Untersuchungen zu Defektstrukturen in (Ti,Fe)N-Schichten:
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Thesis Book |
| Language: | German |
| Published: |
1997
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
| Physical Description: | 101, [11] S. graph. Darst. |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV011640164 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19980506 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 971120s1997 d||| m||| 00||| gerod | ||
| 016 | 7 | |a 952141175 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)258702429 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV011640164 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-91 |a DE-634 |a DE-11 | ||
| 084 | |a WER 480d |2 stub | ||
| 084 | |a PHY 621d |2 stub | ||
| 084 | |a PHY 668d |2 stub | ||
| 084 | |a PHY 803d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Kirsten, Andreas |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Untersuchungen zu Defektstrukturen in (Ti,Fe)N-Schichten |c vorgelegt von Andreas Kirsten |
| 264 | 1 | |c 1997 | |
| 300 | |a 101, [11] S. |b graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Freiberg, Techn. Univ., Diss., 1997 | ||
| 650 | 4 | |a Eisennitrid - Titannitrid - Magnetronsputtern - Störstelle - Mößbauer-Spektroskopie | |
| 650 | 4 | |a Titannitrid - Magnetronsputtern - Störstelle - Mößbauer-Spektroskopie | |
| 650 | 0 | 7 | |a Eisennitrid |0 (DE-588)4283230-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Mößbauer-Spektroskopie |0 (DE-588)4170352-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Magnetronsputtern |0 (DE-588)4208514-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Titannitrid |0 (DE-588)4185564-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Störstelle |0 (DE-588)4193400-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Titannitrid |0 (DE-588)4185564-4 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Magnetronsputtern |0 (DE-588)4208514-7 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Störstelle |0 (DE-588)4193400-3 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Mößbauer-Spektroskopie |0 (DE-588)4170352-2 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Eisennitrid |0 (DE-588)4283230-5 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Titannitrid |0 (DE-588)4185564-4 |D s |
| 689 | 1 | 2 | |a Magnetronsputtern |0 (DE-588)4208514-7 |D s |
| 689 | 1 | 3 | |a Störstelle |0 (DE-588)4193400-3 |D s |
| 689 | 1 | 4 | |a Mößbauer-Spektroskopie |0 (DE-588)4170352-2 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007844619&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007844619 | |
Record in the Search Index
| _version_ | 1807323504400400384 |
|---|---|
| adam_text |
GLIEDERUNG
SEITE
1.
EINLEITUNG
3
2.
STRUKTUR
UND
EIGENSCHAFTEN
GESPUTTERTER
NITRIDISCHER
HARTSTOFFSCHICHTEN
5
2.1.
MORPHOLOGIE
UND
TEXTUR
5
2.2.
EIGENSPANNUNGEN
6
2.3.
MAGNETRONGESPUTTERTE
TIN-SCHICHTEN
10
2.4.
DAS
ZIEL
DER
UNTERSUCHUNGEN
AN
DEN
(TI,FE)N-SCHICHTEN
15
3.
UNTERSUCHUNGSVERFAHREN
18
3.1.
"
FE-MOESSBAUERSPEKTROMETRIE
18
3.1.1.
ISOMERIEVERSCHIEBUNG
21
3.1.2.
QUADRUPOLAUFSPALTUNG
23
3.1.3.
VERWENDETER
MESSAUFBAU
26
3.2.
ROENTGENOGRAFISCHE
MESSUNGEN
29
3.2.1.
EIGENSPANNUNGSMESSUNG
29
3.2.2.
MESSPARAMETER DER
ROENTGENMESSUNGEN
33
3.3.
GIIMMENTLADUNGSSPEKTROSKOPIE
(GDOS)
34
4.
DIE
BINAEREN
RANDSYSTEME
DES
SYSTEMS
TI-FE-N
37
4.1.
DAS
SYSTEM
TI
-
N
37
4.2.
DAS
SYSTEM
TI
-
FE
38
4.3.
DAS
SYSTEM
FE
-
N
42
5.
