Untersuchung der chemischen Wechselwirkung von Titan und Kohlenstoff mittels Röntgen-Photoelektronen-Spektroskopie:
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INHALTSVERZEICHNIS
KAPITEL
1:
EINFUEHRUNG
UND
MOTIVATION
3
KAPITEL
2:
ROENTGEN-PHOTOELEKTRONEN-SPEKTROSKOPIE
8
2.1
GRUNDLAGEN
DER
ROENTGEN-PHOTOELEKTRONEN-SPEKTROSKOPIE
8
22
INTERPRETATION
DER
ELEKTRONENSPEKTREN
10
2.2.1
THEORIE
DER
PHOTOEMISSION
10
2.2.2
DIE
CHEMISCHE
VERSCHIEBUNG
13
2.2.3
STRUKTUR
DER
SPEKTREN
13
23
QUANTITATIVE
ANALYSE
18
2.3.1
UNTERGRUNDSUBTRAKTION
18
2.3.2
KONZENTRATIONSBESTIMMUNG
21
2.3.3
DUENNE
UND
MONOATOMARE
SCHICHTEN
22
24
NICHTLINEARE
KURVENANPASSUNG
23
2.4.1
GRUNDLAGEN
23
2.4.2
FITFUNKTIONEN
24
23
OBERFLAECHENZERSTAEUBUNG
25
KAPITEL
3:
APPARATIVER
AUFBAU
27
3.1
AUFBAU
DES
SPEKTROMETERS
27
3.1.1
VAKUUMKAMMER
UND
PROBENMANIPULATION
27
3.1.2
ROENTGENQUELLEN
29
3.1.3
ENERGIEANALYSATOR
31
3.1.4
AUFLOESUNGSVERMOEGEN
DES
SPEKTROMETERS
32
3.1.5
LONENQUELLE
UND
ELEKTRONENDUSCHE
33
3.1.7
DATENERFASSUNG
UND
-ANALYSE
33
33
DIE
PRAEPARATIONSKAMMER
34
3.2.1
PROBLEMSTELLUNG
34
3.2.2
AUFBAU
DER
PRAEPARATIONSKAMMER
36
KAPITEL
4:
DATENANALYSE
UNTER
VERWENDUNG
DER
BAYES
'
SCHEN
WAHRSCHEINLICHKEITSTHEORIE
39
4.1 GRUNDLAGEN
40
4
2
ANWENDUNG
AUF
SILBER-XPS-SPEKTREN
45
4.2.1
BESTIMMUNG
DER
XPS-APPARATEFUNKTION
45
4.2.2
ENTFALTUNG
DER
SILBER
3DS/RLINIE
49
KAPITEL
5:
TITANSCHICHT
AUF
KOHLENSTOFFSUBSTRAT
51
5.1
DAS
TI-C-PHASENDIAGRAMM
51
52
TITAN
AUF
GRAPHITSUBSTRAT
53
5.2.1
PRAEPARATION
DER
CARBIDSCHICHTEN
53
5.2.2
TEMPERATURABHAENGIGKEIT
DER
CARBIDISIERUNG
55
5.2.3
ZEITABHAENGIGKEIT
DER
CARBIDISIERUNG
66
53
TITAN
AUF
DIAMANTSUBSTRAT
68
5.3.1
PROBENPRAEPARATION
69
5.2.2
TI
2P-SPEKTREN
71
5.2.3
ZUSAMMENSETZUNG
DER
TITANSCHICHT
78
54
GESAMTBILD
DER
CARBIDISIERUNG
VON
TITANSCHICHTEN
AUF
KOHLENSTOFFSUBSTRATEN
81
55
TICI-SCHICHTEN
UND
IHR
VERHALTEN
BEZUEGLICH
CHEMISCHER
EROSION
83
KAPITEL
6:
ZUSAMMENFASSUNG
86
LITERATURVERZEICHNIS
88 |
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