Orts- und Frequenzraumverfahren zur quantitativen Analyse optischer Oberflächen:
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| Format: | Buch |
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| Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
1997
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| Schriftenreihe: | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 8]
625 |
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| Beschreibung: | Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 1997 |
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Autor: Kratz, Frank
Jahr: 1997
FORTSCHRITTBERICHTE Dipl.-Phys. Frank Kratz, Wachtberg-Pech Orts- und Frequenz- raumverfahren zur quantitativen Analyse optischer Oberflächen Reihe 8 : Meß-, Steuerungs- und Regelungstechnik Nr. 625
Inhaltsverzeichnis V Orts- und Frequenzraumverfahren zur quantitativen Analyse optischer Oberflächen Notation.............................................................................................................................VH Zusammenfassung...........................................................................................................XIV 1 Einführung.......................................................................................................................1 1.1 Thematischer Hintergrund...........................................................................................1 1.2 Sensorik in der Nanotechnologie..................................................................................6 1.3 Aktuelle Problemstellungen und Lösungskonzept.........................................................9 2 Oberfläche und Meßverfahren - Grundbegriffe...........................................................13 2.1 Charakterisierung der Oberfläche...............................................................................13 2.2 Meßverfahren zur Oberflächenanalyse........................................................................24 2.2.1 Übertragungsfunktion.......................................................................................24 2.2.2 Meßeinrichtungen.............................................................................................28 3 Verzeichnungsproblematik profilometrischer Ortsraumverfahren..............................36 3.1 Einführung.................................................................................................................36 3.2 Bestehende Verfahren................................................................................................38 3.3 Entwicklung eines neuartigen Simulationsverfahrens..................................................41 3.4
Simulationsuntersuchungen........................................................................................46 3.5 Resümee und Verbesserungsvorschlag.......................................................................60 4 Neuartige Frequenzraumverfahren...............................................................................62 4.1 Notwendigkeit..........................................................................................................62 4.2 Winkelauflösende Streulichtmeßeinrichtung...............................................................64 4.2.1 Versuchsaufbau................................................................................................64 4.2.2 Kenngrößen......................................................................................................67 4.2.3 Theoretischer Hintergrund................................................................................75 4.2.4 Bestimmung statistischer Oberflächenparameter im Frequenzraum....................82 4.2.5 Quantitativer Nachweis von Vorzugsrichtungen................................................90
VI Inhaltsverzeichnis 4.3 Integrale Streulichtmeßeinrichtung.............................................................................95 4.3.1 Versuchsaufbau................................................................................................95 4.3.2 Optimierung von Optik und Elektronik.............................................................96 4.3.3 Theoretischer Hintergrund..............................................................................100 4.3.4 Vergleichsmessungen mit mechanischem Profilometer.....................................101 5 Abschlußdiskussion......................................................................................................105 6 Anhänge........................................................................................................................107 6.1 Begriffe und Größen zur Charakterisierung der Oberfläche......................................107 6.2 Herleitung der zweidimensionalen Gittergleichung...................................................109 6.3 Berechnung der Streulichtverteilung durch Störungsrechnung..................................111 7 Literaturverzeichnis.....................................................................................................H6
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