PROBENPRAEPARATION
46
5.1.
AUSWAHL
UND
PRAEPARATION
GEEIGNETER
SUBSTRATMATERIALIEN
46
5.2.
BESCHICHTUNGSPROZESS
UND
WAHL
DER
PROZESSPARAMETER
50
5.3.
TARGETPRAEPARATION
52
5.4.
TEMPERBEHANDLUNGEN
54
5.5.
PROBENBEZEICHNUNG
55
6.
EXPERIMENTELLE
BEFUNDE
UND
DEREN
DISKUSSION
57
6.1.
PROBENSERIEN
200,
300
UND
500
57
6.1.1.
SERIE
200
57
8
8
6.1.2.
SERIE
300
62
6.1.3.
SERIE
500
63
6.2.
PROBENSERIE
TIFEXX
6.2.1.
GDOS-ANALYSEN
6.2.2.
ROENTGENOGRAFISCHE
ANALYSEN
70
6.2.2.1.
ROENTGENOGRAFISCHE
PHASENANALYSEN
70
6.2.2.2.
ROENTGENOGRAFISCHE
EIGENSPANNUNGSMESSUNGEN
74
6.2.2.3.
ROENTGENOGRAFISCHE
LINIENBREITEN
77
6.2.3.
MOESSBAUERUNTERSUCHUNGEN
79
6.2.3.1.
EINFLUSS
DER
STICKSTOFFKONZENTRATION
79
6.2.3.2.
TEMPEREINFLUESSE
82
6.2.3.3.
PLASTISCHE
DEFORMATION
DES
SUBSTRATES
90
6.2.3.4.
EINFLUSS
DER
BESCHICHTUNGSZEIT
(RESP.
DER
SCHICHTDICKE)
91
7.
ZUSAMMENFASSUNG
94
LITERATURVERZEICHNIS
98
ANHANG |
| any_adam_object | 1 |
| author | Kirsten, Andreas |
| author_facet | Kirsten, Andreas |
| author_role | aut |
| author_sort | Kirsten, Andreas |
| author_variant | a k ak |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV011640164 |
| classification_tum | WER 480d PHY 621d PHY 668d PHY 803d |
| ctrlnum | (OCoLC)258702429 (DE-599)BVBBV011640164 |
| discipline | Physik Werkstoffwissenschaften |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV011640164</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19980506</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">971120s1997 d||| m||| 00||| gerod</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">952141175</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)258702429</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV011640164</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-634</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">WER 480d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 621d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 668d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 803d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Kirsten, Andreas</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Untersuchungen zu Defektstrukturen in (Ti,Fe)N-Schichten</subfield><subfield code="c">vorgelegt von Andreas Kirsten</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1997</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">101, [11] S.</subfield><subfield code="b">graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Freiberg, Techn. Univ., Diss., 1997</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Eisennitrid - Titannitrid - Magnetronsputtern - Störstelle - Mößbauer-Spektroskopie</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Titannitrid - Magnetronsputtern - Störstelle - Mößbauer-Spektroskopie</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Eisennitrid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4283230-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mößbauer-Spektroskopie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4170352-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Magnetronsputtern</subfield><subfield code="0">(DE-588)4208514-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Titannitrid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4185564-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Störstelle</subfield><subfield code="0">(DE-588)4193400-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Titannitrid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4185564-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Magnetronsputtern</subfield><subfield code="0">(DE-588)4208514-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Störstelle</subfield><subfield code="0">(DE-588)4193400-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Mößbauer-Spektroskopie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4170352-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Eisennitrid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4283230-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Titannitrid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4185564-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Magnetronsputtern</subfield><subfield