Höhmann, P. (1997). Untersuchungen zur Trockenätzung von Silizium mit Cl 2 + HBr und Anwendungen bei der Endpunkterkennung.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Höhmann, Peter. Untersuchungen Zur Trockenätzung Von Silizium Mit Cl 2 + HBr Und Anwendungen Bei Der Endpunkterkennung. 1997.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Höhmann, Peter. Untersuchungen Zur Trockenätzung Von Silizium Mit Cl 2 + HBr Und Anwendungen Bei Der Endpunkterkennung. 1997.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.