Ruhnau, U. (1996). Epitaktisches Wachstum von Beta-SiC-Schichten auf Siliziumsubstraten durch chemische Gasphasenabscheidung.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Ruhnau, Ulrich. Epitaktisches Wachstum Von Beta-SiC-Schichten Auf Siliziumsubstraten Durch Chemische Gasphasenabscheidung. 1996.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Ruhnau, Ulrich. Epitaktisches Wachstum Von Beta-SiC-Schichten Auf Siliziumsubstraten Durch Chemische Gasphasenabscheidung. 1996.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.