Modelle für Balken und Platten in der Mikromechanik:
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Thesis Book |
| Language: | German |
| Published: |
Dresden
Dresden Univ. Press
1996
|
| Edition: | 1. Aufl. |
| Series: | Dresdner Beiträge zur Sensorik
1 |
| Subjects: | |
| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
| Physical Description: | 136 S. graph. Darst. |
| ISBN: | 3931828360 |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV010779913 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20220801 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 960528s1996 gw d||| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 947582673 |2 DE-101 | |
| 020 | |a 3931828360 |c kart. : DM 48.00 |9 3-931828-36-0 | ||
| 035 | |a (OCoLC)38593318 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV010779913 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-91G |a DE-92 |a DE-703 |a DE-634 |a DE-11 | ||
| 050 | 0 | |a TK7874 | |
| 084 | |a ZN 3700 |0 (DE-625)157333: |2 rvk | ||
| 084 | |a ZN 4980 |0 (DE-625)157428: |2 rvk | ||
| 084 | |a MAS 990f |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Schroth, Andreas |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Modelle für Balken und Platten in der Mikromechanik |c Andreas Schroth |
| 250 | |a 1. Aufl. | ||
| 264 | 1 | |a Dresden |b Dresden Univ. Press |c 1996 | |
| 300 | |a 136 S. |b graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Dresdner Beiträge zur Sensorik |v 1 | |
| 502 | |b Dissertation |c Universität Dresden |d 1996 |g Titel der Dissertation: Methoden und Modelle zur Beschreibung des Verhaltens balken- und plattenförmiger Verformungskörper der Mikromechanik | ||
| 650 | 4 | |a Mathematisches Modell | |
| 650 | 4 | |a Actuators |x simulation methods | |
| 650 | 4 | |a Detectors |x Simulation methods | |
| 650 | 4 | |a Microelectromechanical systems |x Mathematical models | |
| 650 | 4 | |a Microelectronics |x Mathematical models | |
| 650 | 0 | 7 | |a Modell |0 (DE-588)4039798-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Platte |0 (DE-588)4046304-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Mikromechanik |0 (DE-588)4205811-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Balken |0 (DE-588)4004336-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Mikromechanik |0 (DE-588)4205811-9 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Balken |0 (DE-588)4004336-8 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Modell |0 (DE-588)4039798-1 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Mikromechanik |0 (DE-588)4205811-9 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Platte |0 (DE-588)4046304-7 |D s |
| 689 | 1 | 2 | |a Modell |0 (DE-588)4039798-1 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 830 | 0 | |a Dresdner Beiträge zur Sensorik |v 1 |w (DE-604)BV011109099 |9 1 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007200177&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
Record in the Search Index
| _version_ | 1805067546591756288 |
|---|---|
| adam_text |
INHALTSVERZEICHNIS
VORWORT
DES
HERAUSGEBERS
.
IX
VORWORT
.X
ABSTRACT
.
XI
FORMELZEICHEN,
ABKUERZUNGEN
UND
BENENNUNGEN
.
XIII
1
EINLEITUNG
.
1
2
GRUNDLAGEN
.
5
2.1
BALKEN,
MEMBRANEN
UND
PLATTEN
.
5
2.2
MIKROMECHANISCHE
VERFORMUNGSKOERPER
.
10
3
PLATTENRANDBEDINGUNGEN
UND
-EINSPANNUNG
.
15
3.1
EINSPANNUNGSEINFLUESSE
.
15
3.2
ANSATZ
UND
LOESUNGSSTRATEGIE
.
18
3.3
ANALYTISCHE
EINBEZIEHUNG
DER
EINSPANNUNGSNACHGIEBIGKEIT
.
21
3.3.1
KLEINE
AUSLENKUNGEN
.22
3.3.2
GROSSE
AUSLENKUNGEN
.
25
3.4
FINITE-ELEMENTE-MODELLE
UND
SIMULATION
.
25
3.5
SIMULATIONSERGEBNISSE
.
29
3.6
EXPERIMENTE
.
34
3.7
SCHLUSSFOLGERUNGEN
.36
4
TEMPERATUREINFLUSS
AUF
BESCHICHTETE
PLATTEN
UND
BALKEN
.
37
4.1
NUMERISCHES
MODELL
UND
SIMULATION
.
39
4.1.1
SCHICHTEN
AUF
VERFORMUNGSKOERPEM
.
39
4.1.2
FINITE-ELEMENTE-MODELLIERUNG
.
42
4.1.3
FINITE-ELEMENTE-SIMULATION
.43
4.1.4
BESONDERHEITEN
DES
VERWENDETEN
FEM-PROGRAMMES
.
44
4.2
PARAMETRISIERTER
MODELLANSATZ
FUER
DEN
TEMPERAMREINFLUSS
.
46
4.2.1
MODELLANSATZ
.
46
4.2.2
SIMULATIONSPLAN
.
47
4.3
KOEFFIZIENTENBESTIMMUNG
UND
MODELLTEST
.
49
4.3.1
KOEFFIZIENTENBESTIMMUNG
.
