APA (7th ed.) Citation

Höhmann, P. (1997). Untersuchungen zur Trockenätzung von Silizium mit Cl 2 + HBr und Anwendungen bei der Endpunkterkennung.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Höhmann, Peter. Untersuchungen Zur Trockenätzung Von Silizium Mit Cl 2 + HBr Und Anwendungen Bei Der Endpunkterkennung. 1997.

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Höhmann, Peter. Untersuchungen Zur Trockenätzung Von Silizium Mit Cl 2 + HBr Und Anwendungen Bei Der Endpunkterkennung. 1997.

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