Resonatorinterne Transmissionsellipsometrie zur Vermessung optischer Komponenten:
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | German |
| Published: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
1996
|
| Edition: | Als Ms. gedr. |
| Series: | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 8]
544 |
| Subjects: | |
| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
| Item Description: | Zugl.: Kassel, Univ. Gesamthochsch., Diss. |
| Physical Description: | VII, 176 S.: graph. Darst. |
| ISBN: | 3183544083 |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV010849644 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19960923 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 960715s1996 mm|| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 947825134 |2 DE-101 | |
| 020 | |a 3183544083 |9 3-18-354408-3 | ||
| 035 | |a (OCoLC)75746826 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV010849644 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-91 |a DE-210 |a DE-83 | ||
| 084 | |a UH 6700 |0 (DE-625)145770: |2 rvk | ||
| 084 | |a MSR 415d |2 stub | ||
| 084 | |a ELT 699d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Neuschaefer-Rube, Stephan |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Resonatorinterne Transmissionsellipsometrie zur Vermessung optischer Komponenten |c Stephan Neuschaefer-Rube |
| 250 | |a Als Ms. gedr. | ||
| 264 | 1 | |a Düsseldorf |b VDI-Verl. |c 1996 | |
| 300 | |a VII, 176 S.: graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 8] |v 544 | |
| 500 | |a Zugl.: Kassel, Univ. Gesamthochsch., Diss. | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Elektrooptischer Modulator |0 (DE-588)4151943-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Laserresonator |0 (DE-588)4304178-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Ellipsometrie |0 (DE-588)4152025-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Ellipsometrie |0 (DE-588)4152025-7 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Laserresonator |0 (DE-588)4304178-4 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Elektrooptischer Modulator |0 (DE-588)4151943-7 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 810 | 2 | |a 8] |t Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI |v 544 |w (DE-604)BV000882482 |9 544 | |
| 856 | 4 | 2 | |m HBZ Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007251992&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007251992 | ||
Record in the Search Index
| _version_ | 1804125335759880192 |
|---|---|
| adam_text | Titel: Resonatorinterne Transmissionsellipsometrie zur Vermessung optischer Komponenten
Autor: Neuschaefer-Rube, Stephan
Jahr: 1996
FORTSCHRITTBERICHTE VM Dipl.-Ing. Stephan Neuschaefer-Rube, Kassel Resonatorinterne Transmissionsellipsometrie zur Vermessung optischer Komponenten Reihe 8 : Meß-, Steuerungsund Regelungstechnik Nr. 544 VM VERLAG
Inhalt 1 Zusammenfassung............................................................................................................1 2 Einleitung..................................................................................... 3 2.1 Stand der ellipsometrischen Meßtechnik und resonatorintemer Meßverfahren............................................................................................................3 2.2 Abgrenzung und Begründung der Aufgabenstellung........................................7 3 Theorie des Laserresonators mit resonatorintemen optisch anisotropen Komponenten.....................................................................................................................9 3.1 Beschreibung ellipsometrischer Kenngrößen mit Hilfe des Jones- Matrix-Formalismus.................................................................................................9 3.1.1 Definition der ellipsometrischen Kenngrößen...........................................9 3.1.2 Resultierende ellipsometrische Kenngrößen bei der Zusammenschaltung mehrerer optischer Komponenten.......................12 3.2 Eigenfrequenzen und Eigenpolarisationen eines Laserresonators mit resonatorinternen optisch anisotropen Komponenten.....................................14 4 Aufbau und Funktionsweise des resonatorintemen Ellipsometers........................18 4.1 Prüfung der Eignung der Nd:YAG-Festkörperlasertechnologie für das resonatorinterne Ellipsometer..............................................................................18 4.1.1 Bilanzgleichungen einer 4-Niveau-Verstärkungsstrecke.......................18 4.1.2 Stationärer Zwei-Moden-Oszillatorbetrieb eines 4-Niveau-Lasers.......20 4.1.3 Vergleich unterschiedlicher Lasertechnologien.......................................24 4.2 Aufbau des Ellipsometers.....................................................................................26 4.3 Der
Meßalgorithmus des Ellipsometers..............................................................28 4.3.1 Algorithmus zur Frequenzstabilisierung des Meßresonafors...............28 4.3.2 Messung der Faraday-Rotation pp.............................................................29 4.3.3 Bestimmung der Phasendifferenz A und der Hauptachsenlage (p.........34 4.3.4 Bestimmung der reziproken Rotation pr ..................................................36 4.3.5 Messung des polarisationsabhängigen Verlustwinkels P ......................38 4.3.6 Signalfluß im resonatorintemen Ellipsometer.........................................40 5 Beschreibung wichtiger Ellipsometerkomponenten..................................................41 5.1 Der Faraday-Modulator..................................................... 41 5.2 Der vektorielle Phasenmodulator........................................................................45 5.2.1 Vektorieller elektrooptischer Modulator mit LiNb03-KristalL..............46 5.2.2 Vektorieller photoelastischer Phasenmodulator......................................58 5.2.3 Auswahl des am besten geeigneten Phasenmodulators.........................66 -V-
