Konzeption und Herstellung von Mikrosonden zur elektrischen und thermischen Charakterisierung mikroelektronischer Bauelemente mittels der Rasterkraftmikroskopie:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1997
|
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | XIII, 138 S. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV011993487 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19980824 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 980608s1997 ad|| m||| 00||| gerod | ||
| 016 | 7 | |a 953846971 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)245777379 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV011993487 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-91 |a DE-29T |a DE-355 |a DE-706 |a DE-11 |a DE-188 | ||
| 084 | |a ELT 359d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Münster, Stefan |d 1967- |e Verfasser |0 (DE-588)120235382 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Konzeption und Herstellung von Mikrosonden zur elektrischen und thermischen Charakterisierung mikroelektronischer Bauelemente mittels der Rasterkraftmikroskopie |c von Stefan Münster |
| 264 | 1 | |c 1997 | |
| 300 | |a XIII, 138 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Kassel, Univ.-GHS., Diss., 1997 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Integrierte Schaltung |0 (DE-588)4027242-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Halbleiterbauelement |0 (DE-588)4113826-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Rasterkraftmikroskopie |0 (DE-588)4274473-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Rasterkraftmikroskopie |0 (DE-588)4274473-8 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Integrierte Schaltung |0 (DE-588)4027242-4 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Halbleiterbauelement |0 (DE-588)4113826-0 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Rasterkraftmikroskopie |0 (DE-588)4274473-8 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008116561 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804126588928786432 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Münster, Stefan 1967- |
| author_GND | (DE-588)120235382 |
| author_facet | Münster, Stefan 1967- |
| author_role | aut |
| author_sort | Münster, Stefan 1967- |
| author_variant | s m sm |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV011993487 |
| classification_tum | ELT 359d |
| ctrlnum | (OCoLC)245777379 (DE-599)BVBBV011993487 |
| discipline | Elektrotechnik |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01523nam a2200397 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV011993487</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19980824 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">980608s1997 ad|| m||| 00||| gerod</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">953846971</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)245777379</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV011993487</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-706</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield><subfield code="a">DE-188</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 359d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Münster, Stefan</subfield><subfield code="d">1967-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)120235382</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Konzeption und Herstellung von Mikrosonden zur elektrischen und thermischen Charakterisierung mikroelektronischer Bauelemente mittels der Rasterkraftmikroskopie</subfield><subfield code="c">von Stefan Münster</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1997</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">XIII, 138 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Kassel, Univ.-GHS., Diss., 1997</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Integrierte Schaltung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4027242-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Halbleiterbauelement</subfield><subfield code="0">(DE-588)4113826-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Rasterkraftmikroskopie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4274473-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Rasterkraftmikroskopie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4274473-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Integrierte Schaltung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4027242-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Halbleiterbauelement</subfield><subfield code="0">(DE-588)4113826-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Rasterkraftmikroskopie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4274473-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008116561</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV011993487 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T18:19:51Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008116561 |
| oclc_num | 245777379 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-29T DE-355 DE-BY-UBR DE-706 DE-11 DE-188 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-29T DE-355 DE-BY-UBR DE-706 DE-11 DE-188 |
| physical | XIII, 138 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1997 |
| publishDateSearch | 1997 |
| publishDateSort | 1997 |
| record_format | marc |
| spelling | Münster, Stefan 1967- Verfasser (DE-588)120235382 aut Konzeption und Herstellung von Mikrosonden zur elektrischen und thermischen Charakterisierung mikroelektronischer Bauelemente mittels der Rasterkraftmikroskopie von Stefan Münster 1997 XIII, 138 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Kassel, Univ.-GHS., Diss., 1997 Integrierte Schaltung (DE-588)4027242-4 gnd rswk-swf Halbleiterbauelement (DE-588)4113826-0 gnd rswk-swf Rasterkraftmikroskopie (DE-588)4274473-8 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Rasterkraftmikroskopie (DE-588)4274473-8 s Integrierte Schaltung (DE-588)4027242-4 s DE-604 Halbleiterbauelement (DE-588)4113826-0 s |
| spellingShingle | Münster, Stefan 1967- Konzeption und Herstellung von Mikrosonden zur elektrischen und thermischen Charakterisierung mikroelektronischer Bauelemente mittels der Rasterkraftmikroskopie Integrierte Schaltung (DE-588)4027242-4 gnd Halbleiterbauelement (DE-588)4113826-0 gnd Rasterkraftmikroskopie (DE-588)4274473-8 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4027242-4 (DE-588)4113826-0 (DE-588)4274473-8 (DE-588)4113937-9 |
| title | Konzeption und Herstellung von Mikrosonden zur elektrischen und thermischen Charakterisierung mikroelektronischer Bauelemente mittels der Rasterkraftmikroskopie |
| title_auth | Konzeption und Herstellung von Mikrosonden zur elektrischen und thermischen Charakterisierung mikroelektronischer Bauelemente mittels der Rasterkraftmikroskopie |
| title_exact_search | Konzeption und Herstellung von Mikrosonden zur elektrischen und thermischen Charakterisierung mikroelektronischer Bauelemente mittels der Rasterkraftmikroskopie |
| title_full | Konzeption und Herstellung von Mikrosonden zur elektrischen und thermischen Charakterisierung mikroelektronischer Bauelemente mittels der Rasterkraftmikroskopie von Stefan Münster |
| title_fullStr | Konzeption und Herstellung von Mikrosonden zur elektrischen und thermischen Charakterisierung mikroelektronischer Bauelemente mittels der Rasterkraftmikroskopie von Stefan Münster |
| title_full_unstemmed | Konzeption und Herstellung von Mikrosonden zur elektrischen und thermischen Charakterisierung mikroelektronischer Bauelemente mittels der Rasterkraftmikroskopie von Stefan Münster |
| title_short | Konzeption und Herstellung von Mikrosonden zur elektrischen und thermischen Charakterisierung mikroelektronischer Bauelemente mittels der Rasterkraftmikroskopie |
| title_sort | konzeption und herstellung von mikrosonden zur elektrischen und thermischen charakterisierung mikroelektronischer bauelemente mittels der rasterkraftmikroskopie |
| topic | Integrierte Schaltung (DE-588)4027242-4 gnd Halbleiterbauelement (DE-588)4113826-0 gnd Rasterkraftmikroskopie (DE-588)4274473-8 gnd |
| topic_facet | Integrierte Schaltung Halbleiterbauelement Rasterkraftmikroskopie Hochschulschrift |
| work_keys_str_mv | AT munsterstefan konzeptionundherstellungvonmikrosondenzurelektrischenundthermischencharakterisierungmikroelektronischerbauelementemittelsderrasterkraftmikroskopie |