Gradienten der Struktur- und Gefügeparameter in TiN-Hartstoffschichten:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Freiberg
Techn. Univ. Bergakad.
1998
|
| Ausgabe: | 1. Aufl. |
| Schriftenreihe: | [Freiberger Forschungshefte / B]
288 : Werkstoffwissenschaft, Werkstoffertigungstechnologie |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | III, 146 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 3860120557 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV011865087 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19990305 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 980323s1998 gw ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 953248356 |2 DE-101 | |
| 020 | |a 3860120557 |c kart. : ca. DM 23.00 |9 3-86012-055-7 | ||
| 035 | |a (OCoLC)260071620 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV011865087 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-12 |a DE-634 |a DE-83 | ||
| 084 | |a UQ 8440 |0 (DE-625)146598: |2 rvk | ||
| 100 | 1 | |a Pantleon, Karen |d 1969- |e Verfasser |0 (DE-588)120130173 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Gradienten der Struktur- und Gefügeparameter in TiN-Hartstoffschichten |c Karen Fischer |
| 250 | |a 1. Aufl. | ||
| 264 | 1 | |a Freiberg |b Techn. Univ. Bergakad. |c 1998 | |
| 300 | |a III, 146 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a [Freiberger Forschungshefte / B] |v 288 : Werkstoffwissenschaft, Werkstoffertigungstechnologie | |
| 502 | |a Zugl.: Freiberg, Techn. Univ., Diss., 1998 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Struktur |0 (DE-588)4058125-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Beschichtung |0 (DE-588)4144863-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Hartstoff |0 (DE-588)4023555-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Eigenschaft |0 (DE-588)4151179-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Titannitrid |0 (DE-588)4185564-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Titannitrid |0 (DE-588)4185564-4 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Hartstoff |0 (DE-588)4023555-5 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Beschichtung |0 (DE-588)4144863-7 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Struktur |0 (DE-588)4058125-1 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Titannitrid |0 (DE-588)4185564-4 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Hartstoff |0 (DE-588)4023555-5 |D s |
| 689 | 1 | 2 | |a Beschichtung |0 (DE-588)4144863-7 |D s |
| 689 | 1 | 3 | |a Eigenschaft |0 (DE-588)4151179-7 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 810 | 2 | |a B] |t [Freiberger Forschungshefte |v 288 : Werkstoffwissenschaft, Werkstoffertigungstechnologie |w (DE-604)BV035916214 |9 288 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=008016115&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008016115 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1807501228068831232 |
|---|---|
| adam_text |
I
INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
1
2
PVD-SCHICHTEN
3
2.1
SCHICHTERZEUGUNG
.
3
2.1.1
MAGNETRONSPUTTERN
.
3
2.1.2
ARC-VERDAMPFEN
.
4
2.1.3
WIRKUNG
RELEVANTER
BESCHICHTUNGSPARAMETER
.
5
2.2
SCHICHTBILDUNG
.
6
2.2.1
KEIMBILDUNG
UND
KEIMWACHSTUM
.
6
2.2.2
VERTIKALES
SCHICHTWACHSTUM
.
7
2.2.3
STRUKTURZONENMODELLE
.
10
2.2.4
BEEINFLUSSUNG
DURCH
LONENBESCHUSS
.
13
2.3
SCHICHTWERKSTOFF
TIN
.
15
3
STRUKTUR
UND
EIGENSCHAFTEN
VON
PVD-SCHICHTEN
19
3.1
EIGENSPANNUNGEN
.
19
3.1.1
EINTEILUNG
.
19
3.1.2
EINFLUSS
DER
BESCHICHTUNGSPARAMETER
.
20
3.1.3
URSACHEN
VON
EIGENSPANNUNGEN
.
22
3.1.3.1
AUSGANGSPUNKT
.
22
3.1.3.2
ELASTISCHE
GITTERVERZERRUNG
.
23
3.1.3.3
MECHANISMEN
ZUM
ABBAU
DER
EIGENSPANNUNGEN
.
.
27
3.1.4
EIGENSPANNUNGSGRADIENTEN
.
28
3.2
TEXTUREN
.
30
3.2.1
EINTEILUNG
.
30
3.2.2
EINFLUSS
DER
BESCHICHTUNGSBEDINGUNGEN
.
30
3.2.2.1
BESCHICHTUNGSPARAMETER
.
30
3.2.2.2
GEOMETRISCHE
VERHAELTNISSE
.
31
3.2.2.3
EINFLUSS
DES
SUBSTRATES
.
