Aufbau hybrider mikro-optischer Funktionsmodule für die optische Nachrichtentechnik mit dem LIGA-Verfahren - Müller, André; Göttert, Jost; Mohr, Jürgen (Forschungszentrum Karlsruhe, 1996)
Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. A. Müller, 1996