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Berndt, H. (1996). Plasmaunterstützte CVD-Abscheidung von Hartstoffschichten unter Verwendung metallorganischer Ausgangsverbindungen (1. Aufl.). Papierflieger.

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Berndt, Harald. Plasmaunterstützte CVD-Abscheidung Von Hartstoffschichten Unter Verwendung Metallorganischer Ausgangsverbindungen. 1. Aufl. Clausthal-Zellerfeld: Papierflieger, 1996.

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Berndt, Harald. Plasmaunterstützte CVD-Abscheidung Von Hartstoffschichten Unter Verwendung Metallorganischer Ausgangsverbindungen. 1. Aufl. Papierflieger, 1996.