Analyse der elektronischen Eigenschaften von Diamant mittels rastermikroskopischer Methoden:
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INHALTSVERZEICHNIS:
VERWENDETE
FORMELZEICHEN,
ABKUERZUNGEN
UND
KONSTANTEN
V
1.
EINLEITUNG
UND
PROBLEMSTELLUNG
1
CHARAKTERISIERUNGS-METHODEN
ZUR
BESTIMMUNG
VON
STRUKTUREN
UND
KOMPOSITION
SOWIE
DER
ELEKTRONISCHEN
BZW.
ELEKTRISCHEN
EIGENSCHAFTEN
2.
STRUKTUREN
UND
KOMPOSITION
2.1
RAMAN-SPEKTROSKOPIE
5
2.2
ELEKTRONENMIKROSKOPIE
6
2.3
BEUGUNGSMETHODEN
8
2.4
BESTIMMUNG
DER
THERMISCHEN
LEITFAEHIGKEIT
10
2.5
SONDENMIKROSKOPIE
12
3.
KATHODOLUMINESZENZ
3.1
EINLEITUNG
IN
DER
KATHODOLUMINESZENZ
15
3.2
WECHSELWIRKUNG
VON
ELEKTRONEN
UND
FESTKOERPER
17
3.3
ERZEUGUNG
DES
KATHODOLUMINESZENZSIGNALS
21
3.4
ABHAENGIGKEIT
DER
KATHODOLUMINESZENZ
VON
FESTKOERPEREIGENSCHAFTEN
3.4.1
OBERFLAECHENREKOMBINATION
24
3.4.2
POTENTIALVERLAEUFE
24
3.4.3
TEMPERATURABHAENGIGKEIT
25
3.4.4
ZEITVERHALTEN
25
3.4.5
DEFEKTE
26
3.5
REALISIERTER
KATHODOLUMINESZENZMESSAUFBAU
3.5.1
DETEKTION
UND
ANALYSE
DER
KATHODOLUMINESZENZ
29
3.5.2
ZEITAUFGELOESTE
KATHODOLUMINESZENZ
31
3.6
MESSERGEBNISSE
3.6.1
KATHODOLUMINESZENZ
IN
ABHAENGIGKEIT
DER
STRAHLPARAMETER
33
3.6.2
KATHODOLUMINESZENZ
IN
ABHAENGIGKEIT
DER
PROBENTEMPERATUR
39
3.6.3
ZEITAUFGELOESTE
KATHODOLUMINESZENZUNTERSUCHUNGEN
42
DISKUSSION
DER
IN
3.6.1
BIS
3.6.3
ERZIELTEN
ERGEBNISSE
47
3.6.4
ANALYSE
DER
DIAMANTABSCHEIDUNG
AUF
POROESEM
SILIZIUM
49
3.6.5
EINFLUSS
VON
SAUERSTOFF
IM
TRAEGERGAS
AUF
DIE ABSCHEIDUNG
VON
DIAMANT
55
3.6.6
DOTIERUNG
VON
DIAMANT
WAEHREND
DER
ABSCHEIDUNG
61
DISKUSSION
DER
IN
3.6.4
BIS
3.6.6
ERZIELTEN
ERGEBNISSE
69
3.6.7
HOECHSTORTSAUFGELOESTE
KATHODOLUMINESZENZUNTERSUCHUNGEN
72
INHALTSVERZEICHNIS
4.
SPITZENINDUZIERTES
EBIC
4.1
EINLEITUNG
IN
DIE
MESSTECHNIK
DES
ELEKTRONENSTRAHL-INDUZIERTEN
STROMS
(EBIC)
79
4.2
GRUNDLAGEN
4.2.1
BESTIMMUNG
DER
TOPOGRAPHIE
AUFGRUND
INTERMOLUKULARER
81
KRAFTWECHSELWIRKUNGEN
4.2.2
MIKROSKOPISCHE
KONTAKTSTROMMESSUNG
82
4.2.3
DER
ELEKTRISCHE
KONTAKT
83
4.3
AUFBAU
DES
RASTERKRAFTMIKROSKOP/RASTERELEKTRONENMIKROSKOP-HYBRIDSYSTEMS
86
4.4 MESSERGEBNISSE
4.4.1
RASTERELEKTONENMIKROSKOPISCHE
EBIC-UNTERSUCHUNGEN
90
4.4.2
RASTERELEKTRONENMIKROSKOPISCHES
SPITZEN-INDUZIERTES
EBIC
94
4.4.3
CHARAKTERISTIKA
DER
SPITZEN-INDUZIERTEN
BARRIEREN
99
4.4.4
NANOSKOPISCHE
EBIC-ANALYSEN
MITTELS
SPITZEN-INDUZIERTER
BARRIEREN
103
DISKUSSION
DER
IN
4.4.1
BIS
4.4.4
ERZIELTEN
ERGEBNISSE
106
S.
ZUSAMMENFASSUNG
109
6.
AUSBLICK
117
LITERATURVERZEICHNIS
119
ANHANG
VEROEFFENTLICHUNGEN
UND
VORTRAEGE
131
ZUSAMMENARBEIT
MIT
FIRMEN
UND
INSTITUTE
133
DANKSAGUNGEN
134
LEBENSLAUF
135 |
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