Mikroanalytische Charakterisierung von YBa 2 Cu 3 O 7-delta -Schichten und strukturierten Substraten für SQUID-Magnetometer:
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INHALTSVERZEICHNIS
1
E
INLEITUNG
7
2
H
OCHTEMPERATUR
-
S
UPRALEITUNG
8
2.1
KRISTALLSTRUKTUR
VON
YBA
2
CU
3
O
7
^
8
2.2
EIGENSCHAFTEN
VON
YBA
2
CU
3
O
7
.
6
11
3
JOSEPHSONKONTAKTE
UND
SQUID-M
A
GNETOMETER
12
3.1
DER
JOSEPHSON-KONTAKT
12
3.1.1
RS
J-MODELL
12
3
1.2
VERHALTEN
DER
JOSEPHSON-KONTAKTE
IM
MAGNETFELD
14
3.2
DER
DC-SQUID
14
3.3
MAGNETOMETER
17
4
V
ORAUSSETZUNGEN
FUER
SNS-SQUID-M
AGNETOMETER
20
4.1
SNS-JOSEPHSON-KONTAKTE
20
4.1.1
PROXIMITY-EFFEKT
20
4.1.2
SN-GRENZFLAECHEN
22
4.1.3
TEMPERATURABHAENGIGKEIT
DES
KRITISCHEN
STROMES
22
4.1.4
SUBSTRATMATENALIEN
23
4.1.3
STUFENHERSTELLUNG
IN
MGO-SUBSTRATEN
24
4.
1
.6
SCHICHTABSCHEIDUNG
UND
STRUKTURIERUNG
25
4.2
MEHRLAGENPROZESS
ZUR
HERSTELLUNG
VON
FLUSSTRANSFORMATOREN
25
4.2.1
SCHICHTABSCHEIDUNG
UND
STRUKTURIERUNG
26
5
N
UKLEATION
UND
W
ACHSTUM
DUENNER
S
CHICHTEN
28
5.1
PHAENOMENOLOGISCHE
THEORIE
28
5.2
MOLEKULAR-KINETISCHE
BESCHREIBUNG
DES
WACHSTUMS
30
5.3
WACHSTUM
BEI
DER
ANWESENHEIT
VON
VERSETZUNGEN
31
6
T
HEORETISCHE
G
RUNDLAGEN
DER
U
NTERSUCHUNGSMETHODEN
34
6.1
ANALYTISCHE
RASTERELEKTRONENMIKROSKOPIE
34
6.1.1
LINIENSPEKTRUM
34
6.
1
.2
AUSTRINSTIEFE
UND
LATERALE
AUSDEHNUNG
DER
ROENTGENSTRAHLUNG
36
.
6.
1
.3
NACHWEIS
DER
ROENTGENSTRAHLUNG
38
6
1.4
QUALITATIVE
ROENTGENANALYSE
IN
DOENNEN
SCHICHTEN
40
6.1.5
QUANTITATIVE
ROENTGENANALYSE
IN
DUENNEN
SCHICHTEN
40
6.2
ANALYTISCHE
TRANSMISSIONSEIEKTRONENMIKROSKOPIE
42
6.2
1
AUFBAU
EINES
TRANSMISSIONSMIKROSKOPS
43
6.2.2
BILDENTSTEHUNG
UND
KONTRASTARTEN
43
6.2
3
QUALITATIVE
ROENTGENANALYSE
44
4
6.3
RASTERTUNNELMIKROSKOPIE
45
6.3
L
THEORIE
DES
RASTERTUNNELMIKROSKOPS
45
6
3.2
ANWENDUNG
AUF
MESSUNGEN
49
6.3
3
ABBILDUNGSMODI
50
6.3.4
ABBILDUNG
VON
OBERFLAECHEN
50
6.4
RASTERKRAFTMIKROSKOPIE
52
6.4.1
AUSWIRKUNGEN
VERSCHIEDENER
KRAEFTE
IN
DER
RASTERKRAFTMIKROSKOPIE
53
6.4.2
DETEKTIONSTECHNIKEN
DER
FEDERARMAUSLENKUNG
54
6.4.3
FEDERARMDESIGN
54
6.5
RUTHERFORD-RUECKSTREU
SPEKTROMETRIE
UND
CHANNELING
56
6.5.1
RUTHERFORD-RUECKSTREU
SPEKTROMETRIE
.
56
6.5.2
CHANNELING
58
6.6
SEKUNDAERIONENMASSENSPEKTROSKOPIE
59
6.6.1
MODELLHAFTE
BESCHREIBUNG
DER
LON-OBERFLAECHENWECHSELWIRKUNG
60
6.6.2
SEKUNDAENONENAUSBEUTE
61
6.6.3
NACHWEIS
DER
SEKUNDAENONEN
61
7
B
ESCHREIBUNG
DER
A
BSCHEIDUNGS
-
UND
S
TRUKTURIERUNGSSYSTEME
63
7.1
EIN-TARGET
SPUTTERANLAGE
63
7.2
CO-SPUTTERANLAGE
64
7.3
AETZEN
DURCH
RUECKSPUTTEM
65
7.4
IONENSTRAHLAETZANLAGE
66
7.4.1
STRAHLPROFIL
69
8
B
ESCHREIBUNG
DER
A
NALYSESYSTEME
70
8.1
RASTERELEKTRONENMIKROSKOP
70
8.2
TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOP
70
8.2.1
PROBENPRAEPARATION
71
8.3
RASTERTUNNELMIKROSKOP
73
8.3.1
SCHWINGUNGSISOLATION
74
8.3.2
STM
UNTERSUCHUNGEN
AN
GRAPHIT
75
8.4
RASTERKRAFTMIKROSKOP
76
8.4.
