Höhmann, P. (1997). Untersuchungen zur Trockenätzung von Silizium mit Cl 2 + HBr und Anwendungen bei der Endpunkterkennung.
Chicago Style (17th ed.) CitationHöhmann, Peter. Untersuchungen Zur Trockenätzung Von Silizium Mit Cl 2 + HBr Und Anwendungen Bei Der Endpunkterkennung. 1997.
MLA (9th ed.) CitationHöhmann, Peter. Untersuchungen Zur Trockenätzung Von Silizium Mit Cl 2 + HBr Und Anwendungen Bei Der Endpunkterkennung. 1997.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.