Einfluß des Temperns auf die elektrische Aktivierung ionenimplantierten Arsens hoher Konzentration in Silizium: Experimente und Modellbeschreibung
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
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1997
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INHALT
DANKSAGUNGEN
V
SYMBOLLISTE
VI
1
EINLEITUNG
1
2
ALLGEMEINES
4
2.1
DIE
ELEKTRISCHE
SAETTIGUNGSGLEICHGEWICHTSKONZENTRATION
(ESGK)
.
4
2.2
DOTIERUNG
.
5
2.3
AUSHEILUNG
(RTA
UND
KONVENTIONELLE
TEMPERUNG)
.
6
2.4
DIFFUSION
DER
DOTANDEN
.
8
2.5
DIE
LADUNGSTRAEGERKONZENTRATION
IM
THERMODYNAMISCHEN
GLEICHGEWICHT
.
11
2.5.1
DIE
LADUNGSTRAEGERKONZENTRATION
IM
NICHTENTARTUNGSFALL
.
12
2.5.2
DIE
LADUNGSTRAEGERKONZENTRATION
IN
ENTARTET
DOTIERTEN
HALBLEITERN
.
13
2.6
LEITFAEHIGKEIT
DOTIERTER
HALBLEITER
.
14
2.7
FLAECHENWIDERSTAND
UND
FLAECHENLEITWERT
DOTIERTER
HALBLEITER
.
14
2.8
ELEKTRISCHE
FLAECHENDICHTE
DOTIERTER
HALBLEITER
.
15
2.9
STROMDICHTE
IN
HALBLEITERN
.
15
3
EXPERIMENTELLE
BESTIMMUNG
DER
ZEITLICHEN
ENTWICKLUNG
DER
LADUNGSTRAEGERKONZENTRATION
17
3.1
DIE
EXPERIMENTE
.
17
3.2
DIE
EXPERIMENTELLEN
ERGEBNISSE
.
18
INHALT
3.2.1
DYNAMISCHE
TEMPERUNG,
GLEICHGEWICHTSTEMPERUNG
UND
DIE
GLEICHGEWICHTSKONZENTRATION
DER
LADUNGSTRAEGER
.
18
3.2.2
FUER
EINE
1000C-TEMPERUNG
.
20
3.2.3
FUER
EINE
900C-TEMPERUNG
.
22
3.2.4
FUER
EINE
800C-TEMPERUNG
.
23
3.2.5
FUER
EINE
1200C-TEMPERUNG
.
25
3.3
SCHLUSSFOLGERUNGEN
.
27
4
EXPERIMENTELLE
BESTIMMUNG
DER
ELEKTRISCHEN
SAETTIGUNGSGLEICH
GEWICHTSKONZENTRATION
(ESGK)
31
4.1
DIE
EXPERIMENTE
.
31
4.2
DIE
ELEKTRISCHE
SAETTIGUNGSKONZENTRATION
FUER
800-1000C
.
32
4.3
DIE
MAXIMALE
ELEKTRISCHE
GLEICHGEWICHTSKONZENTRATION
FUER
800
1000C
.
34
4.4
DIE
ELEKTRISCHE
SAETTIGUNGSGLEICHGEWICHTSKONZENTRATION
FUER
800
1000C
.
36
4.5
DIE
ELEKTRISCHE
SAETTIGUNGSGLEICHGEWICHTSKONZENTRATION
FUER
1200C
.
36
4.6
DIE
WERTE
DER
ELEKTRISCHEN
SAETTIGUNGSGLEICHGEWICHTSKONZENTRATION
.
38
4.7
ZUM
EINFLUSS
DES
WAERMBEHANDLUNGSVERFAHRENS
AUF
DIE
ESGK-BESTIMMUNG
.
38
4.8
ZUM
EINFLUSS
DES
ABKUEHLPROZESSES
AUF
DIE
ESGK-BESTIMMUNG
.
41
4.9
SCHLUSSFOLGERUNGEN
.
43
5
PHYSIKALISCHE
ABLEITUNG
EINES
ZUSAMMENHANGES
ZWISCHEN
DER
ELEKTRISCHEN
SAETTIGUNGSGLEICHGEWICHTSKONZENTRATION
UND
DER
TEMPERATUR
46
5.1
DIE
THEORETISCHE
HERLEITUNG
DER
ELEKTRISCHEN
SAETTIGUNGSGLEICHGEWICHTS
KONZENTRATION
.
46
5.2
DIE
ANPASSUNG
DER
PARAMETER
M
UND
E
A
.
49
5.3
SCHLUSSFOLGERUNG
.
50
INHALT
6
LADUNGSTRAEGERBEWEGLICHKEIT
IN
HOCH
AS-DOTIERTEN
HALBLEITERN
51
6.1
EXPERIMENTELLE
ERGEBNISSE
.
53
6.2
ZUSAMMENFASSUNG
.