1
FEDERARME
MIT
NADELN
77
8.4.2
ABBILDUNGSFEHLER
IM
AFM
81
8
4.3
AFM
UNTERSUCHUNGEN
AN
GRAPHIT
84
8.5
RUTHERFORD-RUECKSTREU-SPEKTROMETRIE
UND
CHANNELING
84
8.6
SEKUNDAERIONENMASSENSPEKTROSKOPIE
84
9
S
UBSTRATCHARAKTERISIERUNG
85
9.1
MGO-,
SRTIOJ
UND
LAALOJ-SUBSTRATE
85
9.2
SPUTTERGEAETZTE
MGO-SUBSTRATE
87
9
2
1
ERSTER
NASSCHEMISCHER
AETZPROZESS
91
5
9.2.2
SPUTTERAETZUNG
93
9.2.3
ZWEITER
NASSCHEMISCHER
AETZPROZESS
94
9.2.4
REGENERIERUNG
95
9
2.5
ZUSAMMENFASSUNG
DER
SPUTTERAETZUNG
96
9.3
LONENSTRAHLGEAETZTE
MGO-SUBSTRATE
96
9.3.1
PHOTOLITHOGRAPHIE
97
9.3.2
EINFLUSS
DER
SUBSTRATKUEHLUNG
97
9.3
3
WINKELABHAENGIGKEIT
DER
AETZRATE
100
9.3.4
EINFLUSS
DER
BESCHLEUNIGUNGSSPANNUNG
101
9.4
BEWERTUNG
DER
ERGEBNISSE
107
10
S
CHICHTHERSTELLUNG
110
10.1
SQUIDS
HO
10.2
MEHRLAGENPROZESS
111
10.2.1
YBA,CU,O
7
.
6
-SCHICHTEN
1
11
10.2.2
ISOLATIONSSCHICHTEN
112
10.2.3
GROSSFLAECHIGE
ABSCHEIDUNG
113
11
S
CHICHTCHARAKTERISIERUNG
114
11.1
STOECHIOMETRIE
114
LL.L.L
YBA,CU,O,.
S
114
1
1.1.2
SRTIOJ
122
1
1
.2
STRUKTURBESTIMMUNG
122
11.2.1
YBA.CUJO,^
122
11.3
WACHSTUM
DER
VBAIC^C^-SCHICHTEN
124
1
1.4
MORPHOLOGIE
130
114.1
YBA
:
CU,O
7
.
AE
-SCHICHT
1
30
1
1
.4.2
AG-SCHICHT
143
11.5
AUSSCHEIDUNGEN
UND
STRUKTURDEFEKTE
143
11.6
ZUSAMMENFASSUNG
UND
BEWERTUNG
DER
ERGEBNISSE
147
12
C
HARAKTERISIERUNG
VON
SNS-S
TUFEN
-SQUID
S
150
1
2.1
YBA
7
CU
3
O
7
.
5
-WACHSTUM
AN
SPUTTERGEAETZTEN
MGO-STUFEN
150
12.2
YBA
2
CU
3
O
7
^-WACHSTUM
AN
IONENSTRAHLGEAETZTEN
MGO-STUFEN
152
12.3
YBA
2
CU
3
O
7
.
S
/AG-GRENZFLAECHE
156
12.4
DISKUSSION
UND
VERGLEICH
MIT
DER
LITERATUR
159
13
C
HARAKTERISIERUNG
VON
M
EHRLAGENSYSTEMEN
164
13.1
MGO
ALS
ZWISCHENSCHICHTMATERIAL
164
13.2
SRTIO
3
ALS
ZWISCHENSCHICHTMATERIAL
165
13.3
PROZESSSCHRITTE
FUER
DIE
HERSTELLUNG
VON
FLUSSTRANSFORMATOREN
166
13.4
FLACHE
STUFEN
166
6
13.5
FLUSSTRANSTBRMATOR
13.6
ZUSAMMENFASSUNG
UND
DISKUSSION
DER
ERGEBNISSE
170
172
14
Z
USAMMENFASSUNG
UND
A
USBLICK
174
15
L
ITERATURVERZEICHNIS
178 |
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| spelling | Meyer, Bernd Verfasser aut Mikroanalytische Charakterisierung von YBa 2 Cu 3 O 7-delta -Schichten und strukturierten Substraten für SQUID-Magnetometer von Bernd Meyer 1996 192 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Hamburg-Harburg, Techn. Univ., Diss., 1996 Quanteninterferometer (DE-588)4047987-0 gnd rswk-swf Cuprate (DE-588)4148399-6 gnd rswk-swf Bariumverbindungen (DE-588)4254994-2 gnd rswk-swf Mikroanalyse (DE-588)4169804-6 gnd rswk-swf Hochtemperatursupraleiter (DE-588)4220922-5 gnd rswk-swf Yttriumverbindungen (DE-588)4298749-0 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Yttriumverbindungen (DE-588)4298749-0 s Bariumverbindungen (DE-588)4254994-2 s Cuprate (DE-588)4148399-6 s Hochtemperatursupraleiter (DE-588)4220922-5 s Quanteninterferometer (DE-588)4047987-0 s Mikroanalyse (DE-588)4169804-6 s DE-604 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007177240&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
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