Reaktive Trockenätzprozesse zur Herstellung von III-V-Halbleitermikrostrukturen für optoelektronische Anwendungen:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1997
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | 124 S. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV011507054 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19980420 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 970828s1997 ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 951525204 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)258614520 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV011507054 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-20 |a DE-29T |a DE-12 |a DE-355 |a DE-703 |a DE-11 |a DE-188 | ||
| 100 | 1 | |a Zull, Heribert |d 1967- |e Verfasser |0 (DE-588)11569479X |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Reaktive Trockenätzprozesse zur Herstellung von III-V-Halbleitermikrostrukturen für optoelektronische Anwendungen |c vorgelegt von Heribert Zull |
| 264 | 1 | |c 1997 | |
| 300 | |a 124 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Würzburg, Univ., Diss., 1997 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Drei-Fünf-Halbleiter |0 (DE-588)4150649-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Zwei-Sechs-Halbleiter |0 (DE-588)4191263-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Trockenätzen |0 (DE-588)4222074-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a ECR-Ätzen |0 (DE-588)4325636-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Mikrostruktur |0 (DE-588)4131028-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Quantendraht |0 (DE-588)4263397-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Zwei-Sechs-Halbleiter |0 (DE-588)4191263-9 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Mikrostruktur |0 (DE-588)4131028-7 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Trockenätzen |0 (DE-588)4222074-9 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Drei-Fünf-Halbleiter |0 (DE-588)4150649-2 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a ECR-Ätzen |0 (DE-588)4325636-3 |D s |
| 689 | 1 | 2 | |a Quantendraht |0 (DE-588)4263397-7 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007743893&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007743893 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804126027960549376 |
|---|---|
| any_adam_object | 1 |
| author | Zull, Heribert 1967- |
| author_GND | (DE-588)11569479X |
| author_facet | Zull, Heribert 1967- |
| author_role | aut |
| author_sort | Zull, Heribert 1967- |
| author_variant | h z hz |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV011507054 |
| ctrlnum | (OCoLC)258614520 (DE-599)BVBBV011507054 |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01960nam a2200457 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV011507054</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19980420 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">970828s1997 ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">951525204</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)258614520</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV011507054</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-20</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-703</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield><subfield code="a">DE-188</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Zull, Heribert</subfield><subfield code="d">1967-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)11569479X</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Reaktive Trockenätzprozesse zur Herstellung von III-V-Halbleitermikrostrukturen für optoelektronische Anwendungen</subfield><subfield code="c">vorgelegt von Heribert Zull</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1997</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">124 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Würzburg, Univ., Diss., 1997</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Drei-Fünf-Halbleiter</subfield><subfield code="0">(DE-588)4150649-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Zwei-Sechs-Halbleiter</subfield><subfield code="0">(DE-588)4191263-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Trockenätzen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4222074-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">ECR-Ätzen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4325636-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikrostruktur</subfield><subfield