Neue thermo- und säurelabile Polycarbonate und ihre Eignung für bilderzeugende Systeme:
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1996
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INHALTSVERZEICHNIS
1
ALLGEMEINER
TEIL
1
1.1
EINLEITUNG
1
1.2
PHOTOLACKE
IN
DER
REPRODUKTIONSTECHNIK
2
1.3
ANFORDERUNGEN
AN
EINEN
PHOTORESIST
3
1.4
POSITIV
UND
NEGATIV
ARBEITENDE
PHOTORESISTS
5
1.5
NEUERE
ENTWICKLUNGEN
AUF
DEM
GEBIET
DER
PHOTORESISTS
6
1.5.1
PHOTOKATALYTISCHE
SYSTEME
7
1.5.2
HOCHEMPFINDLICHE
RESISTSYSTEME
DURCH
CHEMISCHE
VERSTAERKUNGSPROZESSE
8
1.5.2.1
PHOTOREAKTION
DER
TRIARYLSULFONIUMSALZE
9
1.5.2.2
POLY(O-PHTHALALDEHYD)
ALS
PHOTORESIST
11
1.5.3
TROCKEN
ENTWICKELBARE
RESISTS
13
2
AUFGABENSTELLUNG
UND
ZIELSETZUNG
18
3
GRUNDLAGEN
DER
POLYKONDENSATION
20
4
TERTIAERE
UND
CYCLOALLYLISCHE
COPOLYCARBONATE
24
4.1
STRUKTUR,
EIGENSCHAFTEN
UND
SYNTHESEMOEGLICHKEITEN
VON
POLYCARBONATEN
24
4.2
DIFUNKTIONELLE
TERTIAERE
UND
CYCLOALLYLISCHE
IMIDAZOLCARBOXYLATE
UND
4-NITROPHENYLDICARBONATE
ALS
REAKTIVE
DICARBONATVORSTUFEN
27
4.2.1
SYNTHESE
27
4.2.2
CHARAKTERISIERUNG
33
4.2.2.1
KEMRESONANZSPEKTROSKOPIE
34
4.2.2.2
IR-SPEKTROSKOPIE
37
4.3
SYNTHESE
TERTIAERER
UND
CYCLOALLYLISCHER
POLYCARBONATE
39
4.4
CHARAKTERISIERUNG
DER
POLYCARBONATE
46
4.4.1
MOLMASSENBESTIMMUNG
46
4.4.2
SPEKTROSKOPISCHE
CHARAKTERISIERUNG
50
4.4.3
DIFFERENTIAL
SCANNING
CALORIMETRIE
53
4.5
UNTERSUCHUNGEN
ZUM
POLYMERABBAU
56
4.5.1
THERMISCHE
STABILITAET
TERTIAERER
POLYCARBONATE
57
4.5.2
THERMISCHE
STABILITAET
CYCLOALLYLISCHER
POLYCARBONATE
59
4.6
FRAGMENTIERUNGSMECHANISMEN
61
4.7
ANALYSE
DER
THERMOLYSEPRODUKTE
63
4.7.1
THERMOLYSEPRODUKTE
DER
TERTIAEREN
POLYCARBONATE
P1,
P2
UND
P7
63
4.7.2
THERMOLYSEPRODUKTE
DER
CYCLOALLYLISCHEN
POLYCARBONATE
P5,
P6
UND
P8
69
4.7.3
THERMOLYSEPRODUKTE
VON
P3
UND
P4
71
4.8
ACIDOLYSE
DER
POLYCARBONATE
76
4.8.1
SAEUREKATALYSIERTER
FRAGMENTIERUNGSMECHANISMUS
76
4.8.2
ACIDOLYSE
DER
POLYCARBONATE
IN
SUBSTANZ
80
5
ALIPHATISCHE
AZOVERBINDUNGEN
ALS
LABILE
STRUKTUREINHEITEN
80
5.1
AZOVERBINDUNGEN
80
5.1.1
AROMATISCHE
AZOVERBINDUNGEN
81
5.1.2
DIALKYLAZOVERBINDUNGEN
82
5.2
AUSWAHL
DER
AZOVERBINDUNG
84
5.3
2,2
'
-AZOBIS(2-METHYLPROPANOL)
UND
AZOBIS(1
-HYDROXYMETHYL)CYCLOHEXAN
85
5.3.1
SYNTHESEROUTE
85
5.3.2
SPEKTROSKOPISCHE
CHARAKTERISIERUNG
87
5.4
ZERFALLSUNTERSUCHUNGEN
AN
2,2
'
-AZOBIS(2-METHYLPROPANOL)
UND
AZOBIS(1
-HYDROXYMETHYL)CYCLOHEXAN
89
5.4.1
THERMOSTABILITAET
89
5.4.2
KINETISCHE
THERMOLYSEUNTERSUCHUNGEN
MITTELS
DSC
91
5.4.3
PHOTOLYSE
DER
AZOALKANE
98
5.4.4
ZUSAMMENFASSUNG
DER
ZERFALLSEIGENSCHAFTEN
101
6
LABILE
COPOLYCARBONATE
MIT
ALIPHATISCHEN
AZOFUNKTIONEN
102
6.1
SYNTHESE
VON
BISIMIDAZOLCARBOXYLATEN
DER
AZOALKANOLE
102
6.2
DARSTELLUNG
DER
AZOPOLYCARBONATE
104
6.3