31
3.2.3
URSACHEN
DER
TEXTUREN
.
32
3.2.4
TEXTURGRADIENTEN
.
34
4
ROENTGENOGRAPHISCHE
MESSUNG
VON
GRADIENTEN
35
4.1
KONVENTIONELLE
ROENTGENDIFFRAKTOMETRIE
.
35
4.2
DUENNSCHICHTDIFFRAKTOMETRIE
.
36
4.2.1
SEEMANN-BOHLIN-DIFFRAKTOMETRIE
.
36
4.2.2
PARALLELSTRAHLTECHNIK
.
39
4.3
ABSORPTIONSKORREKTUR
.
40
4.3.1
PROBLEMATIK
.
40
4.3.2
ANSATZFUNKTIONEN
FUER
DEN
TATSAECHLICHEN
TIEFENVERLAUF
.
40
4.3.3
ANSATZFUNKTIONEN FUER
DEN
TIEFENVERLAUF
GEMESSENER
EFFEKTIVWERTE
42
4.3.4
METHODE
DER
GEWICHTETEN
DIFFERENZEN
.
42
II
INHALTSVERZEICHNIS
5
OFFENE
PROBLEME
45
5.1
SCHLUSSFOLGERUNGEN
ZUM
STAND
DER
LITERATUR
.
45
5.2
PRAEZISIERTE
AUFGABENSTELLUNG
.
46
6
EXPERIMENTELLES
49
6.1
PROBENHERSTELLUNG
.
49
6.1.1
SUBSTRATMATERIAL
.
49
6.1.2
BESCHICHTUNGSPROZESS
.
49
6.1.2.1
MAGNETRONSPUTTERN
.
49
6.1.2.2
ARC-VERFAHREN
.
54
6.2
ABTRAGSTECHNIK
FUER
TIN-SCHICHTEN
.
55
6.3
ROENTGENOGRAPHISCHE
CHARAKTERISIERUNG
.
55
6.3.1
MESSUNG
VON
EIGENSPANNUNGEN
UND
EIGENSPANNUNGSGRADIENTEN
55
6.3.1.1
SEEMANN-BOHLIN-MESSUNGEN
.
56
6.3.1.2
BRAGG-BRENTANO-MESSUNGEN
.
57
6.3.2
ERMITTLUNG
VON
TEXTURGRADIENTEN
.
59
6.4
ELEKTRONENMIKROSKOPISCHE
CHARAKTERISIERUNG
.
60
6.4.1
RASTERELEKTRONENMIKROSKOPIE
.
60
6.4.2
TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOPIE
.
60
6.5
ERMITTLUNG
MECHANISCHER
KENNWERTE
.
60
6.5.1
MESSUNG
DER
MIKROHAERTE
.
60
6.5.2
SCRATCH-TEST
.
61
6.6
WEITERE
UNTERSUCHUNGEN
.
62
7
ERGEBNISSE
63
7.1
DICKE
UND
CHEMISCHE
ZUSAMMENSETZUNG
DER
TIN-SCHICHTEN
.
63
7.2
GEFUEGEAUSBILDUNG
.
65
7.2.1
SCHICHTWACHSTUM
-
EINFLUSS
DER
BIASSPANNUNG
.
65
7.2.2
GEFUEGEGRADIENTEN
.
67
7.2.2.1
MAGNETRONSPUTTERN
MIT
KONSTANTER
BIASSPANNUNG
.
.
67
7.2.2.2
MAGNETRONSPUTTERN
MIT
ZEITLICH
VARIIERTER
BIASSPANNUNG
68
7.2.2.3
ARC-VERDAMPFEN
.
75
7.3
EIGENSPANNUNGEN
.
76
7.3.1
ABHAENGIGKEIT
DER
EIGENSPANNUNGEN
VON
DER
BIASSPANNUNG
.
.
76
7.3.2
EIGENSPANNUNGSGRADIENTEN
.
77
7.3.2.1
MAGNETRONSPUTTERN
MIT
KONSTANTER
BIASSPANNUNG
.
.
78
7.3.2.2
MAGNETRONSPUTTERN
MIT
ZEITLICH
VARIIERTER
BIASSPANNUNG
80
7.3.2.3
ARC-VERDAMPFTE
TIN-SCHICHTEN
.
82
7.3.2.4
ABSORPTIONSKORREKTUR
MITTELS
VERSCHIEDENER
ANSATZFUNK
TIONEN
.
84
7.4
TEXTUREN
.
