(1997). Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication. SPIE Optical Engineering Pr. u.a.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Bellingham, Wash: SPIE Optical Engineering Pr. u.a, 1997.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. SPIE Optical Engineering Pr. u.a, 1997.
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