CHARAKTERISIERUNG
DER
AZOPOLYCARBONATE
114
6.3.1
MOLMASSENBESTIMMUNG
114
6.3.2
SPEKTROSKOPISCHE
CHARAKTERISIERUNG
115
6.3.3
GLASUEBERGANGSTEMPERATUREN
UND
SCHMELZPUNKTE
117
6.4
UNTERSUCHUNGEN
ZUM
POLYMERABBAU
123
6.4.1
THERMOLYSE
DER
AZOPOLYCARBONATE
123
6.4.1.1
THERMOLYSE
DER
TERTIAEREN
AZOPOLYCARBONATE
123
6.4.1.2
THERMOLYSE
DER
BENZYLISCHEN
UND
BISALLYLISCHEN
AZOPOLYCARBONATE
126
6.4.1.3
ZUSAMMENFASSENDE
BETRACHTUNG
DER
THERMOSTABILITAET
DER
AZOPOLYCARBONATE
128
6.4.2
IDENTIFIZIERUNG
DER
ABBAUPRODUKTE
129
6.4.3
ACIDOLYSE DER
AZOPOLYCARBONATE
131
6.4.4
PHOTOLYSE
DER
AZOPOLYCARBONATE
133
6.5
ZUSAMMENFASSUNG:
LABILE
AZOPOLYCARBONATE
135
7
LITHOGRAPHISCHE
UNTERSUCHUNGEN
136
7.1
BILDMAESSIGER
POLYMERABBAU
DURCH
DEN
EINSATZ
VON
PHOTOSAEUREN
136
7.2
PHOTOSTRUKTURIERUNG
DER
AZOPOLYCARBONATE
DURCH
UV-BESTRAHLUNG
142
8
ZUSAMMENFASSUNG
144
9
EXPERIMENTELLER
TEIL
149
9.1
VERWENDETE
GERAETE
UND
HILFSMITTEL
149
9.2
CHEMIKALIEN
UND
LOESUNGSMITTEL
149
9.3
SYNTHESEN
150
9.3.1
ALLGEMEINE
ARBEITSTECHNIK
150
9.3.2
SYNTHESEN
DER
BISHYDROXYVERBINDUNGEN
150
9.3.2.1
1,4-BIS(1-HYDROXYETHYL)BENZOL
27
150
9.3.2.2
2,2'-DIMETHYL-2,2
'
-AZODIPROPANSAEUREMETHYLESTER39
151
9.3.2.3
2,2'-AZOBIS(2-METHYLPROPANOL)
36
152
9.3.2.4
AZOBIS(CYLOHEXAN-1,1
'
-DIYL)CARBONSAEUREMETHYLESTER
153
9.3.2.5
AZOBIS(1-HYDROXYMETHYL)CYCLOHEXAN
37
153
9.3.3
SYNTHESEN
DER
AKTIVIERTEN
DICARBONATVORSTUFEN
154
9.3.3.1
2,5-DIMETHYLHEXAN-2,5-BIS(4-NITROPHENYL)DICARBONAT
18
154
9.3.3.2
2-CYCLOHEXEN-1,4-BIS(4-NITROPHENYL)DICARBONAT
23
155
9.3.3.3
2,5-DIMETHYLHEXAN-2,5-DIYL-BIS(1-IMIDAZOLCARBOXYLAT)
17
156
9.3.3.4
2-CYCLOHEXEN-1,4-DIYL-BIS(1-IMIDAZOLCARBOXYLAT)
22
157
9.3.3.5
1,4-DIETHYLBENZOL-1
'
,1
"
-DIYL-BIS(1-IMIDAZOLCARBOXYLAT)
24
157
9.3.3.6
1,4-DIISOPROPYLBENZOL-2
'
,2
'
'
-DIYL-BIS(1-IMIDAZOLCARBOXYLAT)
25
158
9.3.3.7
2,2
'
-DIMETHYL-2,2
'
-AZODIPROPAN-1-YL-BIS(1-IMIDAZOLCARBOXYLAT)
43
159
9.3.3.8
AZOBIS(CYCLOHEXAN-1,1
'
-DIYL)DIMETHYL-BIS(1-IMIDAZOLCARBOXYLAT)
44
160
9.3.4
SYNTHESEN
DER
POLYCARBONATE
161
9.3.4.1
POLYCARBONAT
P1
161
9.3.4.2
POLYCARBONAT
P2
162
9.3.4.3
POLYCARBONAT
P3
162
9.3.4.4
POLYCARBONAT
P4
163
9.3.4.5
POLYCARBONAT
P5
164
9.3.4.6
POLYCARBONAT
P6
164
9.3.4.7
POLYCARBONAT
P7
165
9.3.4.8
POLYCARBONAT
P8
166
9.3.4.9
POLYCARBONAT
P9
166
9.3.4.10
POLYCARBONAT
P10
167
9.3.4.11
POLYCARBONAT
P1
1
168
9.3.4.12
POLYCARBONAT
P1
2
169
9.3.4.13
POLYCARBONAT
P1
3
169
9.3.4.14
POLYCARBONAT
P1
4
170
9.3.4.15
POLYCARBONAT
P15
171
9.3.4.16
POLYCARBONAT
P1
6
171
9.3.4.17
POLYCARBONAT
P1
7
172
9.3.4.18
POLYCARBONAT
P1
8
173
9.4
PHOTOLYSEMESSUNGEN
173
9.5
LITHOGRAPHISCHE
PRUEFUNG
174
10
LITERATURVERZEICHNIS
175
11
ABKUERZUNGS
UND
FORMELVERZEICHNIS
183 |
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