6 Fehlerrechnung und Fehlerminimierung....................................................................67 6.1 Unterschied zwischen Hintereinander- und Ineinanderschaltung zweier Verzögerer..................................................................................................67 6.2 Differenzfrequenzänderung durch das Anschwingen mehrerer longitudinaler Lasermoden im Meßresonator...................................................71 6.3 Die thermisch bedingte Phasenanisotropie im Laserkristall............................72 6.4 Fehlereinfluß durch zufällige Meßfehler bei der Differenzfrequenzmessung...................................................................................77 6.4.1 Reproduzierbarkeit bei der Bestimmung der Phasendifferenz A ..........77 6.4.2 Reproduzierbarkeit bei der Bestimmung der Hauptachsenlage (p........81 6.4.3 Arbeitspunktverschiebung des Phasenmodulators bei kleinen Phasendifferenzen A des Meßobjektes......................................................84 6.5 Fehlereinfluß durch polarisationsabhängige Dämpfung.................................88 6.5.1 Modifiziertes Modell des Laserresonators................................................88 6.5.2 Einfluß der polarisationsabhängigen Dämpfung auf den Algorithmus zur Bestimmung der Faraday-Rotation pp........................89 6.5.3 Einfluß der polarisationsabhängigen Dämpfung auf die Bestimmung der Phasendifferenz A und der reziproken Rotation pr ..............90 6.5.4 Meßfehler und Fehlerkompensation bei der Bestimmung der Hauptachsenlage p.......................................................................................92 7 Experimentelle Untersuchungen zum resonatorintemen Ellipsometer...............100 7.1 Experimentelle Überprüfung der Theorie der Eigenfrequenzen und Eigenpolarisationen................ 100 7.2 Experimentelle Untersuchungen zur Bestimmung der Faraday- Rotation
pp.............................................................................................................104 7.3 Experimentelle Untersuchungen zur Bestimmung der Phasendifferenz A und der Hauptachsenlage 9.............................................................................108 7.3.1 Verhalten des elektrooptischen Modulators im Meßresonator...........109 7.3.2 Messungen von A und p mit dem elektrooptischen Modulator und zyklischer Modulatoransteuerung...................................................HO 7.4 Experimentelle Untersuchungen zur Bestimmung der reziproken Rotation pr .............................................................................................................115 7.5 Experimentelle Untersuchungen zur Bestimmung des polarisationsabhängigen Verlustwinkels Y .............................................................................120 7.6 Diskussion der experimentellen Ergebnisse.....................................................125 -VI-
8 Schlußfolgerungen und Ausblick...............................................................................127 8.1 Weitere Erprobung des resonatorintemen Ellipsometers..............................127 8.2 Erweiterung des Meßumfangs auf optische Systeme.....................................128 9 Anhang............................................................................................................................130 9.1 Anhang 1: Berechnung der Kenngrößen des resultierenden Rotators und Verzögerers einer Reihenschaltung von Verzögerern (Gl. (3.7))...........130 9.2 Anhang 2: Rechnungen zur Ineinanderschaltung von zwei Phasendifferenzen innerhalb einer Komponente (Gl. (3.8), Gl. (3.9))...........133 9.3 Anhang 3: Eigenwertrechnung des optisch anisotropen Laserresonators (Gl. (3.12), Gl. (3.14))................................................................135 9.4 Anhang 4: Herleitung der Intensitätsgleichungen zur ZMOLV- Frequenzstabilisierung (Gl. (4.17), Gl. (4.18)) und zum Algorithmus zur Bestimmung der reziproken Rotation pr (Gl. (4.30), Gl. (4.35)).....................137 9.5 Anhang 5: Herleitung der Gleichung zur Bestimmung der Mischsignalamplitude hinter einem zirkularen Polarisator (Gl. (4.20))............................139 9.6 Anhang 6: Herleitung der Phasendifferenz App und der Hauptachsenlage ppE im photoelastischen Modulator (Gl. (5.16), Bild 5.14)......................142 9.7 Anhang 7: Herleitungen zur thermisch bedingten Phasenanisotropie im Laserkristall......................................................................................................149 9.8 Anhang 8: Herleitung der Störempfindlichkeiten Sa und Sq bei der Bestimmung von A und p (Gl. (6.21), Gl. (6.24))...............................................151 10 Verwendete Formelzeichen.........................................................................................155 11
Literaturverzeichnis......................................................................................................165 11.1 Vorveröffentlichungen.........................................................................................165 11.2 Literatur zu Kapitel 2...........................................................................................165 10.3 Literatur zu Kapitel 3...........................................................................................170 11.4 Literatur zu Kapitel 4...........................................................................................170 11.5 Literatur zu Kapitel 5...........................................................................................172 11.6 Literatur zu Kapitel 6...........................................................................................174 11.7 Literatur zu Kapitel 7...........................................................................................174 11.8 Literatur zu Kapitel 8...........................................................................................175 11.9 Literatur zu Kapitel 9...........................................................................................175 -vn-
|
| any_adam_object | 1 |
| author | Neuschaefer-Rube, Stephan |
| author_facet | Neuschaefer-Rube, Stephan |
| author_role | aut |
| author_sort | Neuschaefer-Rube, Stephan |
| author_variant | s n r snr |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV010849644 |
| classification_rvk | UH 6700 |
| classification_tum | MSR 415d ELT 699d |