87
7.4.1
ABHAENGIGKEIT
DER
TEXTUREN
VON
DER
BIASSPANNUNG
.
87
7.4.2
TEXTURGRADIENTEN
.
91
7.4.2.1
MAGNETRONSPUTTERN
MIT
KONSTANTER
BIASSPANNUNG
.
.
91
INHALTSVERZEICHNIS
III
7.4.2.2
MAGNETRONSPUTTERN
MIT
ZEITLICH
VARIIERTER
BIASSPANNUNG
93
7.4.2.3
ARC-VERDAMPFTE
TIN-SCHICHTEN
.
95
7.5
MECHANISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
97
7.5.1
ERGEBNISSE
DER
MIKROHAERTEMESSUNG
.
98
7.5.2
ERGEBNISSE
DES
SCRATCH-TESTES
.
98
8
DISKUSSION
101
8.1
KORRELATION:
TEXTUREN,
EIGENSPANNUNGEN
-
SCHICHTWACHSTUM
.
101
8.2
AUSBILDUNG
VON
GRADIENTEN
.
105
8.2.1
OHNE
AEUSSEREN
EINFLUSS
ENTSTANDENE
GRADIENTEN
-
YYNATUERLICHE
"
GRA
DIENTEN
.
105
8.2.1.1
TEXTURGRADIENTEN
.
105
8.2.1.2
EIGENSPANNUNGSGRADIENTEN
.
106
8.2.2
BEEINFLUSSUNG
DER
BILDUNG
VON
GRADIENTEN
-
YYAUFGEZWUNGENE
"
GRADIENTEN
.
109
8.2.3
EPITAXIE
INFOLGE
ARC-VERDAMPFEN
.
111
8.3
BESONDERHEITEN
DER
BESCHICHTUNG
MIT
ALTERNIERENDER
BIASSPANNUNG
.
115
8.3.1
ROENTGENOGRAPHISCHE
BEOBACHTUNGEN
.
115
8.3.2
DISKUSSION
DER
ASYMMETRIE
DER
ROENTGENREFLEXE
.
115
8.4
BEZUG
ZU
MECHANISCHEN
EIGENSCHAFTEN
.
117
9
ZUSAMMENFASSUNG
121
A
ANHANG
123
A.L
SCHICHTABTRAGSTECHNIK
UND
EIGENSPANNUNGSZUSTAND
.
123
A.2
OPTIMIERUNGSVERFAHREN
ZUR
ABSORPTIONSKORREKTUR
.
124
A.3
REM-AUFNAHMEN
VON
BRUCHFLAECHEN
DER
TIN-SCHICHTEN
.
126
A.4
REM-AUFNAHMEN
VON
SCRATCH-SPUREN
DER
TIN-SCHICHTEN
.
128
A.5
MESSUNG
DER
SUBSTRATTEMPERATUR
.
131
LITERATURVERZEICHNIS
133
ABBILDUNGSVERZEICHNIS
141
TABELLENVERZEICHNIS
143
ABKUERZUNGSVERZEICHNIS
145 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Pantleon, Karen 1969- |
| author_GND | (DE-588)120130173 |
| author_facet | Pantleon, Karen 1969- |
| author_role | aut |
| author_sort | Pantleon, Karen 1969- |
| author_variant | k p kp |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV011865087 |
| classification_rvk | UQ 8440 |
| ctrlnum | (OCoLC)260071620 (DE-599)BVBBV011865087 |
| discipline | Physik |
| edition | 1. Aufl. |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV011865087</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19990305</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">980323s1998 gw ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">953248356</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3860120557</subfield><subfield code="c">kart. : ca. DM 23.00</subfield><subfield code="9">3-86012-055-7</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)260071620</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV011865087</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-634</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">UQ 8440</subfield><subfield code="0">(DE-625)146598:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Pantleon, Karen</subfield><subfield code="d">1969-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)120130173</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Gradienten der Struktur- und Gefügeparameter in TiN-Hartstoffschichten</subfield><subfield code="c">Karen Fischer</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">1. Aufl.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Freiberg</subfield><subfield code="b">Techn. Univ. Bergakad.</subfield><subfield code="c">1998</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">III, 146 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">[Freiberger Forschungshefte / B]</subfield><subfield code="v">288 : Werkstoffwissenschaft, Werkstoffertigungstechnologie</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Freiberg, Techn. Univ., Diss., 1998</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Struktur</subfield><subfield code="0">(DE-588)4058125-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Beschichtung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4144863-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Hartstoff</subfield><subfield code="0">(DE-588)4023555-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Eigenschaft</subfield><subfield code="0">(DE-588)4151179-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Titannitrid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4185564-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Titannitrid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4185564-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Hartstoff</subfield><subfield code="0">(DE-588)4023555-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Beschichtung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4144863-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Struktur</subfield><subfield