Untersuchung des Schmelzprozesses kleiner Goldteilchen auf Silizium(111)-Substraten mittels spektroskopischer Ellipsometrie:
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Thesis Book |
| Language: | German |
| Published: |
1997
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
| Physical Description: | 106 S. Ill., zahlr. graph. Darst. |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV011360516 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20071019 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 970602s1997 ad|| m||| 00||| gerod | ||
| 016 | 7 | |a 950993506 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)614195368 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV011360516 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-29 |a DE-29T |a DE-355 |a DE-12 |a DE-83 |a DE-11 |a DE-188 | ||
| 084 | |a UP 7550 |0 (DE-625)146434: |2 rvk | ||
| 084 | |a UP 8300 |0 (DE-625)146450: |2 rvk | ||
| 084 | |a UQ 2100 |0 (DE-625)146483: |2 rvk | ||
| 084 | |a ZN 4150 |0 (DE-625)157360: |2 rvk | ||
| 100 | 1 | |a Mümmler, Klaus |d 1968- |e Verfasser |0 (DE-588)115541934 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Untersuchung des Schmelzprozesses kleiner Goldteilchen auf Silizium(111)-Substraten mittels spektroskopischer Ellipsometrie |c von Klaus Mümmler |
| 264 | 1 | |c 1997 | |
| 300 | |a 106 S. |b Ill., zahlr. graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1997 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Kristallfläche |0 (DE-588)4151344-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Schmelzen |0 (DE-588)4179780-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Ellipsometrie |0 (DE-588)4152025-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Gold |0 (DE-588)4157819-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Kristallfläche |0 (DE-588)4151344-7 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Gold |0 (DE-588)4157819-3 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Schmelzen |0 (DE-588)4179780-2 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Ellipsometrie |0 (DE-588)4152025-7 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Gold |0 (DE-588)4157819-3 |D s |
| 689 | 1 | 2 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |D s |
| 689 | 1 | 3 | |a Schmelzen |0 (DE-588)4179780-2 |D s |
| 689 | 1 | 4 | |a Ellipsometrie |0 (DE-588)4152025-7 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007634946&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007634946 | |
Record in the Search Index
| _version_ | 1807501543267631104 |
|---|---|
| adam_text |
INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
3
2
GRUNDPRINZIP
EINES
ELLIPSOMETERS
5
3
MESSANORDNUNG
8
3.1
ELLIPSOMETER
.
8
3.1.1
ELEMENTE
DES
ELLIPSOMETERS
.
8
3.1.2
FUNKTIONSWEISE
.
10
3.2
VAKUUMAPPARATUR
.
14
3.3
PROBENPRAEPARATION
.
16
3.3.1
PROBENHALTER
.
16
3.3.2
PRAEPARATION
.
16
3.4
DATENAUFNAHME
UND
STEUERUNG
DES
ELLIPSOMETERS
.
17
3.5
SCHICHTDICKENBESTIMMUNG
.
19
4
SCHICHTSYSTEME
24
4.1
LAGENMODELL
.
24
4.2
VARIATION
DES
EINFALLSWINKELS
.
27
5
INSELFILME
29
5.1
EFFEKTIVE
MEDIEN
.
29
5.1.1
MAXWELL-GAMETT-NAEHERUNG
.
29
5.1.2
BRUEGGEMANN-MODELL
(EMA)
.
30
5.1.3
EINFLUSS
DER
GEOMETRIE
.
30
5.1.4
BERGMAN-DARSTELLUNG
.
31
5.1.5
ELLIPSOIDE
.
32
5.2
MIE-STREUUNG
.
33
5.2.1
ALLGEMEINE
LOESUNG
.
33
5.2.2
LOESUNG
FUER
KUGELSYMMETRISCHE
TEILCHEN
.
36
5.2.3
TEILCHEN
MIT
HUELLE
.
37
5.2.4
ABWEICHUNGEN
VON
DER
KUGELFORM
.
