Gradienten der Struktur- und Gefügeparameter in TiN-Hartstoffschichten:
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|---|---|
| Format: | Thesis Book |
| Language: | German |
| Published: |
Freiberg
Techn. Univ. Bergakad.
1998
|
| Edition: | 1. Aufl. |
| Series: | [Freiberger Forschungshefte / B]
288 : Werkstoffwissenschaft, Werkstoffertigungstechnologie |
| Subjects: | |
| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
| Physical Description: | III, 146 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 3860120557 |
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I
INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
1
2
PVD-SCHICHTEN
3
2.1
SCHICHTERZEUGUNG
.
3
2.1.1
MAGNETRONSPUTTERN
.
3
2.1.2
ARC-VERDAMPFEN
.
4
2.1.3
WIRKUNG
RELEVANTER
BESCHICHTUNGSPARAMETER
.
5
2.2
SCHICHTBILDUNG
.
6
2.2.1
KEIMBILDUNG
UND
KEIMWACHSTUM
.
6
2.2.2
VERTIKALES
SCHICHTWACHSTUM
.
7
2.2.3
STRUKTURZONENMODELLE
.
10
2.2.4
BEEINFLUSSUNG
DURCH
LONENBESCHUSS
.
13
2.3
SCHICHTWERKSTOFF
TIN
.
15
3
STRUKTUR
UND
EIGENSCHAFTEN
VON
PVD-SCHICHTEN
19
3.1
EIGENSPANNUNGEN
.
19
3.1.1
EINTEILUNG
.
19
3.1.2
EINFLUSS
DER
BESCHICHTUNGSPARAMETER
.
20
3.1.3
URSACHEN
VON
EIGENSPANNUNGEN
.
22
3.1.3.1
AUSGANGSPUNKT
.
22
3.1.3.2
ELASTISCHE
GITTERVERZERRUNG
.
23
3.1.3.3
MECHANISMEN
ZUM
ABBAU
DER
EIGENSPANNUNGEN
.
.
27
3.1.4
EIGENSPANNUNGSGRADIENTEN
.
28
3.2
TEXTUREN
.
30
3.2.1
EINTEILUNG
.
30
3.2.2
EINFLUSS
DER
BESCHICHTUNGSBEDINGUNGEN
.
30
3.2.2.1
BESCHICHTUNGSPARAMETER
.
30
3.2.2.2
GEOMETRISCHE
VERHAELTNISSE
.
31
3.2.2.3
EINFLUSS
DES
SUBSTRATES
.
31
3.2.3
URSACHEN
DER
TEXTUREN
.
32
3.2.4
TEXTURGRADIENTEN
.
34
4
ROENTGENOGRAPHISCHE
MESSUNG
VON
GRADIENTEN
35
4.1
KONVENTIONELLE
ROENTGENDIFFRAKTOMETRIE
.
35
4.2
DUENNSCHICHTDIFFRAKTOMETRIE
.
36
4.2.1
SEEMANN-BOHLIN-DIFFRAKTOMETRIE
.
36
4.2.2
PARALLELSTRAHLTECHNIK
.
39
4.3
ABSORPTIONSKORREKTUR
.
40
4.3.1
PROBLEMATIK
.
40
4.3.2
ANSATZFUNKTIONEN
FUER
DEN
TATSAECHLICHEN
TIEFENVERLAUF
.
40
4.3.3
ANSATZFUNKTIONEN FUER
DEN
TIEFENVERLAUF
GEMESSENER
EFFEKTIVWERTE
42
4.3.4
METHODE
DER
GEWICHTETEN
DIFFERENZEN
.
42
II
INHALTSVERZEICHNIS
5
OFFENE
PROBLEME
45
5.1
SCHLUSSFOLGERUNGEN
ZUM
STAND
DER
LITERATUR
.
45
5.2
PRAEZISIERTE
AUFGABENSTELLUNG
.
46
6
EXPERIMENTELLES
49
6.1
PROBENHERSTELLUNG
.
49
6.1.1
SUBSTRATMATERIAL
.
49
6.1.2
BESCHICHTUNGSPROZESS
.
49
6.1.2.1
MAGNETRONSPUTTERN
.
49
6.1.2.2
ARC-VERFAHREN
.
54
6.2
ABTRAGSTECHNIK
FUER
TIN-SCHICHTEN
.
55
6.3
ROENTGENOGRAPHISCHE
CHARAKTERISIERUNG
.
55
6.3.1
MESSUNG
VON
EIGENSPANNUNGEN
UND
EIGENSPANNUNGSGRADIENTEN
55
6.3.1.1
SEEMANN-BOHLIN-MESSUNGEN
.
56
6.3.1.2
BRAGG-BRENTANO-MESSUNGEN
.
57
6.3.2
ERMITTLUNG
VON
TEXTURGRADIENTEN
.
59
6.4
ELEKTRONENMIKROSKOPISCHE
CHARAKTERISIERUNG
.
60
6.4.1
RASTERELEKTRONENMIKROSKOPIE
.
