Deposition und Charakterisierung von metallhaltigen, amorphen Kohlenwasserstoffilmen zur Anwendung in Sonnenkollektoren:
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Düsseldorf
VDI-Verl.
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| Schriftenreihe: | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 5]
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Autor: Gampp, Ronald
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FORTSCHRITTBERICHTE VW Ronald Gampp, Waldshut Deposition und Charakterisierung von metallhaltigen, amorphen Kohlenwasserstoffilmen zur Anwendung In Sonnenkollektoren Reihe 5 : Grund- und Werkstoffe Nr. 446 VW VERLAG
v Inhaltsverzeichnis 1 Einleitung 1 2 Optische Grundlagen 3 2.1 Die Wechselwirkung von Materie mit Licht 3 2.2 Das Reflexionsvermögen dünner Schichten 5 2.3 Solarer Absorptionsgrad as und thermischer Emissionsgrad ET 7 2.4 Ramaneffekt 10 2.5 Photoeffekt 11 3 Experimentelles 13 3.1 Siliziumsubstrate 13 3.2 Kupfersubstrate 13 3.3 Photoelektronenspektrometer ESCA 1 14 3.4 Raman Spektrometer 16 3.5 Cary Spektrometer 17 3.6 Bestimmung der optischen Konstanten und der Schichtdicke 18 3.7 Deposition 21 3.8 Schichtzusammensetzung und Depositionsrate 25 4 a-C:H/Au 32 4.1 RTEM Aufnahmen 32 4.2 Valenzbandspektren 35 4.3 Rumpfniveauspektren 40 4.4 Optische Eigenschaften 44 4.5 Zusammenfassung 50 5 a-C:H/W 51 5.1 RTEM Aufnahmen 51 5.2 Valenzbandspektren 54 5.3 Rumpfniveauspektren 56 5.4 Optische Eigenschaften 59 5.5 Zusammenfassung 64 6 a-C:H/Cr 65 6.1 Valenzbandspektren 65 6.2 Rumpfniveauspektren 69 6.3 Raman Spektroskopie 75 6.4 Optische Eigenschaften 80 6.5 Zusammenfassung 84
VI Inhaltsverzeichnis 7 a-C:H/Ti 86 7.1 Valenzbandspektren 86 7.2 Rumpfniveauspektren 88 7.3 Zusammenfassung 91 8 Alterungsuntersuchungen 92 8.1 Anodisch abgeschiedene a-C:H/W Beschichtungen 93 8.2 Einfluss der negativen Substratbiasspannung 96 8.3 Adhäsionsvermittelnde Zwischenschichten 98 8.4 Temperverhalten verschiedener a-C:H/Cr Filme auf Si 103 8.5 Diskussion der thermischen Beständigkeit von a-C:H/Cr 111 8.6 Unterdrückung der Diffusion von Kupfer aus dem Blech 113 8.7 Gebrauchsdauerabschätzung von a-C:H/Cr Absorbern 116 8.8 Zusammenfassung 122 9 Zusammenfassung 123 10 Anhang 125 10.1 Optische Weglängendifferenz zwischen interferierenden Strahlen 125 Literaturverzeichnis 127
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