38
5.2.5
SUBSTRATEINFLUSS
.
39
5.2.6
PLASMARESONANZEN
.
39
2
INHALTSVERZEICHNIS
6
DAS GOLD-SILIZIUM-SYSTEM
46
7
SILIZIUM
OHNE
GOLDBELEGUNG
48
8
GOLDFILME
BEI
RAUMTEMPERATUR
50
8.1
AUFDAMPFVORGANG
.
50
8.2
CHARAKTERISIERUNG
DER
FILME
.
51
9
INSELFILME
59
9.1
ABSORPTIONSSPEKTREN
.
59
9.2
AUFNAHMEN
DER
OBERFLAECHE
.
61
9.3
MODELLRECHNUNGEN
.
67
9.3.1
RECHNUNGEN
NACH
DEM
MAXWELL-GAMETT-MODELL
.
67
9.3.2
RECHNUNGEN
MIT
DER
MIE-THEORIE
.
67
9.4
FLUESSIGE
FILME
.
72
10
SCHMELZ-UND
ERSTARRUNGSPROZESS
75
10.1
KINETIK
DER
PHASENUMWANDLUNG
.
78
10.2
SCHICHTDICKENABHAENGIGKEIT
.
81
10.3
VERGLEICH
MIT
WIDERSTANDSMESSUNGEN
.
83
10.4
MOEGLICHE
ERKLAERUNG
DER
HYSTERESE
.
84
11
WINKELABHAENGIGKEIT
89
12
ZUSAMMENFASSUNG
91
A
PROGRAMM
ZUR
SIMULATION
EINES
SCHICHTSYSTEMS
93
B
PROGRAMM
ZUR
MIE-STREUUNG
97
B.L
STREUKOEFFIZIENTEN
FUER
HOMOGENE
KUGELN
.
97
B.2
STREUKOEFFIZIENTEN
FUER
KUGELN
MIT
HUELLE
.
99
C
TECHNISCHE
ZEICHNUNGEN
101 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Mümmler, Klaus 1968- |
| author_GND | (DE-588)115541934 |
| author_facet | Mümmler, Klaus 1968- |
| author_role | aut |
| author_sort | Mümmler, Klaus 1968- |
| author_variant | k m km |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV011360516 |
| classification_rvk | UP 7550 UP 8300 UQ 2100 ZN 4150 |
| ctrlnum | (OCoLC)614195368 (DE-599)BVBBV011360516 |
| discipline | Physik Elektrotechnik / Elektronik / Nachrichtentechnik |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV011360516</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20071019</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">970602s1997 ad|| m||| 00||| gerod</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">950993506</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)614195368</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV011360516</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-29</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield><subfield code="a">DE-188</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">UP 7550</subfield><subfield code="0">(DE-625)146434:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">UP 8300</subfield><subfield code="0">(DE-625)146450:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">UQ 2100</subfield><subfield code="0">(DE-625)146483:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZN 4150</subfield><subfield code="0">(DE-625)157360:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Mümmler, Klaus</subfield><subfield code="d">1968-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)115541934</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Untersuchung des Schmelzprozesses kleiner Goldteilchen auf Silizium(111)-Substraten mittels spektroskopischer Ellipsometrie</subfield><subfield code="c">von Klaus Mümmler</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1997</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">106 S.</subfield><subfield code="b">Ill., zahlr. graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1997</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Kristallfläche</subfield><subfield code="0">(DE-588)4151344-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Schmelzen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4179780-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Ellipsometrie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4152025-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Gold</subfield><subfield code="0">(DE-588)4157819-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Kristallfläche</subfield><subfield code="0">(DE-588)4151344-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Gold</subfield><subfield code="0">(DE-588)4157819-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Schmelzen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4179780-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Ellipsometrie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4152025-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Gold</subfield><subfield code="0">(DE-588)4157819-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">Schmelzen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4179780-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="4"><subfield code="a">Ellipsometrie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4152025-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007634946&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007634946</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV011360516 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-08-16T00:23:17Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007634946 |
