Lasergestützte Abscheidung dünner Edelmetallschichten zum Heißgaskorrosionsschutz für Molybdän:
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
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Format: | Buch |
Sprache: | German |
Veröffentlicht: |
Stuttgart
Teubner
1998
|
Schriftenreihe: | Laser in der Materialbearbeitung
|
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
Beschreibung: | Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1998 |
Beschreibung: | 163 S. Ill., graph. Darst. |
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INHALTSVERZEICHNIS
KURZFASSUNG
.
5
FORMELZEICHEN
UND
ABKUERZUNGEN
.
9
1
EINFUEHRUNG
.
11
1.1
EINLEITUNG
UND
AUFGABENSTELLUNG
.
11
1.2
WERKSTOFFE
FUER
HOCHTEMPERATURANWENDUNGEN
.
13
1.2.1
METALLOXIDE
UND
SILIZIUMVERBINDUNGEN
.
14
1.2.2
SUPERLEGIERUNGEN
AUF
NI-/CO-BASIS
.
14
1.2.3
HOCHSCHMELZENDE
METALLE
.
15
1.3
VERFAHREN
ZUR
BESCHICHTUNG
VON
HOCHTEMPERATURWERKSTOFFEN
.
16
1.3.1
THERMISCHE
SPRITZVERFAHREN
.
17
1.3.2
THERMOCHEMISCHE
VERFAHREN
.
18
1.3.3
WALZPLATTIEREN
.
19
1.3.4
GALVANISCHE
BESCHICHTUNG
.
19
1.3.5
PHYSICAL
VAPOUR
DEPOSITION
(PVD)
.
20
2
AUSWAHL
VON
BASIS
UND
BESCHICHTUNGSWERKSTOFF
FUER
DIE
PLD
.
24
3
BESCHICHTEN
DURCH
LASERABLATION
.
33
3.1
LASERBESCHICHTUNGSANLAGE
.
33
3.2
LASERKENNDATEN
.
34
3.3
DURCHFUEHRUNG
DER
BESCHICHTUNGSVERSUCHE
.
37
3.4
ABTRAGSVERHALTEN
BEI
DER
LASERABLATION
.
37
4
SUBSTRATVORBEHANDLUNG
.
39
5
BESCHICHTUNGSERGEBNISSE
.
45
5.1
PLD
MIT
DEM
ND:Y
AG-LASER
.
45
5.1.1
ABLATION
MIT
DER
WELLENLAENGE
1064
NM
UND
DER
PULSDAUER
9.6
NS
.
45
5.1.1.1
ENERGIESPEZIFISCHER
MASSENABTRAG
.
47
5.1.1.2
TROEPFCHENDICHTE
.
52
5.1.1.3
SCHICHTSTRUKTUR
.
56
5.1.1.4
SCHICHTDICKENVERTEILUNG
.
64
8
INHALTSVERZEICHNIS
5.1.1.5
EINFLUSS
DER
LEISTUNGSDICHTE
UND
DER
ABLATIONSDAUER
AUF
DIE
BILDUNG
DER
OBERFLAECHENSTRUKTUR
AM
TARGET
.
76
5.1.1.6
EINFLUSS
DER
TARGETSTRUKTUR
AUF
DAS
ABLATIONS
UND
SCHICHTBILDUNGS
VERHALTEN
IM
VERLAUF
ZUNEHMENDER
ABLATIONSDAUER
.
84
5.1.2
ABLATION
MIT
DER
WELLENLAENGE
532
NM
UND
DER
PULSDAUER
9
NS
.
91
5.1.3
ABLATION
MIT
DER
WELLENLAENGE
266
NM
UND
DER
PULSDAUER
8
NS
.
100
5.1.4
ABLATION
MIT
DER
WELLENLAENGE
1064
NM
UND
DER
PULSDAUER
33
PS
.
103
5.2
ABLATION
VON
PT,
IR,
RH,
PTRH30
MIT
EINEM
EXCIMER-LASER
.
108
5.3
ABTRAGSEFFIZIENZ
VERSCHIEDENER
LASER
IM
VERGLEICH
.
113
6
ASPEKTE
DER
TECHNISCHEN
REALISIERUNG
DES
PLD-VERFAHRENS
.
117
6.1
HOMOGENISIERUNG
DER
SCHICHTOBERFLAECHE
DURCH
LASERBEHANDLUNG
.
117
6.2
BESCHICHTUNG
GROESSERER
FLAECHEN
MIT
GLEICHMAESSIGER
SCHICHTDICKE
.
119
6.3
EINFLUSS
DER
TARGET
UND
SUBSTRATABMESSUNGEN
AUF
DIE
SCHICHTDICKENVERTEILUNG
121
7
HEISSGASKORROSIONSTESTS
.
123
7.1
GRUNDLAGEN
.
123
7.2
VERSUCHSAUFBAU
FUER
KORROSIONSTESTS
.
125
7.3
UNTERSUCHUNGSMETHODEN
ZUR
BEURTEILUNG
DES
WAERME
BZW.
KORROSIONSEIN
FLUSSES
.
128
7.3.1
GEFUEGEDARSTELLUNG
BEI
MOLYBDAEN
.
128
7.3.2
BEURTEILUNG
DER
BESCHICHTUNG
.
128
7.4
VERHALTEN
VON
MOLYBDAEN
IM
HEISSGASSTROM
.
130
7.5
VERHALTEN
VON
EDELMETALLEN
IM
HEISSGASSTROM
.
134
7.6
HEISSGASKORROSION
AN
BESCHICHTETEM
TZM-MOLYBDAEN
.
136
8
ZUSAMMENFASSUNG
.
149
LITERATURVERZEICHNIS
.
152 |
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