57
7
TEMPERUNGSMODELLE
FUER
AS-IMPLANTIERTES
SI
(LITERATURUEBERSICHT)
58
7.1
DAS
PUNKT-DEFEKT-DIFFUSION-MODELL
VON
E.
ANTONCIK
.
59
7.2
DAS
DYNAMISCHE
CLUSTERING-MODELL
VON
TSAI,
KOEGLER,
ET
AL
.
61
7.3
DAS
DYNAMISCHE
CLUSTERING-MODELL
IN
SUPREM3
.
63
7.3.1
DIE
DIFFUSIONSKOEFFIZIENTEN
.
64
7.3.2
FUER
EINEN
GLEICHGEWICHTSZUSTAND
DES
CLUSTERING
.
65
7.3.3
DER
FALL
HOHER
DOTANDENKONZENTRATIONEN
.
66
7.3.4
DIE
ANFANGSBEDINGUNG
.
66
7.3.5
DIE
PROBLEME
IM
SUPREM3-MODELL
.
67
7.4
DAS
ELEKTRISCHE
AKTIVIERUNGS-MODELL
IN
TSUPREM-4
.
70
7.5
DAS
DREI-PHASEN-TEMPERUNGSMODELL
KAMGARS
.
70
7.6
ZUSAMMENFASSUNG
.
71
8
DAS
NEU
ENTWICKELTE
DYNAMISCHE
CLUSTERING-MODELL
73
8.1
DIE
ERGAENZUNGEN
FUER
DAS
DREI-PHASEN-TEMPERUNGSMODELL
KAMGARS
.
73
8.2
DIE
MATHEMATISCHE
FORMULIERUNG
DES
NEU
ENTWICKELTEN
DYNAMISCHEN
CLUSTERING-MODELLS
.
74
8.2.1
DIFFUSIONSGLEICHUNGEN
FUER
EIN
DYNAMISCHES
CLUSTERING-MODELL
.
75
8.2.2
DISKUSSION
DES
DYNAMISCHEN
CLUSTERING-REAKTIONS-FAKTORS
G
C
75
8.2.3
DIE
ANNAHMEN
FUER
DAS
ENTWICKELTE
DYNAMISCHE
CLUSTERING-MODELL
.
79
8.2.4
DIE
SYSTEMGLEICHUNGEN
FUER
DAS
ENTWICKELTE
DYNAMISCHE
CLUSTERING-MODELL
80
INHALT
8.3
DIE
ANFANGSBEDINGUNGEN
FUER
DAS
ENTWICKELTE
DYNAMISCHE
CLUSTERING-MODELL
.
83
8.3.1
DIE
ANFANGSVERTEILUNG
DER
ELEKTRISCH
AKTIVEN
DOTANDENKONZENTRATION
.
83
8.3.2
DIE
ANFANGSVERTEILUNG
DER
TOTALEN
(CHEMISCHEN)
DOTANDENKONZENTRATION.
85
8.4
DIE
RANDBEDINGUNGEN
FUER
DAS
ENTWICKELTE
DYNAMISCHE
CLUSTERING-MODELL
.
85
8.5
ZUSAMMENFASSUNG
.
86
9
BERECHNUNGSERGEBNISSE
MIT
DEM
NEUEN
MODELL
UND
DEREN
VERGLEICH
MIT
DHE-MESSUNGEN
UND
SUPREM3-SIMULATIONEN
87
9.1
SCHLUSSFOLGERUNGEN
AUS
DEM
VERGLEICH
DER
RECHENERGEBNISSE
DES
NEUEN
MODELLS
MIT
EXPERIMENTELLEN
DATEN
UND
DER
SUPREM3-SIMULATION
.
93
9.2
ZUSAMMENFASSUNG
.
94
10
ZUSAMMENFASSUNG
95
10.1
AUSBLICK
.
98
ANHANG
99
AL
BEWEGLICHKEIT
UND
STREUMECHANISMEN
IN
HALBLEITERN
99
AL.L
STREUUNG
AN
GELADENEN
STOERSTELLEN
(COULOMB-STREUUNG)
.
100
A1.2
GITTERSTREUUNG
.
101
A
1.3
STREUUNG
AN
ELEKTRISCH
NEUTRALEN
STOERSTELLEN
.
102
A1.4
DIE
LADUNGSTRAEGERBEWEGLICHKEIT
IM
FALLE
DES
WIRKENS
MEHRERER
STREUMECHANISMEN
.
103
AL.
5
HALL-EFFEKT
UND
HALL-BEWEGLICHKEIT
.
103
A2
NUMERISCHEN
LOESUNG
DER
DIFFUSIONSGLEICHUNGEN
105
A3
DIE
RANDBEDINGUNGEN
107
A4
SCHEMATISCHES
FLUSSDIAGRAMM
DES
RECHENPROGRAMMS
108
LITERATUR
109 |
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