APA (7th ed.) Citation

Pfleging, W. (1997). Mechanismen des laserunterstützten Trockenätzens mit Excimer-Laserstrahlung (Als Ms. gedr.). Shaker.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Pfleging, Wilhelm. Mechanismen Des Laserunterstützten Trockenätzens Mit Excimer-Laserstrahlung. Als Ms. gedr. Aachen: Shaker, 1997.

MLA (9th ed.) Citation

Pfleging, Wilhelm. Mechanismen Des Laserunterstützten Trockenätzens Mit Excimer-Laserstrahlung. Als Ms. gedr. Shaker, 1997.