Untersuchungen zum Aufbau eines Mikromassenspektrometers:
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| Sprache: | German |
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1997
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
1
2
KOMPONENTEN
EINES
MASSENSPEKTROMETERS
UND
IHR
ENTWICKLUNGSPO
TENTIAL
ZUM
MIKROSYSTEM
4
2.1
[ONENQUELLEN
.
5
2.1.1
ELEKTRONENSTOSSIONISATION
.
6
2.1.2
DIREKTE
IONISATION
.
10
2.2
ANALYSATOREN
.
13
2.2.1
MAGNETFELDGERAETE
.
13
2.2.2
FLUGZEITMASSENSPEKTROMETER
.
15
2.2.3
QUADRUPOLMASSENSPEKTROMETER
.
16
2.2.4
LONENFALLE
.
16
2.2.5
MIKROSEPARATOR
.
17
2.3
ENERGIESEPARATOREN
UND
FOKUSIERUNGEN
.
18
2.4
EINLASSSYSTEME
.
20
2.5
DETEKTOREN
.
21
2.6
VAKUUMERZEUGUNG
.
22
3
SYSTEMKONZEPT
25
4
THEORETISCHE
BETRACHTUNGEN
ZU
DEN
SYSTEMKOMPONENTEN
28
4.1
ENTSTEHUNG
UND
KENNGROESSEN
EINES
ELEKTRISCH
ANGEREGTEN
PLASMAS
.
.
29
4.1.1
STOSSTHEORIE
.
30
4.1.2
LADUNGSTRAEGERVERLUSTMECHANISMEN
.
32
4.1.3
DAS
GLEICHSPANNUNGSANGEREGTE
PLASMA
.
33
4.1.4
DAS
WECHSELSPANNUNGSANGEREGTE
PLASMA
.
35
4.2
DIMENSIONIERUNG
VON
PLASMAKAMMER
UND
LONISIERUNGSKAMMER
.
37
4.3
GRUNDLAGEN
ZUR
DRUCKBERECHNUNG
FUER
EIN
MIKROMASSENSPEKTROMETER
.
.
38
4.4
DIMENSIONIERUNG
EINER
ABSORBERPUMPE
.
40
4.5
ELEKTRONEN
UND
LONENEMISSION
DURCH
ELEKTRISCHE
FELDER
.
41
4.6
DER
WANDERFELD-MASSENSEPARATOR
.
43
4.6.1
DAS
MASSENTRENNUNGSPRINZIP
.
43
5
SIMULATION
48
5.1
SIMULATION
DES
WANDERFELDSEPARATORS
.
48
5.2
SIMULATION
DER
LONISIERUNGSEINHEITEN
.
54
6
TECHNOLOGIEN
ZUR
HERSTELLUNG
EINES
MIKROSYSTEMS
55
6.1
ABSCHEIDEVERFAHREN
.
55
6.1.1
PVD-VERFAHREN
.
56
6.1.2
CVD-VERFAHREN
.
59
6.1.3
DIE
THERMISCHE
OXIDATION
.
60
6.2
STRUKTURIERUNGSVERFAHREN
.
60
6.3
AUFBAU
UND
VERBINDUNGSTECHNIK
.
63
6.3.1
ANODISCHES
BONDEN
.
66
7
UNTERSUCHUNGEN
ZUM
MIKROMASSENSPEKTROMETER
71
7.1
VERSUCHSAUFBAU
.
71
7.2
DAS
MIKROPLASMA
.
71
7.2.1
EINFLUESSE
AUF
DAS
MIKROPLASMA
.
74
7.3
DIE
FELDEMISSION
.
76
7.4
DER
MIKROMASSENSEPARATOR
.
78
7.4.1
AUFBAU
DES
SEPARATORS
.
79
8
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
82
II
A
TABELLEN
84
B
ABBILDUNGEN
88
C
ANHANG
131
CT*
SPUTTERPARAMETER
.
131
C.2
ATZREZEPTE
.
132
LITERATURVERZEICHNIS
133
III |
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