code="0">(DE-588)4058125-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Titannitrid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4185564-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Hartstoff</subfield><subfield code="0">(DE-588)4023555-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Beschichtung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4144863-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">Eigenschaft</subfield><subfield code="0">(DE-588)4151179-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="810" ind1="2" ind2=" "><subfield code="a">B]</subfield><subfield code="t">[Freiberger Forschungshefte</subfield><subfield code="v">288 : Werkstoffwissenschaft, Werkstoffertigungstechnologie</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV035916214</subfield><subfield code="9">288</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=008016115&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008016115</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV011865087 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-08-16T00:18:16Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3860120557 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008016115 |
| oclc_num | 260071620 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-12 DE-634 DE-83 |
| owner_facet | DE-12 DE-634 DE-83 |
| physical | III, 146 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1998 |
| publishDateSearch | 1998 |
| publishDateSort | 1998 |
| publisher | Techn. Univ. Bergakad. |
| record_format | marc |
| series2 | [Freiberger Forschungshefte / B] |
| spelling | Pantleon, Karen 1969- Verfasser (DE-588)120130173 aut Gradienten der Struktur- und Gefügeparameter in TiN-Hartstoffschichten Karen Fischer 1. Aufl. Freiberg Techn. Univ. Bergakad. 1998 III, 146 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier [Freiberger Forschungshefte / B] 288 : Werkstoffwissenschaft, Werkstoffertigungstechnologie Zugl.: Freiberg, Techn. Univ., Diss., 1998 Struktur (DE-588)4058125-1 gnd rswk-swf Beschichtung (DE-588)4144863-7 gnd rswk-swf Hartstoff (DE-588)4023555-5 gnd rswk-swf Eigenschaft (DE-588)4151179-7 gnd rswk-swf Titannitrid (DE-588)4185564-4 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Titannitrid (DE-588)4185564-4 s Hartstoff (DE-588)4023555-5 s Beschichtung (DE-588)4144863-7 s Struktur (DE-588)4058125-1 s DE-604 Eigenschaft (DE-588)4151179-7 s B] [Freiberger Forschungshefte 288 : Werkstoffwissenschaft, Werkstoffertigungstechnologie (DE-604)BV035916214 288 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=008016115&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Pantleon, Karen 1969- Gradienten der Struktur- und Gefügeparameter in TiN-Hartstoffschichten Struktur (DE-588)4058125-1 gnd Beschichtung (DE-588)4144863-7 gnd Hartstoff (DE-588)4023555-5 gnd Eigenschaft (DE-588)4151179-7 gnd Titannitrid (DE-588)4185564-4 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4058125-1 (DE-588)4144863-7 (DE-588)4023555-5 (DE-588)4151179-7 (DE-588)4185564-4 (DE-588)4113937-9 |
| title | Gradienten der Struktur- und Gefügeparameter in TiN-Hartstoffschichten |
| title_auth | Gradienten der Struktur- und Gefügeparameter in TiN-Hartstoffschichten |
| title_exact_search | Gradienten der Struktur- und Gefügeparameter in TiN-Hartstoffschichten |
| title_full | Gradienten der Struktur- und Gefügeparameter in TiN-Hartstoffschichten Karen Fischer |
| title_fullStr | Gradienten der Struktur- und Gefügeparameter in TiN-Hartstoffschichten Karen Fischer |
| title_full_unstemmed | Gradienten der Struktur- und Gefügeparameter in TiN-Hartstoffschichten Karen Fischer |
| title_short | Gradienten der Struktur- und Gefügeparameter in TiN-Hartstoffschichten |
| title_sort | gradienten der struktur und gefugeparameter in tin hartstoffschichten |
| topic | Struktur (DE-588)4058125-1 gnd Beschichtung (DE-588)4144863-7 gnd Hartstoff (DE-588)4023555-5 gnd Eigenschaft (DE-588)4151179-7 gnd Titannitrid (DE-588)4185564-4 gnd |
| topic_facet | Struktur Beschichtung Hartstoff Eigenschaft Titannitrid Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=008016115&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| volume_link | (DE-604)BV035916214 |
| work_keys_str_mv | AT pantleonkaren gradientenderstrukturundgefugeparameterintinhartstoffschichten |