Kathodolumineszenz und Kathodo-Elektro-Lumineszenz von SiO1tn2-Schichten:
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| Format: | Microfilm Book |
| Language: | German |
| Published: |
1996
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| Edition: | [Mikrofiche-Ausg.] |
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| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
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INHALTSVERZEICHNIS
1 EINLEITUNG 1
2 LUMINESZENZ DES SIOE
2 3
2.1 GRUNDLAGEN DER LUMINESZENZ 3
2.1.1 EINFUEHRUNG IN DIE GRUNDBEGRIFFE 3
2.1.2 DAS KONFIGURATIONSKOORDINATEN-MODELL 3
2.1.3 DAS BAENDERMODELL 5
2.1.4 VERGLEICH VON KL UND PL 6
2.2 LITERATUR ZUR LUMINESZENZ DUENNER SI0
2-SCHICHTEN 7
2.3 LUMINESZENZ-ZENTREN-MODELLE FUER SI0
2 10
2.3.1 ESR-AKTIVE DEFEKTE 10
2.3.2 ZENTRENMODELLE FUER DEN 1,9 EV-PEAK 11
2.3.3 MODELLE FUER DIE PEAKS BEI 2,7 EV UND 4,35 EV- 14
2.3.4 NEBENBANDEN DES KL-SPEKTRUMS 21
2.3.5 ZUSAMMENFASSUNG DER LUMINESZENZ- UND IHRER ANREGUNGSBANDEN 22
3 DIE KATHODOLUMINESZENZ-MESSAPPARATUREN 24
3.1 ALTE APPARATUR MIT VAKUUM-GITTERMONOCHROMATOR 24
3.2
MESSPLATZ FUER DIE ZEITAUFGELOESTE KL AN DER UNIVERSITAET RIGA 25
3.3 KL-VARIANTEN FUER DAS RASTERELEKTRONENMIKROSKOP 26
3.3.1 AUFGABE 26
3.3.2 LUMINESZENZ-KOLLEKTOR 27
3.3.3 OPTISCHES LEITSYSTEM (VERBINDUNG KOLLEKTOR-MONOCHROMATOR) 28
3.3.4 WELLENLAENGEN-ANALYSATOR 29
3.3.5 LUMINESZENZ-DETEKTOR 30
3.4
DIE AUFGEBAUTE KL-APPARATUR 32
3.4.1 BESCHREIBUNG DER NEUEN APPARATUR 32
3.4.2 DEMONSTRATION DER LEISTUNGSFAEHIGKEIT DER NEUEN KL-APPARATUR 35
4 DOSIS-TEMPERATUR-VERHALTEN DER KATHODOLUMINESZENZ 40
4.1 KINETIK DER ZENTRENAKTIVIERUNG BEI RAUMTEMPERATUR 40
4.1.1 DOSISVERHALTEN DES B-PEAKS (460 NM) 40
4.1.2 DOSISVERHALTEN DES UV-PEAKS (285 NM) 45
4.1.3 DOSISVERHALTEN DES R-PEAKS (650 NM) 46
4.2 TEMPERATUREINFLUSS AUF DIE KL 48
4.3 DOSISVERHALTEN VON TEOS-SI0
2-SCHICHTEN 54
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
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4.4 EIN MODELL ZUR AKTIVIERUNG DER KL-ZENTREN 59
4.4.1 ERZEUGUNG PARAMAGNETISCHER DEFEKTE DURCH IONISIERENDE STRAHLUNG 59
4.4.2 ERKLAERUNG DER TEMPERATURABHAENGIGKEIT DER ZENTRENAKTIVIERUNG 61
4.4.3 ALTERNATIVE EINFLUESSE AUF DAS KL-SPEKTRUM 65
5 KATHODO-ELEKTRO-LUMINESZENZ: 67
KL UNTER EINFLUSS EINES ELEKTRISCHEN FELDES
5.1 MOTIVATION UND ELEKTROLUMINESZENZDATEN 67
5.2 PROBENPRAEPARATION 68
5.3 FELDEINFLUSS AUF DEN B-PEAK (460 NM) 71
5.3.1 FELDABHAENGIGKEIT DER B-PEAK-VERSTAERKUNG 71
5.3.2 ENERGIEABHAENGIGKEIT UND VERGLEICH MIT EBIC-MESSUNGEN 74
5.4 EIN MODELL ZUR ERKLAERUNG DER KATHODO-ELEKTRO-LUMINESZENZ 76
5.4.1 REKOMBINATION ODER STOSSAEHREGUNG? 76
5.4.2 MONTE-CARLO-RECHNUNGEN ZUR STOSSANREGUNG 78
5.4.3 ZEITAUFGELOESTE KL-SPEKTROSKOPIE AN SI0
2-SCHICHTEN 80
5.5 FELDEINFLUSS AUF DEN R-PEAK (650 NM) 81
6 KATHODOLUMINESZENZ ALS TIEFENSONDE 83
6.1 MODELLE ZUR TIEFENANREGUNG MIT ENERGIEVARIATION 83
6.1.1 DIE "CONSTANT POWER"-METHODE 83
6.1.2 KL-TIEFENANALYSE UND IHRE VORAUSSETZUNGEN 84
6.1.3 REICHWEITE-ENERGIE-BEZIEHUNG UND TIEFENDOSIS-KURVE 86
6.2 EXPERIMENTE UND MODELLIERUNGEN 89
6.3 DISKUSSION DER OBERFLAECHENNAHEN TOTSCHICHT 95,
6.4 BESTIMMUNG DER SIO
Z-SCHICHTDICKE AUS DER KL 96
6.5 LATERALE KL-AUFLOESUNG (KL-LINESCAN) 97
7 ZUSAMMENFASSUNG 99
ANHANG 101
A. 1 STROMDICHTEABHAENGIGKEIT DER SI0
2-PEAKS 101
A.2 WEITERE DOSIS-TEMPERATUR-EFFEKTE 104
A.3 LOESUNG DER DIFFERENTIALGLEICHUNG FUER DIE ZENTRENAKTIVIERUNG 106
A.4 ABKLINGVERHALTEN DER KL-PEAKS 108
A.5 WEITERE LUMINESZENZZENTREN-TIEFENMODELLIERUNGEN 111
ABKUERZUNGEN UND SYMBOLE 115
LITERATURVERZEICHNIS 116 |
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