Zywitzki, O. (1997). Einfluß von Substrattemperatur und Plasmaaktivierung auf Struktur und Eigenschaften von PVD-Al 2 O 3 -Schichten.
Chicago Style (17th ed.) CitationZywitzki, Olaf. Einfluß Von Substrattemperatur Und Plasmaaktivierung Auf Struktur Und Eigenschaften Von PVD-Al 2 O 3 -Schichten. 1997.
MLA (9th ed.) CitationZywitzki, Olaf. Einfluß Von Substrattemperatur Und Plasmaaktivierung Auf Struktur Und Eigenschaften Von PVD-Al 2 O 3 -Schichten. 1997.
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