49
4.3.2
MODELLEIGENSCHAFTEN
UND
-TEST
.
49
4.4
ANWENDUNGSBEISPIEL:
PIEZORESISTIVER
DRUCKSENSOR
.
50
4.4.1
SENSORAUFBAU
UND
-FUNKTIONSPRINZIP
.
50
4.4.2
SCHICHTWERKSTOFFE
UND
-EINFLUSS
.52
4.4.3
FE-MODELL,
SIMULATION
UND
ERGEBNISSE
.54
4.4.4
PARAMETRISIERTE
MODELLE
FUER
DIE
BESCHICHTETE
DRUCKSENSORPLATTE
.59
4.4.5
VERGLEICH
MIT
MESSWERTEN
AUS
EXPERIMENTELLEN
UNTERSUCHUNGEN
.
63
4.5
ZUSAMMENFASSUNG
UND
SCHLUSSFOLGERUNGEN
.
67
5
FEUCHTEEINFLUSS
AUF
BESCHICHTETE
BALKEN
UND
PLATTEN
.
69
5.1
PHYSIKALISCHE
GRUNDLAGEN
FEUCHTEINDUZIERTER
QUELLPROZESSE
.
70
5.2
ANALYTISCHE
MODELLIERUNG
.
71
5.3
FE-MODELLIERUNG
UND
SIMULATION
.
74
5.3.1
MODELLBILDUNG
.
74
5.3.2
DYNAMISCHE
EFFEKTE
UND
GLEICHZEITIGER
TEMPERATUREINFLUSS
.
75
5.4
ANWENDUNGSBEISPIEL:
POLYIMIDBESCHICHTETE
SENSOREN
.
76
5.4.1
BESTIMMUNG
FEUCHTEABHAENGIGER
MATERIALPARAMETER
FUER
POLYIMID
.77
5.4.2
PIEZORESISTIVE
FEUCHTESENSOREN
.
79
5.4.3
RESONANTER
FEUCHTESENSOR
.86
5.5
ZUSAMMENFASSUNG
UND
SCHLUSSFOLGERUNGEN
.
91
6
PLATTEN
UND
BALKEN
IN
KOMPLEXEN
SENSOR-AKTOR-SYSTEMEN
.
93
6.1
GEKOPPELTE
MIKROSYSTEME
.
94
6.2
MODELLIERUNG
GEKOPPELTER
SYSTEME
.
95
6.3
MODELLIERUNG
UND
SIMULATION
UEBER
LASTVEKTORKOPPLUNG
.
96
6.3.1
HOMOGENES
SYSTEMMODELL
.97
6.3.2
HETEROGENES
SYSTEMMODELL
-
SIMULATORKOPPLUNG
.
98
6.4
BEISPIEL:
PIEZOELEKTRISCHER
RESONANTER
KRAFTSENSOR
.
100
6.4.1
SENSORPRINZIP
UND
-AUFBAU
.
100
6.4.2
HOMOGENES
GESAMTMODELL
.
103
6.4.3
HETEROGENES
SYSTEMMODELL
UEBER
SIMULATORKOPPLUNG
.
107
6.4.4
SIMULATIONEN
.
HO
6.4.5
ERGEBNISSE
.
110
6.5
SCHLUSSFOLGERUNGEN
.
113
7
ZUSAMMENFASSUNG
.115
8
QUELLEN
UND
LITERATURVERZEICHNIS
.
121
ANHANG
.
129 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Schroth, Andreas |
| author_facet | Schroth, Andreas |
| author_role | aut |
| author_sort | Schroth, Andreas |
| author_variant | a s as |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV010779913 |
| callnumber-first | T - Technology |
| callnumber-label | TK7874 |
| callnumber-raw | TK7874 |
| callnumber-search | TK7874 |
| callnumber-sort | TK 47874 |
| callnumber-subject | TK - Electrical and Nuclear Engineering |
| classification_rvk | ZN 3700 ZN 4980 |
| classification_tum | MAS 990f |
| ctrlnum | (OCoLC)38593318 (DE-599)BVBBV010779913 |
| discipline | Elektrotechnik / Elektronik / Nachrichtentechnik Maschinenbau |
| edition | 1. Aufl. |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV010779913</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20220801</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">960528s1996 gw d||| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">947582673</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3931828360</subfield><subfield code="c">kart. : DM 48.00</subfield><subfield code="9">3-931828-36-0</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)38593318</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV010779913</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91G</subfield><subfield code="a">DE-92</subfield><subfield code="a">DE-703</subfield><subfield code="a">DE-634</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield></datafield><datafield tag="050" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">TK7874</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZN 3700</subfield><subfield code="0">(DE-625)157333:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZN 4980</subfield><subfield code="0">(DE-625)157428:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">MAS 990f</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Schroth, Andreas</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Modelle für Balken und Platten in der Mikromechanik</subfield><subfield code="c">Andreas Schroth</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">1. Aufl.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Dresden</subfield><subfield code="b">Dresden Univ. Press</subfield><subfield code="c">1996</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">136 S.</subfield><subfield code="b">graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Dresdner Beiträge zur Sensorik</subfield><subfield code="v">1</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">Dissertation</subfield><subfield code="c">Universität Dresden</subfield><subfield code="d">1996</subfield><subfield code="g">Titel der Dissertation: Methoden und Modelle zur Beschreibung des Verhaltens balken- und plattenförmiger Verformungskörper der Mikromechanik</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Mathematisches Modell</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Actuators</subfield><subfield code="x">simulation methods</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Detectors</subfield><subfield code="x">Simulation methods</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Microelectromechanical systems</subfield><subfield code="x">Mathematical models</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Microelectronics</subfield><subfield code="x">Mathematical models</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Modell</subfield><subfield