Vertikale elektrooptische Modulatoren für die optische Verbindungstechnik im Gbit/s-Bereich:
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Düsseldorf
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| adam_text | Titel: Vertikale elektrooptische Modulatoren für die optische Verbindungstechnik im Gbit-s-Bereich
Autor: Zumkley, Stefan
Jahr: 1997
FORTSCHRITTBERICHTE VM Dipl.-Phys. Stefan Zumkley, Münster Vertikale elektrooptische Modulatoren für die optische Verbindungstechnik Im Gblt/s-Bereich * Reihe 10 : Informatik/ Kommunikationstechnik Nr. 502
Inhaltsverzeichnis V Inhaltsverzeichnis Abkürzungen und Formelzeichen VII 1 Einleitung 1 2 Grundlagen vertikaler elektrooptischer Modulatoren mit Quantenfilmen 9 2.1 Allgemeiner Aufbau ..................... 9 2.2 Halbleiter-Quantenfilme................... 11 2.2.1 Physikalische Grundlagen.............. 13 2.2.2 InGaAs/AlGaAs/GaAs-Materialsystem...... 23 2.3 Fabry-Perot-Resonatoren .................. 31 2.3.1 Physikalische Grundlagen.............. 31 2.3.2 Asymmetrische Fabry-Perot-Resonatoren..... 39 2.4 AFPR-MQW-Modulatoren ................. 41 2.4.1 Schichtstruktur.................... 41 2.4.2 Grundlegende Eigenschaften............. 44 2.4.3 DC-Eigenschaften .................. 46 2.4.4 HF-Eigenschaften................... 51 3 Experimentelle Technik 56 3.1 Schichtherstellung ...................... 56 3.1.1 Epitaxie ........................ 59 3.1.2 Charakterisierung .................. 59
VI ___ Inhaltsverzeichnis 3.2 Bauelemente ......................... 63 3.2.1 Technologie................ 64 3.2.2 Charakterisierung der Dioden............ 68 3.3 Meßtechnik.......................... 70 4 Experimentelle Ergebnisse 74 4.1 Grundlegende Eigenschaften................. 74 4.2 AlGaAs/GaAs-AFPMs.................... 80 4.2.1 DC-Eigenschaften.................. 81 4.2.2 HF-Eigenschaften................... 84 4.3 InGaAs/AlGaAs/GaAs-AFPMs............... 86 4.3.1 DC-Eigenschaften.................. 87 4.3.2 HF-Eigenschaften................... 91 4.4 Untersuchungen an einem AFPM-Array.......... 97 5 Anwendungsbeispiel 100 6 Zusammenfassung 104 Anhang A 108 Anhang B 109 Literaturverzeichnis 111
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