| oclc_num | 614195368 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-29 DE-29T DE-355 DE-BY-UBR DE-12 DE-83 DE-11 DE-188 |
| owner_facet | DE-29 DE-29T DE-355 DE-BY-UBR DE-12 DE-83 DE-11 DE-188 |
| physical | 106 S. Ill., zahlr. graph. Darst. |
| publishDate | 1997 |
| publishDateSearch | 1997 |
| publishDateSort | 1997 |
| record_format | marc |
| spelling | Mümmler, Klaus 1968- Verfasser (DE-588)115541934 aut Untersuchung des Schmelzprozesses kleiner Goldteilchen auf Silizium(111)-Substraten mittels spektroskopischer Ellipsometrie von Klaus Mümmler 1997 106 S. Ill., zahlr. graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1997 Silicium (DE-588)4077445-4 gnd rswk-swf Kristallfläche (DE-588)4151344-7 gnd rswk-swf Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd rswk-swf Schmelzen (DE-588)4179780-2 gnd rswk-swf Ellipsometrie (DE-588)4152025-7 gnd rswk-swf Gold (DE-588)4157819-3 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Silicium (DE-588)4077445-4 s Kristallfläche (DE-588)4151344-7 s Gold (DE-588)4157819-3 s Schmelzen (DE-588)4179780-2 s Ellipsometrie (DE-588)4152025-7 s DE-604 Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 s DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007634946&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Mümmler, Klaus 1968- Untersuchung des Schmelzprozesses kleiner Goldteilchen auf Silizium(111)-Substraten mittels spektroskopischer Ellipsometrie Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Kristallfläche (DE-588)4151344-7 gnd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Schmelzen (DE-588)4179780-2 gnd Ellipsometrie (DE-588)4152025-7 gnd Gold (DE-588)4157819-3 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4077445-4 (DE-588)4151344-7 (DE-588)4136925-7 (DE-588)4179780-2 (DE-588)4152025-7 (DE-588)4157819-3 (DE-588)4113937-9 |
| title | Untersuchung des Schmelzprozesses kleiner Goldteilchen auf Silizium(111)-Substraten mittels spektroskopischer Ellipsometrie |
| title_auth | Untersuchung des Schmelzprozesses kleiner Goldteilchen auf Silizium(111)-Substraten mittels spektroskopischer Ellipsometrie |
| title_exact_search | Untersuchung des Schmelzprozesses kleiner Goldteilchen auf Silizium(111)-Substraten mittels spektroskopischer Ellipsometrie |
| title_full | Untersuchung des Schmelzprozesses kleiner Goldteilchen auf Silizium(111)-Substraten mittels spektroskopischer Ellipsometrie von Klaus Mümmler |
| title_fullStr | Untersuchung des Schmelzprozesses kleiner Goldteilchen auf Silizium(111)-Substraten mittels spektroskopischer Ellipsometrie von Klaus Mümmler |
| title_full_unstemmed | Untersuchung des Schmelzprozesses kleiner Goldteilchen auf Silizium(111)-Substraten mittels spektroskopischer Ellipsometrie von Klaus Mümmler |
| title_short | Untersuchung des Schmelzprozesses kleiner Goldteilchen auf Silizium(111)-Substraten mittels spektroskopischer Ellipsometrie |
| title_sort | untersuchung des schmelzprozesses kleiner goldteilchen auf silizium 111 substraten mittels spektroskopischer ellipsometrie |
| topic | Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Kristallfläche (DE-588)4151344-7 gnd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Schmelzen (DE-588)4179780-2 gnd Ellipsometrie (DE-588)4152025-7 gnd Gold (DE-588)4157819-3 gnd |
| topic_facet | Silicium Kristallfläche Dünne Schicht Schmelzen Ellipsometrie Gold Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007634946&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT mummlerklaus untersuchungdesschmelzprozesseskleinergoldteilchenaufsilizium111substratenmittelsspektroskopischerellipsometrie |