code="0">(DE-588)4039798-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Platte</subfield><subfield code="0">(DE-588)4046304-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikromechanik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4205811-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Balken</subfield><subfield code="0">(DE-588)4004336-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Mikromechanik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4205811-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Balken</subfield><subfield code="0">(DE-588)4004336-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Modell</subfield><subfield code="0">(DE-588)4039798-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Mikromechanik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4205811-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Platte</subfield><subfield code="0">(DE-588)4046304-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Modell</subfield><subfield code="0">(DE-588)4039798-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Dresdner Beiträge zur Sensorik</subfield><subfield code="v">1</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV011109099</subfield><subfield code="9">1</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007200177&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV010779913 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-20T03:35:57Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3931828360 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007200177 |
| oclc_num | 38593318 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91G DE-BY-TUM DE-92 DE-703 DE-634 DE-11 |
| owner_facet | DE-91G DE-BY-TUM DE-92 DE-703 DE-634 DE-11 |
| physical | 136 S. graph. Darst. |
| publishDate | 1996 |
| publishDateSearch | 1996 |
| publishDateSort | 1996 |
| publisher | Dresden Univ. Press |
| record_format | marc |
| series | Dresdner Beiträge zur Sensorik |
| series2 | Dresdner Beiträge zur Sensorik |
| spelling | Schroth, Andreas Verfasser aut Modelle für Balken und Platten in der Mikromechanik Andreas Schroth 1. Aufl. Dresden Dresden Univ. Press 1996 136 S. graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Dresdner Beiträge zur Sensorik 1 Dissertation Universität Dresden 1996 Titel der Dissertation: Methoden und Modelle zur Beschreibung des Verhaltens balken- und plattenförmiger Verformungskörper der Mikromechanik Mathematisches Modell Actuators simulation methods Detectors Simulation methods Microelectromechanical systems Mathematical models Microelectronics Mathematical models Modell (DE-588)4039798-1 gnd rswk-swf Platte (DE-588)4046304-7 gnd rswk-swf Mikromechanik (DE-588)4205811-9 gnd rswk-swf Balken (DE-588)4004336-8 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Mikromechanik (DE-588)4205811-9 s Balken (DE-588)4004336-8 s Modell (DE-588)4039798-1 s DE-604 Platte (DE-588)4046304-7 s Dresdner Beiträge zur Sensorik 1 (DE-604)BV011109099 1 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007200177&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Schroth, Andreas Modelle für Balken und Platten in der Mikromechanik Dresdner Beiträge zur Sensorik Mathematisches Modell Actuators simulation methods Detectors Simulation methods Microelectromechanical systems Mathematical models Microelectronics Mathematical models Modell (DE-588)4039798-1 gnd Platte (DE-588)4046304-7 gnd Mikromechanik (DE-588)4205811-9 gnd Balken (DE-588)4004336-8 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4039798-1 (DE-588)4046304-7 (DE-588)4205811-9 (DE-588)4004336-8 (DE-588)4113937-9 |
| title | Modelle für Balken und Platten in der Mikromechanik |
| title_auth | Modelle für Balken und Platten in der Mikromechanik |
| title_exact_search | Modelle für Balken und Platten in der Mikromechanik |
| title_full | Modelle für Balken und Platten in der Mikromechanik Andreas Schroth |
| title_fullStr | Modelle für Balken und Platten in der Mikromechanik Andreas Schroth |
| title_full_unstemmed | Modelle für Balken und Platten in der Mikromechanik Andreas Schroth |
| title_short | Modelle für Balken und Platten in der Mikromechanik |
| title_sort | modelle fur balken und platten in der mikromechanik |
| topic | Mathematisches Modell Actuators simulation methods Detectors Simulation methods Microelectromechanical systems Mathematical models Microelectronics Mathematical models Modell (DE-588)4039798-1 gnd Platte (DE-588)4046304-7 gnd Mikromechanik (DE-588)4205811-9 gnd Balken (DE-588)4004336-8 gnd |
| topic_facet | Mathematisches Modell Actuators simulation methods Detectors Simulation methods Microelectromechanical systems Mathematical models Microelectronics Mathematical models Modell Platte Mikromechanik Balken Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007200177&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| volume_link | (DE-604)BV011109099 |
| work_keys_str_mv | AT schrothandreas modellefurbalkenundplattenindermikromechanik |