Prozesse zur laserinduzierten Realisierung integrierter Mikrosysteme:
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1995
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INHALT
1.
EINLEITUNG
1
2.
GRUNDLAGEN
LASERINDUZIERTER
STRUKTURIERUNGSPROZESSE
AN
OBERFLAECHEN
4
2.1
ALLGEMEINES
4
2.2
PHOTOLYTISCHE
VERFAHREN
6
2.3
PYROLYTISCHE
VERFAHREN
7
2.4
STRUKTURUEBERTRAGUNG
AUF
DAS
SUBSTRAT
7
2.5
MODELLIERUNG
DER
LASERINDUZIERTEN
TEMPERATURERHOEHUNG
AUF
SUBSTRATEN
10
2.6
LASERINDUZIERTE
LOKALE
CHEMISCHE
REAKTIONEN
12
3.
AUFBAU
DER
LASERDIREKTSCHREIBANLAGE
UND
BESCHREIBUNG
DER
VERWENDETEN
UNTERSUCHUNGSMETHODEN
15
3.1
ALLGEMEINES
15
3.2
AUFBAU
15
3.3
WEITERE
UNTERSUCHUNGSMETHODEN
18
4.
SUBTRAKTIVE
3-D-STRUKTURIERUNG
19
4.1
ALLGEMEINES
19
4.2
LASERINDUZIERTES
AETZEN
VON
TITANOBERFLAECHEN
IN
CHLORGASATMOSPHAERE
20
4.2.1
ABHAENGIGKEIT
DER
AETZTIEFE
VON
DER
LASERLEISTUNG
21
4.2.2
ABHAENGIGKEIT
DER
AETZRATE
VOM
CHLORGASDRUCK
23
4.2.3
ABHAENGIGKEIT
DER
AETZRATE
VON
DER
SCHREIBGESCHWINDIGKEIT
23
5.
ADDITIVE
3-D-STRUKTURIERUNG
27
5.1
ALLGEMEINES
27
5.2
LASERINDUZIERTE
ABSCHEIDUNG
DUENNER
STAEBE
28
5.2.1
ELEKTRISCHE
ISOLATION
33
5.2.2
INFRAROTSPEKTROSKOPISCHE
UNTERSUCHUNG
DES
MATERIALS
35
5.2.3
ROENTGENSTRUKTURANALYSE
35
5.3
DREIDIMENSIONALES
ZWEI-STRAHL-SCHREIBVERFAHREN
37
6.
HILFSPROZESSE
41
6.1
ALLGEMEINES
41
6.2
LASERINDUZIERTE
ABSCHEIDUNG
VON
ALUMINIUM
41
6.3
LASERINDUZIERTE
ABSCHEIDUNG
VON
BINAEREN
LEGIERUNGEN
AUS
EINSTOFF
AUSGANGSVERBINDUNGEN
("SINGLE-SOURCE-PRECURSORS")
43
6.3.1
LCVD
VON
CO/GA
UND
MN/GA-MIKROSTRUKTUREN
44
6.3.2
CHARAKTERISIERUNG
DER
ERHALTENEN
OBERFLAECHENSTRUKTUREN
46
6.4
LASERSCHNEIDEN
VON
SILIZIUMMEMBRANEN
50
6.5
RAEUMLICH
SELEKTIVE
OBERFLAECHENOXIDATION
VON
SILIZIUMMEMBRANEN
53
7.
STATIONAERE
ANWENDUNGEN
56
7.1
ALLGEMEINES
56
7.2
QUADRUPOL-IONENFALLE
FUER
BIOMOLEKUELE
59
7.2.1
AUSARBEITUNG
DER
STRUKTUR
60
7.2.2
ISOLATION
DES
WAFERS
60
7.2.3
AUFBRINGEN
DER
ELEKTRODEN
61
7.2.4
ERGEBNIS
63
7.3
MIKROSTRUKTUREN
ZUR
ZELLSPEICHERUNG
UND
-BEWEGUNG
63
7.3.1
DREIDIMENSIONALE
FELDKAEFIGE
ZUR
ZELLSPEICHERUNG
65
7.3.2
HERSTELLUNG
DES
FELDKAEFIGS
66
7.3.3
ERGEBNIS
70
8.
MIKROMECHANISCHE
ANWENDUNGEN
73
8.1
ALLGEMEINES
73
8.2
AKTOREN
74
8.3
ABSCHEIDUNG
BEWEGLICHER
MIKROSTRUKTUREN
76
8.3.1
MIKROPINZETTE
79
8.3.2
FREIE
BAUTEILE
81
8.3.3
MIKROLINEARMOTOR
82
LITERATURVERZEICHNIS
100
8.4
VERGLEICH
DES
LASERINDUZIERTEN
THERMISCHEN
ANTRIEBSPRINZIPS
UND
DES
DREIDIMENSIONALEN
LASERDIREKTSCHREIBENS
MIT
ANDEREN
METHODEN
DER
MIKROMECHANIK
89
8.5
WEITERE
MIKROMECHANISCHE
ANWENDUNGSMOEGLICHKEITEN
DES
DREIDIMENSIONALEN
LASERDIREKTSCHREIBENS
92
9.
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
95 |
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