Plasmaunterstützte CVD-Abscheidung von Hartstoffschichten unter Verwendung metallorganischer Ausgangsverbindungen:
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Clausthal-Zellerfeld
Papierflieger
1996
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
1
2
KENNTNISSTAND
4
2.1
HARTSTOFFE
4
2.2
CVD-VERFAHREN
8
2.3
PLASMEN
IN
DER
OBERFLAECHENTECHNIK
13
2.3.1
PLASMAERZEUGUNG
13
2.3.2
PLASMA-CVD
17
2.3.2.1
REAKTIONSMECHANISMEN
DES
PACVD-VERFAHRENS
17
2.3.2.2
PLASMA-CVD-ABSCHEIDUNG
DER
HARTSTOFFE
TIC
UND
TIN
18
2.3.3
PLASMAAETZEN
22
2.3.3.1
PHYSIKALISCHES
SPUTTERN
22
2.3.3.2
CHEMISCHES
SPUTTERN
26
2.4
CVD-HARTSTOFFABSCHEIDUNGEN
MIT
METALLORGANISCHEN
VERBINDUNGEN
27
3
EXPERIMENTELLES
30
3.1
ANLAGENBESCHREIBUNG
30
3.2
SUBSTRATWERKSTOFFE
33
3.3
METALLORGANISCHE
VERBINDUNGEN
34
3.4
PROZESSABLAUF
36
3.5
UNTERSUCHUNGSVERFAHREN
ZUR
SCHICHTCHARAKTERISIERUNG
37
4
ERGEBNISSE
45
4.1
EIGNUNG
DER
VERSCHIEDENEN
AUSGANGSSUBSTANZEN
FUER
EINE
PACVD-BESCHICHTUNG
45
4.1.1
ABSCHEIDUNGEN
UNTER
VERWENDUNG
DER
TITANAMIDE
45
4.1.1.1
MORPHOLOGIE
46
4.1.1.2
KRISTALLINITAET
47
4.1.1.3
CHEMISCHE
ZUSAMMENSETZUNG
48
4.1.2
ABSCHEIDUNGEN
UNTER
VERWENDUNG
VON
(CRH^TIFCGHG)
51
4.1.3
ABSCHEIDUNGEN
UNTER
VERWENDUNG
VON
TI(N(SIME
3
)CH
2
CH2(ME3SI)N)2
53
4.1.4
ABSCHEIDUNGEN
UNTER
VERWENDUNG
VON
CPGV
54
4.1.5
ABSCHEIDUNGEN
UNTER
VERWENDUNG
DER
ZIRKONAMIDE
ZR(NMEET)
4
UND
ZR(NET2)
4
54
4.1.5.1
MORPHOLOGIE
55
4.1.5.2
KRISTALLINITAET
55
4.1.5.3
CHEMISCHE
ZUSAMMENSETZUNG
56
4.1.6
ABSCHEIDUNGEN
UNTER
VERWENDUNG
VON
(CPME)
2
ZRME
2
UND
(CPME)
2
HFME
2
58
4.1.6.1
MORPHOLOGIE
58
4.1.6.2
KRISTALLINITAET
59
4.1.6.3
CHEMISCHE
ZUSAMMENSETZUNG
59
4.1.7
ABSCHEIDUNGEN
UNTER
VERWENDUNG
VON
SI(SIME
3
)
4
62
4.2
SCHICHTABSCHEIDUNG
UNTER
VARIATION
DER
BESCHICHTUNGSPARAMETER
63
4.2.1
AUSWAHL
DER
PARAMETER
63
4.2.2
AUSWAHL
DER
VERBINDUNGEN
64
4.2.3
SCHICHTABSCHEIDUNGEN
UNTER
VERWENDUNG
DES
PRECURSORS
CPJV
65
4.2.3.1
ABSCHEIDERATE
67
4.2.3.2
MORPHOLOGIE
DER
SCHICHTEN
68
4.2.3.3
KRISTALLINITAET
68
4.2.3.4
CHEMISCHE
ZUSAMMENSETZUNG
69
4.2.3.5
HAERTE
UND
HAFTFESTIGKEIT
71
4.2.4.
SCHICHTABSCHEIDUNGEN
UNTER
VERWENDUNG
DES
PRECURSORS
ZRFNET^
72
4.2.4.1
ABSCHEIDERATE
73
4.2.4.2
MORPHOLOGIE
DER
SCHICHTEN 74
4.2.4.3
KRISTALLINITAET
74
4.2.4.4
CHEMISCHE
ZUSAMMENSETZUNG 75
4.2.4.5
HAERTE
UND
HAFTFESTIGKEIT
77
4.2.5.
SCHICHTABSCHEIDUNGEN
UNTER
VERWENDUNG
DES
PRECURSORS
SI(SIME3)
4
78
4.2.5.1
ABSCHEIDERATE
79
4.2.5.2
MORPHOLOGIE
DER
SCHICHTEN
80
4.2.5.3
KRISTALLINITAET
80
4.2.5.4
CHEMISCHE
ZUSAMMENSETZUNG
80
4.2.5.5
HAERTE
UND
HAFTFESTIGKEIT
81
5
DISKUSSION
82
5.1
EINFLUSS
DER
AUSGANGSVERBINDUNGEN
AUF
DIE
SCHICHTABSCHEIDUNG
83
5.2
EINFLUSS
DER
REAKTIONSGASE
AUF
DIE
SCHICHTABSCHEIDUNG
90
5.3
EINFLUSS
DER
SUBSTRATTEMPERATUR
AUF
DIE
SCHICHTABSCHEIDUNG
94
5.3.1
ABSCHEIDUNGEN
MIT
CP^
95
5.3.2
ABSCHEIDUNGEN
MIT
ZRFNET^
97
5.3.3
ABSCHEIDUNGEN
MIT
SI(SIME
3
)
4
98
6
ZUSAMMENFASSUNG
101
7
LITERATURVERZEICHNIS
104
BILDTEIL
114-177 |
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