| ctrlnum | (OCoLC)75746826 (DE-599)BVBBV010849644 |
| discipline | Physik Elektrotechnik Mess-/Steuerungs-/Regelungs-/Automatisierungstechnik |
| edition | Als Ms. gedr. |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01911nam a2200457 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV010849644</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19960923 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">960715s1996 mm|| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">947825134</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3183544083</subfield><subfield code="9">3-18-354408-3</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)75746826</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV010849644</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-210</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">UH 6700</subfield><subfield code="0">(DE-625)145770:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">MSR 415d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 699d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Neuschaefer-Rube, Stephan</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Resonatorinterne Transmissionsellipsometrie zur Vermessung optischer Komponenten</subfield><subfield code="c">Stephan Neuschaefer-Rube</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Als Ms. gedr.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Düsseldorf</subfield><subfield code="b">VDI-Verl.</subfield><subfield code="c">1996</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">VII, 176 S.: graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 8]</subfield><subfield code="v">544</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Kassel, Univ. Gesamthochsch., Diss.</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Elektrooptischer Modulator</subfield><subfield code="0">(DE-588)4151943-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Laserresonator</subfield><subfield code="0">(DE-588)4304178-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Ellipsometrie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4152025-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Ellipsometrie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4152025-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Laserresonator</subfield><subfield code="0">(DE-588)4304178-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Elektrooptischer Modulator</subfield><subfield code="0">(DE-588)4151943-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="810" ind1="2" ind2=" "><subfield code="a">8]</subfield><subfield code="t">Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI</subfield><subfield code="v">544</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV000882482</subfield><subfield code="9">544</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">HBZ Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007251992&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007251992</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV010849644 |
| illustrated | Not Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T17:59:56Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3183544083 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007251992 |
| oclc_num | 75746826 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-210 DE-83 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-210 DE-83 |
| physical | VII, 176 S.: graph. Darst. |
| publishDate | 1996 |
| publishDateSearch | 1996 |
| publishDateSort | 1996 |
| publisher | VDI-Verl. |
| record_format | marc |
| series2 | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 8] |
| spelling | Neuschaefer-Rube, Stephan Verfasser aut Resonatorinterne Transmissionsellipsometrie zur Vermessung optischer Komponenten Stephan Neuschaefer-Rube Als Ms. gedr. Düsseldorf VDI-Verl. 1996 VII, 176 S.: graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 8] 544 Zugl.: Kassel, Univ. Gesamthochsch., Diss. Elektrooptischer Modulator (DE-588)4151943-7 gnd rswk-swf Laserresonator (DE-588)4304178-4 gnd rswk-swf Ellipsometrie (DE-588)4152025-7 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Ellipsometrie (DE-588)4152025-7 s Laserresonator (DE-588)4304178-4 s Elektrooptischer Modulator (DE-588)4151943-7 s DE-604 8] Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI 544 (DE-604)BV000882482 544 HBZ Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007251992&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Neuschaefer-Rube, Stephan Resonatorinterne Transmissionsellipsometrie zur Vermessung optischer Komponenten Elektrooptischer Modulator (DE-588)4151943-7 gnd Laserresonator (DE-588)4304178-4 gnd Ellipsometrie (DE-588)4152025-7 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4151943-7 (DE-588)4304178-4 (DE-588)4152025-7 (DE-588)4113937-9 |
| title | Resonatorinterne Transmissionsellipsometrie zur Vermessung optischer Komponenten |
| title_auth | Resonatorinterne Transmissionsellipsometrie zur Vermessung optischer Komponenten |
| title_exact_search | Resonatorinterne Transmissionsellipsometrie zur Vermessung optischer Komponenten |
| title_full | Resonatorinterne Transmissionsellipsometrie zur Vermessung optischer Komponenten Stephan Neuschaefer-Rube |
| title_fullStr | Resonatorinterne Transmissionsellipsometrie zur Vermessung optischer Komponenten Stephan Neuschaefer-Rube |
| title_full_unstemmed | Resonatorinterne Transmissionsellipsometrie zur Vermessung optischer Komponenten Stephan Neuschaefer-Rube |
| title_short | Resonatorinterne Transmissionsellipsometrie zur Vermessung optischer Komponenten |
| title_sort | resonatorinterne transmissionsellipsometrie zur vermessung optischer komponenten |
| topic | Elektrooptischer Modulator (DE-588)4151943-7 gnd Laserresonator (DE-588)4304178-4 gnd Ellipsometrie (DE-588)4152025-7 gnd |
| topic_facet | Elektrooptischer Modulator Laserresonator Ellipsometrie Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007251992&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| volume_link | (DE-604)BV000882482 |
| work_keys_str_mv | AT neuschaeferrubestephan resonatorinternetransmissionsellipsometriezurvermessungoptischerkomponenten |