Optische Messtechnik an technischen Oberflächen: praxisorientierte lasergestützte Verfahren zur Untersuchung technischer Objekte hinsichtlich Form, Oberflächenstruktur und Beschichtung ; mit 4 Tabellen und 418 Literaturstellen
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| Format: | Book |
|---|---|
| Language: | German |
| Published: |
Renningen-Malmsheim
Expert-Verl.
1998
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| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
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| ISBN: | 3816913725 |
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OPTISCHE MESSTECHNIK
AN TECHNISCHEN OBERFLAECHEN
PRAXISORIENTIERTE LASERGESTUETZTE VERFAHREN
ZUR UNTERSUCHUNG TECHNISCHER OBJEKTE
HINSICHTLICH FORM, OBERFLAECHENSTRUKTUR UND BESCHICHTUNG
PROF. DR.-ING. ALEXANDER W. KOCH
DIPL.-PHYS. MICHAEL RUPRECHT
DIPL.-ING. OLAF TOEDTER
PROF. DR. GERD HAEUSLER
DIPL.-ING. STEFAN BLOSSEY
DIPL.-PHYS. HARALD SCHOENFELD
DIPL.-PHYS. VEIT WINDBICHLER
MIT 167 BILDERN, 4 TABELLEN UND 418 LITERATURSTELLEN
EXPERTUP VERLAG
INHALTSVERZEICHNIS
1 EINFUEHRUNG 1
1.1 MOTIVATION 1
1.2 EIGENSCHAFTEN OPTISCHER MESSVERFAHREN 2
1.3 DEFINITION EINER TECHNISCHEN OBERFLAECHE 4
1.4 DEFINITION DER MESSAUFGABE 5
1.5 PRINZIPAUFBAU EINES OPTISCHEN MESSSYSTEMS 7
1.6 RELEVANZ FUER PRAXIS UND LEHRE 7
2 GRUNDLAGEN DER LASERMESSTECHNIK 9
2.1 ALLGEMEINE BEGRIFFE 9
2.1.1 STRAHLEN- UND WELLENOPTIK 9
2.1.2 STRAHLUNGSPHYSIKALISCHE UND LICHTTECHNISCHE GROESSEN 10
2.1.3 BRECHUNG UND BEUGUNG VON LICHT 12
2.1.4 DIFFUSE REFLEXION 14
2.1.5 DIE OPTISCHE ABBILDUNG 14
2.1.6 INTERFERENZ 16
2.2 LASER 19
2.2.1 PRINZIP 20
2.2.2 INVERSION 20
2.2.3 MODEN 21
2.2.4 BEISPIELE VON LASERANORDNUNGEN 24
2.3 OPTISCHE DETEKTOREN 25
2.3.1 LICHTEMPFINDLICHER WIDERSTAND 25
2.3.2 PHOTOELEMENT UND PHOTODIODE 27
2.3.3 PHOTOVERVIELFACHER 28
2.3.4 POSITIONSEMPFINDLICHE OPTISCHE DETEKTOREN 30
2.3.5 DETEKTOR-ARRAYS 31
2.3.6 BILDVERSTAERKER 32
3 ABSTANDSMESSUNG, GESCHWINDIGKEITSMESSUNG UND OBJEKTKLASSIFIZIERUNG 35
3.1 LICHTSCHRANKEN 35
3.1.1 AUSFUEHRUNGSFORMEN 35
3.1.2 FLAECHENABDECKENDE LICHTSCHRANKEN 42
3.1.3 BESONDERE ANWENDUNGEN 43
3.1.4 LICHTSCHRANKEN ZUR GESCHWINDIGKEITSMESSUNG 44
3.2 TRIANGULATION 48
3.2.1 GRUNDPRINZIP 48
3.2.2 GRENZEN DES SYSTEMS 50
3.2.3 LANGREICHWEITIGE TRIANGULATION 53
3.2.4 ANWENDUNGEN VON TRIANGULATIONSSENSOREN 56
3.2.5 FLAECHENHAFTE TRIANGULATION 56
3.3 LAUFZEITVERFAHREN 57
3.3.1 GRUNDPRINZIP 57
3.3.2 GRENZEN DES SYSTEMS 61
3.3.3 ANWENDUNGEN 62
3.3.4 FLAECHENDECKENDE VERFAHREN 62
3.4 LASER-DOPPLER-VELOCIMETRIE 65
3.4.1 PRINZIP DES VERFAHRENS 65
3.4.2 EMPFAENGER 68
3.4.3 BEGRENZUNGEN DES VERFAHRENS 69
3.4.4 AUSWERTEMOEGLICHKEITEN UND ANWENDUNGEN 70
4 MESSUNG DER OBERFLAECHENFORM 73
4.1 EINFUEHRUNG 73
4.2 UEBERSICHT UEBER NICHT-INTERFEROMETRISCHE VERFAHREN 74
4.2.1 EINFUEHRUNG 74
4.2.2 ABTASTENDE VERFAHREN 75
4.2.3 PROJEKTION STRUKTURIERTEN LICHTS 78
4.3 2D-INTERFERENZVERFAHREN 79
4.3.1 INTERFERENZ AN RAUHEN OBERFLAECHEN MIT BREITBANDIGER BELEUCHTUNG .
79
4.3.2 INTERFERENZ AN RAUHEN OBERFLAECHEN MIT MONOCHROMATISCHER BELEUCH
TUNG 79
4.3.3 PRAXISRELEVANTE GRUNDLAGEN DER SPECKLE-INTERFEROMETRIE 82
4.4 ANWENDUNGEN DER SPECKLE-INTERFEROMETRIE 100
4.4.1 OBERFLAECHENPROFILVERMESSUNG MITTELS ZWEIWELLENLAENGENTECHNIK . . .
. 100
4.4.2 DEFORMATIONSMESSUNG VERTIKAL ZUR OBERFLAECHE 102
