Pfleging, W. (1997). Mechanismen des laserunterstützten Trockenätzens mit Excimer-Laserstrahlung (Als Ms. gedr.). Shaker.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Pfleging, Wilhelm. Mechanismen Des Laserunterstützten Trockenätzens Mit Excimer-Laserstrahlung. Als Ms. gedr. Aachen: Shaker, 1997.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Pfleging, Wilhelm. Mechanismen Des Laserunterstützten Trockenätzens Mit Excimer-Laserstrahlung. Als Ms. gedr. Shaker, 1997.
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