code="0">(DE-588)4131028-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Quantendraht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4263397-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Zwei-Sechs-Halbleiter</subfield><subfield code="0">(DE-588)4191263-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Mikrostruktur</subfield><subfield code="0">(DE-588)4131028-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Trockenätzen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4222074-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Drei-Fünf-Halbleiter</subfield><subfield code="0">(DE-588)4150649-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">ECR-Ätzen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4325636-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Quantendraht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4263397-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007743893&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007743893</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV011507054 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T18:10:56Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007743893 |
| oclc_num | 258614520 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-20 DE-29T DE-12 DE-355 DE-BY-UBR DE-703 DE-11 DE-188 |
| owner_facet | DE-20 DE-29T DE-12 DE-355 DE-BY-UBR DE-703 DE-11 DE-188 |
| physical | 124 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1997 |
| publishDateSearch | 1997 |
| publishDateSort | 1997 |
| record_format | marc |
| spelling | Zull, Heribert 1967- Verfasser (DE-588)11569479X aut Reaktive Trockenätzprozesse zur Herstellung von III-V-Halbleitermikrostrukturen für optoelektronische Anwendungen vorgelegt von Heribert Zull 1997 124 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Würzburg, Univ., Diss., 1997 Drei-Fünf-Halbleiter (DE-588)4150649-2 gnd rswk-swf Zwei-Sechs-Halbleiter (DE-588)4191263-9 gnd rswk-swf Trockenätzen (DE-588)4222074-9 gnd rswk-swf ECR-Ätzen (DE-588)4325636-3 gnd rswk-swf Mikrostruktur (DE-588)4131028-7 gnd rswk-swf Quantendraht (DE-588)4263397-7 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Zwei-Sechs-Halbleiter (DE-588)4191263-9 s Mikrostruktur (DE-588)4131028-7 s Trockenätzen (DE-588)4222074-9 s DE-604 Drei-Fünf-Halbleiter (DE-588)4150649-2 s ECR-Ätzen (DE-588)4325636-3 s Quantendraht (DE-588)4263397-7 s DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007743893&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Zull, Heribert 1967- Reaktive Trockenätzprozesse zur Herstellung von III-V-Halbleitermikrostrukturen für optoelektronische Anwendungen Drei-Fünf-Halbleiter (DE-588)4150649-2 gnd Zwei-Sechs-Halbleiter (DE-588)4191263-9 gnd Trockenätzen (DE-588)4222074-9 gnd ECR-Ätzen (DE-588)4325636-3 gnd Mikrostruktur (DE-588)4131028-7 gnd Quantendraht (DE-588)4263397-7 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4150649-2 (DE-588)4191263-9 (DE-588)4222074-9 (DE-588)4325636-3 (DE-588)4131028-7 (DE-588)4263397-7 (DE-588)4113937-9 |
| title | Reaktive Trockenätzprozesse zur Herstellung von III-V-Halbleitermikrostrukturen für optoelektronische Anwendungen |
| title_auth | Reaktive Trockenätzprozesse zur Herstellung von III-V-Halbleitermikrostrukturen für optoelektronische Anwendungen |
| title_exact_search | Reaktive Trockenätzprozesse zur Herstellung von III-V-Halbleitermikrostrukturen für optoelektronische Anwendungen |
| title_full | Reaktive Trockenätzprozesse zur Herstellung von III-V-Halbleitermikrostrukturen für optoelektronische Anwendungen vorgelegt von Heribert Zull |
| title_fullStr | Reaktive Trockenätzprozesse zur Herstellung von III-V-Halbleitermikrostrukturen für optoelektronische Anwendungen vorgelegt von Heribert Zull |
| title_full_unstemmed | Reaktive Trockenätzprozesse zur Herstellung von III-V-Halbleitermikrostrukturen für optoelektronische Anwendungen vorgelegt von Heribert Zull |
| title_short | Reaktive Trockenätzprozesse zur Herstellung von III-V-Halbleitermikrostrukturen für optoelektronische Anwendungen |
| title_sort | reaktive trockenatzprozesse zur herstellung von iii v halbleitermikrostrukturen fur optoelektronische anwendungen |
| topic | Drei-Fünf-Halbleiter (DE-588)4150649-2 gnd Zwei-Sechs-Halbleiter (DE-588)4191263-9 gnd Trockenätzen (DE-588)4222074-9 gnd ECR-Ätzen (DE-588)4325636-3 gnd Mikrostruktur (DE-588)4131028-7 gnd Quantendraht (DE-588)4263397-7 gnd |
| topic_facet | Drei-Fünf-Halbleiter Zwei-Sechs-Halbleiter Trockenätzen ECR-Ätzen Mikrostruktur Quantendraht Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007743893&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT zullheribert reaktivetrockenatzprozessezurherstellungvoniiivhalbleitermikrostrukturenfuroptoelektronischeanwendungen |