4.4.3 DEFORMATIONSMESSUNG IN DER OBERFLAECHE 105
4.4.4 SCHWINGUNGSMESSUNG 108
5 MOEGLICHKEITEN UND GRENZEN VON OPTISCHEN SENSOREN FUER DIE FORMERFAS
SUNG 113
5.1 EINFUEHRUNG 113
5.2 ZUR AUSWAHL VON SENSOREN 114
5.3 AKTIVE LASERTRIANGULATION ZUR FLAECHENHAFTEN VERMESSUNG 115
5.3.1 THEORETISCHE GRENZEN DER MESSUNSICHERHEIT 116
5.3.2 MESSUNSICHERHEIT AN TECHNISCHEN OBERFLAECHEN 117
5.3.3 MOEGLICHKEITEN ZUR VERRINGERUNG DER MESSUNSICHERHEIT 118
5.3.4 BEISPIELMESSUNGEN 119
5.3.5 KALIBRIERUNG 121
5.3.6 ZUSAMMENFASSUNG FUER DEN ANWENDER 122
5.4 PHASENMESSENDE TRIANGULATION 122
5.4.1 PRINZIP DER PHASENMESSENDEN TRIANGULATION 123
5.4.2 THEORETISCHE GRENZEN DER MESSUNSICHERHEIT 125
5.4.3 MODIFIKATIONEN DER STREIFENPROJEKTION 125
5.4.4 PROBLEME BEIM PRAKTISCHEN EINSATZ 126
5.4.5 BEISPIELMESSUNGEN 127
5.4.6 ZUSAMMENFASSUNG FUER DEN ANWENDER 127
5.5 KOHAERENZRADAR 128
5.5.1 MESSPRINZIP 128
5.5.2 THEORETISCHE GRENZEN, VERGLEICH ZU KONVENTIONELLEN SENSOREN .
131
5.5.3 MESSERGEBNISSE AUS DER INDUSTRIELLEN PRAXIS 132
5.5.4 ZUSAMMENFASSUNG FUER DEN ANWENDER 136
5.6 VERGLEICH DER MESSVERFAHREN, RESUME 136
6 MESSUNG DER OBERFLAECHENRAUHEIT 139
6.1 EINLEITUNG 139
6.2 UEBERSICHT UEBER OPTISCHE VERFAHREN ZUR RAUHEITSMESSUNG 142
6.2.1 ABTASTENDE VERFAHREN 143
6.2.2 STREULICHT-MESSUNG 143
6.3 SPECKLE-VERFAHREN 145
6.3.1 ZUSAMMENHANG RAUHEIT UND SPECKLESTATISTIK 145
6.3.2 SPECKLE-KONTRAST 145
6.3.3 SPECKLE ELONGATION 147
6.3.4 SPECKLE KORRELATION 148
6.4 ANISOTROPE OBERFLAECHENRAUHEITEN 153
6.5 BEWERTUNG MECHANISCHER UND OPTISCHER VERFAHREN ZUR RAUHEITSMESSUNG .
. 155
6.5.1 MECHANISCHE RAUHEITSMESSUNG 155
6.5.2 OPTISCHE RAUHEITSMESSUNG 156
7 MESSUNG VON OBERFLAECHENSCHICHTEN - DUENNSCHICHTINTERFEROMETRIE 157
7.1 GRUNDLAGEN 157
7.1.1 INTERFERENZEFFEKT AN DUENNEN SCHICHTEN 157
7.1.2 EINFLUSS DER POLARISATION 160
7.1.3 BEZUG ZUR ELLIPSOMETRIE 162
7.1.4 VORTEILE DER DUENNSCHICHTINTERFEROMETRIE 163
7.2 DUENNSCHICHTINTERFEROMETRISCHE MESSANORDNUNGEN 165
7.2.1 EINSTRAHLINTERFEROMETRIE 165
7.2.2 ZWEISTRAHLINTERFEROMETRIE 165
7.2.3 KONVERGENTE EINSTRAHLINTERFEROMETRIE 167
7.3 ANWENDUNGSBEISPIELE 170
7.3.1 DUENNSCHICHTTECHNOLOGIE 170
7.3.2 AUFBAU AN EINEM PLASMABESCHICHTUNGSREAKTOR 170
7.3.3 MESSUNG DER THERMISCHEN AUSDEHNUNG 175
LITERATUR 181
INDEX
206 |
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| spelling | Optische Messtechnik an technischen Oberflächen praxisorientierte lasergestützte Verfahren zur Untersuchung technischer Objekte hinsichtlich Form, Oberflächenstruktur und Beschichtung ; mit 4 Tabellen und 418 Literaturstellen Alexander W. Koch ... Renningen-Malmsheim Expert-Verl. 1998 210 S. Ill. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Lasermesstechnik (DE-588)4166812-1 gnd rswk-swf Oberflächenprüfung (DE-588)4172254-1 gnd rswk-swf Technische Oberfläche (DE-588)4226382-7 gnd rswk-swf Optische Messtechnik (DE-588)4172667-4 gnd rswk-swf Oberflächenanalyse (DE-588)4172243-7 gnd rswk-swf Oberflächenanalyse (DE-588)4172243-7 s Lasermesstechnik (DE-588)4166812-1 s DE-604 Optische Messtechnik (DE-588)4172667-4 s Oberflächenprüfung (DE-588)4172254-1 s Technische Oberfläche (DE-588)4226382-7 s Koch, Alexander W. 1958- Sonstige (DE-588)121087204 oth DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007337786&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
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