Mikrosystemtechnik:
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Berlin u.a.
Beuth
1997
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| Series: | Deutsches Institut für Normung: DIN-Fachbericht
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Inhaltsverzeichnis
Seite
1 Einleitung 9
2 Allgemeines zur Mikrosystemtechnik 14
3 Genormte Bussysteme 17
4 Sensoren
4 1 Einleitung 25
4 2 Übersicht über vorhandene deutsche und internationale
Normen für Sensoren 26
4 3 Gerätedokumentation für Sensoren
4 31 Gerätedokumentation nach DIN V 19259 29
4 32 Begriffe und Strukturen von Sensorsystemen mit analogem
oder digitalem Ausgang für die industrielle Prozeßtechnik 30
4 4 Sachmerkmal-System für Sensoren
4 41 Das Sachmerkmal-System 41
4 42 Sachmerkmal-Leisten für Sensoren für chemische Signale:
Auszug aus DIN V 4000-71 45
4 5 Zur Entwicklungsbegleitenden Normung von Biosensoren 47
4 6 Insertierbare Glukosesensoren 48
4 7 Sensorprinzip zur integrierten Hell-/Dunkelfeldmessung
für die optische Qualitätskontrolle 50
5 Aktoren
5 1 Einleitung 58
5 2 Piezoelektrische Aktoren
5 21 Meßverfahren zur Charakterisierung piezoelektrischer Keramiken 59
5 22 Definition von meßtechnischen Verfahren zur Charakterisierung
piezoelektrischer Aktoren im Großsignalbetrieb 90
5 3 Messung des Drehmomentes von Mikromotoren 96
6 Materialien der Mikrosystemtechnik
6 1 Einleitung 106
6 2 Charakterisierung von dünnen Schichten 107
6 3 Universalhärteprüfung - Probleme bei der Vorbereitung
von DIN 50359-1 110
6 4 Besonderheiten bei der Nanohärteprüfung an Silizium 120
6 5 Shape Memory Alloys 123
7 Fertigung
7 1 Einleitung und Stand der Entwicklungsbegleitenden Normung 124
7 2 Handhabungsfunktionen für Bauteile der Mikrosystemtechnik 125
7 3 Klassifizierung der Bauteile der Mikrosystemtechnik 130
7 4 Cluster-Fertigungskonzept 141
7 5 Magazinier- und Zuführtechnik für die Fertigung von
Mikrosystemen
7 51 Einleitung 146
7 52 Werkstückträger für Mikrosysteme - Norm-Vorlage 153
7 6 Reinraumtechnik und Mikrosystemtechnik 157
8 Ausgewählte Anwendungen: Optik
8 1 Einleitung 166
8 2 Integrierte Optik
8 21 Stand der Entwicklungsbegleitenden Normung 167
8 22 EBN zur Meßtechnik an integriert-optischen Chipeiementen 169
8 23 Schnittstellen in der Integrierten Optik 170
8 24 ISO Committee Draft: Integrated Optics -
Part 1: Vocabulary and symbols 171
8 25 Part 2: Classification criteria 184
8 26 ISO Committee Draft: Integrated Optics - Interfaces -
Parameters relevant to coupling properties 193
8 3 Entwicklungsbegleitende Normung von Optohybriden 201
8 4 Mikrooptik
8 41 Entwicklungsbegleitende Normung in der Mikrooptik 206
8 42 ISO Committee Draft: Microlens arrays -
Part 1: Vocabulary and symbols 207
9 Ausgewählte Anwendungen: Mikrofluidik
9 1 Einleitung 215
9 2 Leitlinien für die Entwicklungsbegleitende Normung
von Mikropumpen 216
Antwortbogen für Anregungen und Kritik 227 |
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