Ruhnau, U. (1996). Epitaktisches Wachstum von Beta-SiC-Schichten auf Siliziumsubstraten durch chemische Gasphasenabscheidung.
Chicago Style (17th ed.) CitationRuhnau, Ulrich. Epitaktisches Wachstum Von Beta-SiC-Schichten Auf Siliziumsubstraten Durch Chemische Gasphasenabscheidung. 1996.
MLA (9th ed.) CitationRuhnau, Ulrich. Epitaktisches Wachstum Von Beta-SiC-Schichten Auf Siliziumsubstraten Durch Chemische Gasphasenabscheidung. 1996.
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