Evaluierung einer Si-SiGe-HBT-Technologie für den Einsatz in integrierten Schaltungen der optischen Breitbandkommunikation:
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1996
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INHALTSVERZEICHNIS
VERZEICHNIS
VERWENDETER
ABKUERZUNGEN
UND
SYMBOLE
IV
1
EINLEITUNG
UND
AUFGABENSTELLUNG
1
2
SI/SIGE-HETEROBIPOLARTRANSISTOREN
6
2.1
MOTIVATION
ZUR
VERWENDUNG
VON
HETEROBIPOLARTRANSISTOREN
6
2.2
HBTS
MIT
SIGE
BASIS
.
7
2.3
DER
VERWENDETE
SI/SIGE-HBT
PROZESS
.
11
2.4
MODELL
FUER
DIE
EVALUIERUNG
DER
SI/SIGE-HBTS
.
15
2.4.1
MODIFIZIERTES
SPICE-GUMMEL
POON-MODELL
.
15
2.4.2
PROBLEMATIK
DURCH
HOCHSTROMEFFEKTE
.
18
3
YYON-WAFER
"
BAUELEMENT-CHARAKTERISIERUNG
23
3.1
AUFBAU
DES
YYON-WAFER
"
MESSPLATZES
.
23
3.2
STREUPARAMETER-MESSUNGEN
AUF
DER
HALBLEITERSCHEIBE
.
25
3.2.1
VEKTORIELLE
NETZWERKANALYSATOREN
UND
SYSTEMFEH
LERKORREKTUR
.
26
3.2.2
YYON-WAFER
"
-KALIBRIERVERFAHREN
.
30
3.3
CHARAKTERISIERUNG
UND
MODELLPARAMETERBESTIMMUNG
.
45
3.3.1
PROBLEMATIK
DER
BESTIMMUNG
VON
FR
.
XI
INHALTSVERZEICHNIS
3.3.2
MAXIMALE
SCHWINGFREQUENZ
F
MAX
.
49
3.3.3
MESSUNG
VON
SEHR
KLEINEN
SPERRSCHICHTKAPAZITAETEN
52
3.3.4
EMITTERWIDERSTAND
R
E
.
57
3.3.5
BASISBAHNWIDERSTAND
RG
.
61
4
PARAMETER
UND
MODELLVERIFIKATION
71
4.1
GROSSSIGNALMESSUNGEN
IM
ZEITBEREICH
(TDNA)
.
72
4.1.1
MESSAUFBAU
FUER
YYON-WAFER
"
-GROSSSIGNALMESSUNGEN
.
72
4.1.2
VERGLEICH
VON
TDNA-MESSUNGEN
UND
SIMULATIONEN
73
4.2
KLEINSIGNAL-TRANSFORMATION
(KST)
.
76
4.2.1
BESCHREIBUNG
DES
ALGORITHMUS
.
76
4.2.2
ERWEITERUNG
DES
VERFAHRENS
.
79
4.2.3
VERGLEICH
VON
KST
UND
TDNA-VERFAHREN
ANHAND
VON
SIMULATIONEN
.
81
4.2.4
MESSTECHNISCHER
VERGLEICH
VON
KST
UND
TDNA
.
.
84
4.3
DISKUSSION
DER
MESSVERFAHREN
.
86
5
DEMONSTRATORSCHALTUNGEN
88
5.1
2:1
MULTIPLEXER
.
88
5.2
1:2
DEMULTIPLEXER
.
94
5.3
DISKUSSION
DER
MESSERGEBNISSE
.
99
6
ZUSAMMENFASSUNG
105
INHALTSVERZEICHNIS
ANHANG
107
A
PROGRAMMBESCHREIBUNGEN
.
107
A.L
DAS
MESSPROGAMM
CAMEN
.
107
A.2
DE-EMBEDDING
UND
VIERPOLPARAMETERUMRECHNUNGEN
108
A.3
AUSWERTUNG
MIT
POSTCAMEN
.
108
A.4
CU-CHARAKTERISIERUNG
MIT
CV
.
109
A.5
RBB
ZUR
BESTIMMUNG
VON
R
E
UND
RT
.
109
B
MATRIZENUMRECHNUNGEN
.
110
C
SI/SIGE-HBT
ENTWURFSBIBLIOTHEK
.
111
C.L
TRANSISTOREN
UND
DIODEN
.
111
C.2
WIDERSTAENDE
.
112
C.3
KAPAZITAETEN
.
113
C.4
METALLISIERUNG
.
113
LITERATURVERZEICHNIS
114 |
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