Simulation der Ionenimplantation in kristalline Siliziumstrukturen:
Gespeichert in:
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| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Wien
Österr. Kunst- und Kulturverl.
1997
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| Schriftenreihe: | Technische Universität <Wien>: Dissertationen der Technischen Universität Wien
77 |
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| Beschreibung: | Zugl.: Wien, Techn. Univ., Diss., 1996 |
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