Köhler, M. (1998). Ätzverfahren für die Mikrotechnik. Wiley-VCH.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Köhler, Michael. Ätzverfahren Für Die Mikrotechnik. Weinheim [u.a.]: Wiley-VCH, 1998.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Köhler, Michael. Ätzverfahren Für Die Mikrotechnik. Wiley-VCH, 1998.
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