Aufbau einer Anlage zur Einkristallzüchtung mit rechnergesteuerter Durchmesserkontrolle:
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INHALTSVERZEICHNIS:
1.
EINLEITUNG
4
2.
PHASENDIAGRAMME
-
GRUNDLAGE
DER
EINKRI
5
STALLZUECHTUNG
3.
KEIMBILDUNG
UND
KRISTALLWACHSTUM
8
4.
EINKRISTALLZUECHTUNG
NACH
CZOCHRALSKI
15
5.
GRUNDLAGEN
DER
INDUKTIVEN
ERWAERMUNG
16
5.1.
DER
SKINEFFEKT
18
6.
GRUNDLAGEN
DER
STEUERUNGS
UND
REGE
20
LUNGSTECHNIK
6.1.
AUFGABEN
DER
REGELUNGSTECHNIK
20
6.2.
UNTERSCHIED
ZWISCHEN
REGELUNG
UND
STEUER
21
UNG
6.3.
SIGNALE
IN
DER
REGELUNGSTECHNIK
24
6.4.
BENENNUNG
VON
REGELUNGEN
25
6.4.1.
HILFSENERGIE
25
6.4.1.1.
REGELUNG
OHNE
HILFSENERGIE
25
6.4.1.2.
REGELUNG
MIT
HILFSENERGIE
26
6.4.2.
VERAENDERLICHKEIT
DER
FUEHRUNGSGROESSE
26
6.4.2.1.
FESTWERTREGELUNG
26
6.4.2.2.
FUEHRUNGSREGELUNG
26
6.4.2.3.
ZEITPLANREGELUNG
26
6.4.3.
ANALOGE
REGELUNGEN
26
6.4.3.1.
P-REGELUNG
27
6.4.3.2.
I
-
REGELUNG
29
6.4.3.3.
PI
-
REGELUNG
30
6.4.3.4.
PID
-
REGELUNG
31
6.4.3.5.
DIMENSIONIERUNG
DER
REGELKONSTANTEN
33
6.4.4.
DISKRETE
REGELUNGEN
42
6.4.4.1.
ZWEIPUNKTREGELUNGEN
42
6.4.4.2.
DREIPUNKTREGELUNGEN
42
6.4.4.3.
DIGITALE
REGELUNGEN
43
6.4.5.
STETIGKEIT
VON
REGELUNGEN
43
6.4.5.1.
STETIGE
REGELUNGEN
43
6.4.5.2.
UNSTETIGE
REGELUNGEN
43
6.4.6.
KONTINUITAET
VON
REGELUNGEN
44
6.4.6.1.
KONTINUIERLICHE
REGELUNGEN
44
6.4.6.2.
DISKONTINUIERLICHE
REGELUNGEN
44
7.
BESCHREIBUNG
DER
ENTWICKELTEN
KRISTALLZIEH
45
ANLAGE
8.
REGELROUTINEN
UND
SOFTWARE
49
8.1.
DIE
KONFIGURATIONSDATEI
50
8.2.
DIE
LEISTUNGSREGELUNG
54
8.3.
STEUERUNG
DES
VERTIKALABZUGS
63
8.4.
STEUERUNG
DER
ROTATION
DES
ZIEHGESTAENGES
68
8.5.
SERIELLES
EINLESEN
DES
WAAGENSIGNALS
71
8.6.
RECHNERGEREGELTE
ZUECHTUNG
EINER
KRISTALL
73
SCHULTER
8.7.
RECHNERGEREGELTE
ZUECHTUNG
DES
KRISTALLZYLIN
79
DERS
8.8.
EINFLUSS
DER
SCHMELZOBERFLAECHENABSENKUNG
AUF
79
DIE
KRISTALLGESTALT
9.
ERGEBNISSE
85
9.1.
LEISTUNGSREGELUNG
85
9.2.
DURCHMESSERKONTROLLE
87
10.
ZUSAMMENFASSUNG
97 |
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