code="0">(DE-588)4208514-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">Störstelle</subfield><subfield code="0">(DE-588)4193400-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="4"><subfield code="a">Mößbauer-Spektroskopie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4170352-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007844619&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007844619</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV011640164 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-08-14T01:13:26Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007844619 |
| oclc_num | 258702429 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-634 DE-11 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-634 DE-11 |
| physical | 101, [11] S. graph. Darst. |
| publishDate | 1997 |
| publishDateSearch | 1997 |
| publishDateSort | 1997 |
| record_format | marc |
| spelling | Kirsten, Andreas Verfasser aut Untersuchungen zu Defektstrukturen in (Ti,Fe)N-Schichten vorgelegt von Andreas Kirsten 1997 101, [11] S. graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Freiberg, Techn. Univ., Diss., 1997 Eisennitrid - Titannitrid - Magnetronsputtern - Störstelle - Mößbauer-Spektroskopie Titannitrid - Magnetronsputtern - Störstelle - Mößbauer-Spektroskopie Eisennitrid (DE-588)4283230-5 gnd rswk-swf Mößbauer-Spektroskopie (DE-588)4170352-2 gnd rswk-swf Magnetronsputtern (DE-588)4208514-7 gnd rswk-swf Titannitrid (DE-588)4185564-4 gnd rswk-swf Störstelle (DE-588)4193400-3 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Titannitrid (DE-588)4185564-4 s Magnetronsputtern (DE-588)4208514-7 s Störstelle (DE-588)4193400-3 s Mößbauer-Spektroskopie (DE-588)4170352-2 s DE-604 Eisennitrid (DE-588)4283230-5 s DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007844619&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Kirsten, Andreas Untersuchungen zu Defektstrukturen in (Ti,Fe)N-Schichten Eisennitrid - Titannitrid - Magnetronsputtern - Störstelle - Mößbauer-Spektroskopie Titannitrid - Magnetronsputtern - Störstelle - Mößbauer-Spektroskopie Eisennitrid (DE-588)4283230-5 gnd Mößbauer-Spektroskopie (DE-588)4170352-2 gnd Magnetronsputtern (DE-588)4208514-7 gnd Titannitrid (DE-588)4185564-4 gnd Störstelle (DE-588)4193400-3 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4283230-5 (DE-588)4170352-2 (DE-588)4208514-7 (DE-588)4185564-4 (DE-588)4193400-3 (DE-588)4113937-9 |
| title | Untersuchungen zu Defektstrukturen in (Ti,Fe)N-Schichten |
| title_auth | Untersuchungen zu Defektstrukturen in (Ti,Fe)N-Schichten |
| title_exact_search | Untersuchungen zu Defektstrukturen in (Ti,Fe)N-Schichten |
| title_full | Untersuchungen zu Defektstrukturen in (Ti,Fe)N-Schichten vorgelegt von Andreas Kirsten |
| title_fullStr | Untersuchungen zu Defektstrukturen in (Ti,Fe)N-Schichten vorgelegt von Andreas Kirsten |
| title_full_unstemmed | Untersuchungen zu Defektstrukturen in (Ti,Fe)N-Schichten vorgelegt von Andreas Kirsten |
| title_short | Untersuchungen zu Defektstrukturen in (Ti,Fe)N-Schichten |
| title_sort | untersuchungen zu defektstrukturen in ti fe n schichten |
| topic | Eisennitrid - Titannitrid - Magnetronsputtern - Störstelle - Mößbauer-Spektroskopie Titannitrid - Magnetronsputtern - Störstelle - Mößbauer-Spektroskopie Eisennitrid (DE-588)4283230-5 gnd Mößbauer-Spektroskopie (DE-588)4170352-2 gnd Magnetronsputtern (DE-588)4208514-7 gnd Titannitrid (DE-588)4185564-4 gnd Störstelle (DE-588)4193400-3 gnd |
| topic_facet | Eisennitrid - Titannitrid - Magnetronsputtern - Störstelle - Mößbauer-Spektroskopie Titannitrid - Magnetronsputtern - Störstelle - Mößbauer-Spektroskopie Eisennitrid Mößbauer-Spektroskopie Magnetronsputtern Titannitrid Störstelle Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007844619&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT kirstenandreas untersuchungenzudefektstrukturenintifenschichten |