(1995). High density plasma sources: Design, physics and performance. Noyes.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)High Density Plasma Sources: Design, Physics and Performance. Park Ridge, NJ: Noyes, 1995.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)High Density Plasma Sources: Design, Physics and Performance. Noyes, 1995.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.