932392078

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