60
6.4.2
TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOPIE
.
60
6.5
ERMITTLUNG
MECHANISCHER
KENNWERTE
.
60
6.5.1
MESSUNG
DER
MIKROHAERTE
.
60
6.5.2
SCRATCH-TEST
.
61
6.6
WEITERE
UNTERSUCHUNGEN
.
62
7
ERGEBNISSE
63
7.1
DICKE
UND
CHEMISCHE
ZUSAMMENSETZUNG
DER
TIN-SCHICHTEN
.
63
7.2
GEFUEGEAUSBILDUNG
.
65
7.2.1
SCHICHTWACHSTUM
-
EINFLUSS
DER
BIASSPANNUNG
.
65
7.2.2
GEFUEGEGRADIENTEN
.
67
7.2.2.1
MAGNETRONSPUTTERN
MIT
KONSTANTER
BIASSPANNUNG
.
.
67
7.2.2.2
MAGNETRONSPUTTERN
MIT
ZEITLICH
VARIIERTER
BIASSPANNUNG
68
7.2.2.3
ARC-VERDAMPFEN
.
75
7.3
EIGENSPANNUNGEN
.
76
7.3.1
ABHAENGIGKEIT
DER
EIGENSPANNUNGEN
VON
DER
BIASSPANNUNG
.
.
76
7.3.2
EIGENSPANNUNGSGRADIENTEN
.
77
7.3.2.1
MAGNETRONSPUTTERN
MIT
KONSTANTER
BIASSPANNUNG
.
.
78
7.3.2.2
MAGNETRONSPUTTERN
MIT
ZEITLICH
VARIIERTER
BIASSPANNUNG
80
7.3.2.3
ARC-VERDAMPFTE
TIN-SCHICHTEN
.
82
7.3.2.4
ABSORPTIONSKORREKTUR
MITTELS
VERSCHIEDENER
ANSATZFUNK
TIONEN
.
84
7.4
TEXTUREN
.
87
7.4.1
ABHAENGIGKEIT
DER
TEXTUREN
VON
DER
BIASSPANNUNG
.
87
7.4.2
TEXTURGRADIENTEN
.
91
7.4.2.1
MAGNETRONSPUTTERN
MIT
KONSTANTER
BIASSPANNUNG
.
.
91
INHALTSVERZEICHNIS
III
7.4.2.2
MAGNETRONSPUTTERN
MIT
ZEITLICH
VARIIERTER
BIASSPANNUNG
93
7.4.2.3
ARC-VERDAMPFTE
TIN-SCHICHTEN
.
95
7.5
MECHANISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
97
7.5.1
ERGEBNISSE
DER
MIKROHAERTEMESSUNG
.
98
7.5.2
ERGEBNISSE
DES
SCRATCH-TESTES
.
98
8
DISKUSSION
101
8.1
KORRELATION:
TEXTUREN,
EIGENSPANNUNGEN
-
SCHICHTWACHSTUM
.
101
8.2
AUSBILDUNG
VON
GRADIENTEN
.
105
8.2.1
OHNE
AEUSSEREN
EINFLUSS
ENTSTANDENE
GRADIENTEN
-
YYNATUERLICHE
"
GRA
DIENTEN
.
105
8.2.1.1
TEXTURGRADIENTEN
.
105
8.2.1.2
EIGENSPANNUNGSGRADIENTEN
.
106
8.2.2
BEEINFLUSSUNG
DER
BILDUNG
VON
GRADIENTEN
-
YYAUFGEZWUNGENE
"
GRADIENTEN
.
109
8.2.3
EPITAXIE
INFOLGE
ARC-VERDAMPFEN
.
111
8.3
BESONDERHEITEN
DER
BESCHICHTUNG
MIT
ALTERNIERENDER
BIASSPANNUNG
.
115
8.3.1
ROENTGENOGRAPHISCHE
BEOBACHTUNGEN
.
115
8.3.2
DISKUSSION
DER
ASYMMETRIE
DER
ROENTGENREFLEXE
.
115
8.4
BEZUG
ZU
MECHANISCHEN
EIGENSCHAFTEN
.
117
9
ZUSAMMENFASSUNG
121
A
ANHANG
123
A.L
SCHICHTABTRAGSTECHNIK
UND
EIGENSPANNUNGSZUSTAND
.
123
A.2
OPTIMIERUNGSVERFAHREN
ZUR
ABSORPTIONSKORREKTUR
.
124
A.3
REM-AUFNAHMEN
VON
BRUCHFLAECHEN
DER
TIN-SCHICHTEN
.
126
A.4
REM-AUFNAHMEN
VON
SCRATCH-SPUREN
DER
TIN-SCHICHTEN
.
128
A.5
MESSUNG
DER
SUBSTRATTEMPERATUR
.
131
LITERATURVERZEICHNIS
133
ABBILDUNGSVERZEICHNIS
141
TABELLENVERZEICHNIS
143
ABKUERZUNGSVERZEICHNIS
145 |
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