Modelle für Balken und Platten in der Mikromechanik:
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
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Format: | Abschlussarbeit Buch |
Sprache: | German |
Veröffentlicht: |
Dresden
Dresden Univ. Press
1996
|
Ausgabe: | 1. Aufl. |
Schriftenreihe: | Dresdner Beiträge zur Sensorik
1 |
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INHALTSVERZEICHNIS
VORWORT
DES
HERAUSGEBERS
.
IX
VORWORT
.X
ABSTRACT
.
XI
FORMELZEICHEN,
ABKUERZUNGEN
UND
BENENNUNGEN
.
XIII
1
EINLEITUNG
.
1
2
GRUNDLAGEN
.
5
2.1
BALKEN,
MEMBRANEN
UND
PLATTEN
.
5
2.2
MIKROMECHANISCHE
VERFORMUNGSKOERPER
.
10
3
PLATTENRANDBEDINGUNGEN
UND
-EINSPANNUNG
.
15
3.1
EINSPANNUNGSEINFLUESSE
.
15
3.2
ANSATZ
UND
LOESUNGSSTRATEGIE
.
18
3.3
ANALYTISCHE
EINBEZIEHUNG
DER
EINSPANNUNGSNACHGIEBIGKEIT
.
21
3.3.1
KLEINE
AUSLENKUNGEN
.22
3.3.2
GROSSE
AUSLENKUNGEN
.
25
3.4
FINITE-ELEMENTE-MODELLE
UND
SIMULATION
.
25
3.5
SIMULATIONSERGEBNISSE
.
29
3.6
EXPERIMENTE
.
34
3.7
SCHLUSSFOLGERUNGEN
.36
4
TEMPERATUREINFLUSS
AUF
BESCHICHTETE
PLATTEN
UND
BALKEN
.
37
4.1
NUMERISCHES
MODELL
UND
SIMULATION
.
39
4.1.1
SCHICHTEN
AUF
VERFORMUNGSKOERPEM
.
39
4.1.2
FINITE-ELEMENTE-MODELLIERUNG
.
42
4.1.3
FINITE-ELEMENTE-SIMULATION
.43
4.1.4
BESONDERHEITEN
DES
VERWENDETEN
FEM-PROGRAMMES
.
44
4.2
PARAMETRISIERTER
MODELLANSATZ
FUER
DEN
TEMPERAMREINFLUSS
.
46
4.2.1
MODELLANSATZ
.
46
4.2.2
SIMULATIONSPLAN
.
47
4.3
KOEFFIZIENTENBESTIMMUNG
UND
MODELLTEST
.
49
4.3.1
KOEFFIZIENTENBESTIMMUNG
.
49
4.3.2
MODELLEIGENSCHAFTEN
UND
-TEST
.
49
4.4
ANWENDUNGSBEISPIEL:
PIEZORESISTIVER
DRUCKSENSOR
.
50
4.4.1
SENSORAUFBAU
UND
-FUNKTIONSPRINZIP
.
50
4.4.2
SCHICHTWERKSTOFFE
UND
-EINFLUSS
.52
4.4.3
FE-MODELL,
SIMULATION
UND
ERGEBNISSE
.54
4.4.4
PARAMETRISIERTE
MODELLE
FUER
DIE
BESCHICHTETE
DRUCKSENSORPLATTE
.59
4.4.5
VERGLEICH
MIT
MESSWERTEN
AUS
EXPERIMENTELLEN
UNTERSUCHUNGEN
.
63
4.5
ZUSAMMENFASSUNG
UND
SCHLUSSFOLGERUNGEN
.
67
5
FEUCHTEEINFLUSS
AUF
BESCHICHTETE
BALKEN
UND
PLATTEN
.
69
5.1
PHYSIKALISCHE
GRUNDLAGEN
FEUCHTEINDUZIERTER
QUELLPROZESSE
.
70
5.2
ANALYTISCHE
MODELLIERUNG
.
71
5.3
FE-MODELLIERUNG
UND
SIMULATION
.
74
5.3.1
MODELLBILDUNG
.
74
5.3.2
DYNAMISCHE
EFFEKTE
UND
GLEICHZEITIGER
TEMPERATUREINFLUSS
.
75
5.4
ANWENDUNGSBEISPIEL:
POLYIMIDBESCHICHTETE
SENSOREN
.
76
5.4.1
BESTIMMUNG
FEUCHTEABHAENGIGER
MATERIALPARAMETER
FUER
POLYIMID
.77
5.4.2
PIEZORESISTIVE
FEUCHTESENSOREN
.
79
5.4.3
RESONANTER
FEUCHTESENSOR
.86
5.5
ZUSAMMENFASSUNG
UND
SCHLUSSFOLGERUNGEN
.
91
6
PLATTEN
UND
BALKEN
IN
KOMPLEXEN
SENSOR-AKTOR-SYSTEMEN
.
93
6.1
GEKOPPELTE
MIKROSYSTEME
.
94
6.2
MODELLIERUNG
GEKOPPELTER
SYSTEME
.
95
6.3
MODELLIERUNG
UND
SIMULATION
UEBER
LASTVEKTORKOPPLUNG
.
96
6.3.1
HOMOGENES
SYSTEMMODELL
.97
6.3.2
HETEROGENES
SYSTEMMODELL
-
SIMULATORKOPPLUNG
.
98
6.4
BEISPIEL:
PIEZOELEKTRISCHER
RESONANTER
KRAFTSENSOR
.
100
6.4.1
SENSORPRINZIP
UND
-AUFBAU
.
100
6.4.2
HOMOGENES
GESAMTMODELL
.
103
6.4.3
HETEROGENES
SYSTEMMODELL
UEBER
SIMULATORKOPPLUNG
.
107
6.4.4
SIMULATIONEN
.
HO
6.4.5
ERGEBNISSE
.
110
6.5
SCHLUSSFOLGERUNGEN
.
113
7
ZUSAMMENFASSUNG
.115
8
QUELLEN
UND
LITERATURVERZEICHNIS
.
121
ANHANG
.
129 |
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