Absolute Positionserfassung mit Gitterinterferometern:
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| Published: |
Stuttgart
ITO
1997
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29 |
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INHALTSVERZEICHNIS
INHALTSVERZEICHNIS
.
3
ABBILDUNGSVERZEICHNIS
.
5
ABKUERZUNGEN
.
10
1
EINFUEHRUNG
.
14
2
OPTISCHE
WEG
UND
WINKELGEBER
.
17
2
1
LASER-INTERFEROMETER
.
18
2.2
MASSSTABSBEZOGENE
GEBER
.
19
2.2.1
PHOTOELEKTRISCHES
MESSPRINZIP
.
21
2.2.2
INTERFERENTIELLES
MESSPRINZIP
.
24
2.3
ABSOLUTCODIERTE
GEBER
.
26
2.4
ZWEIDIMENSIONALE
CODIERVERFAHREN
.
28
3
GRUNDLAGEN
DER
GITTERINTERFEROMETRIE
.
30
3.1
BEUGUNG
AM
GITTER
.
31
3.2
EINFLUSS
DER
GITTERBELEUCHTUNG
.
37
3.2.1
MATHEMATISCHE
BESCHREIBUNG
.
37
3.2.2
SIMULATION
DES
BEUGUNGSVERHALTENS
.
41
3.2.3
VARIATION
DER
BELEUCHTUNGSFUENKTION
.
46
3.3
EINFLUSS
DER
GITTERFUNKTION
.
48
3.3.1
PERIODISCHE
STRUKTUREN
.
48
3.3.2
VARIATION
DER
GITTERFUENKTION
.
51
3.4
EINSATZ
DER
GITTER
IN
DER
GITTERINTERFEROMETRIE
.
57
3.4.1
ANORDNUNGEN
VON
GITTERINTERFEROMETERN
.
57
3.4.2
PHASENAUSWERTUNG
.
60
4
CODIERVERFAHREN
.
65
4
1
ANALOGE
CODIERUNG
.
67
4.2
DIGITALE
CODIERUNG
.
76
5
UMSETZUNG
DER
CODIERVERFAHREN
AUF
DIE
GITTERINTERFEROMETRIE
.
82
5.1
MEHRSPURIGE
ANORDNUNG
.
83
5.1.1
ANALOGCODIERUNG
.
83
5.1
2
DIGITALCODIERUNG
.
87
5.1.3
BESONDERHEITEN
FUER
WINKELGEBER
.
93
5.2
EINSPURIGE
ANORDNUNG
.
96
5.2.1
ANFORDERUNGEN
AN
DAS
MASSSTABSDESIGN
.
97
5.2.2
DIMENSIONIERUNG
DER
MASSSTAEBE
.
100
5.2.3
DIMENSIONIERUNGSBEISPIELE
.
104
6
EXPERIMENTELLER
FUNKTIONSNACHWEIS
DER
VERFAHREN
.
115
6.1
PHASENMESSTECHNIK
.
117
6.2
ABSOLUTCODIERTER
WINKELGEBER
.
123
6.3
ABSOLUTCODIERTER
WEGGEBER
.
134
7
DISKUSSION
UND
AUSBLICK
.
147
LITERATURVERZEICHNIS
.
154
ANHANG
.
163
A.
PHASENFEHLER
AUFGRUND
EINES
STOERSIGNALS
.
163
B.
CODETABELLE
EINES
EINSCHRITTIGEN,
SELBSTNORMIERENDEN
BINAERCODES
MIT
5
STELLEN
.
166
C.
EXZENTRIZITAETSFEHLER
EINES
WINKELGEBERS
.
167
D.
VORKORREKTUR
DER
WELLENFRONTEN
EINES
WINKELGEBERS
.
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