Analyse von silicatischen Gläsern und oxidischen Beschichtungen auf Gläsern mit der Sekundärneutralteilchen-Massenspektrometrie:
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Clausthal-Zellerfeld
Papierflieger
1996
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0
ZUSAMMENFASSUNG
.
4
1
EINLEITUNG
.
7
2
LITERATURIIBERSICHT
.
9
2.1
FUNKTIONELLE
SCHICHTEN
AUF
GLAESERN
.
9
2.2
EINSATZ
VON
OBERFLAECHENANALYTISCHEN
VERFAHREN
BEI
DER
CHARAKTERISIERUNG
VON
GLASOBERFLAECHEN
UND
BESCHICHTUNGEN
AUF
GLAESERN
.
13
3
EXPERIMENTELLES
.
18
3.1
DIE
SEKUNDAEMEUTRALTEILCHEN-MASSENSPEKTROMETRIE
(SNMS)
.
18
3.1.1
DIE
ELEKTRONENGAS-SNMS
VERFAHREN
.
19
3.1.2
PROBENPRAEPARATION
UND
GERAETEEINSTELLUNGEN
.
27
3.2
QUANTIFIZIERUNG
DER
SNMS-SIGNALE
.
31
3.2.1
ERMITTLUNG
VON
KONZENTRATIONEN
.
31
3.2.2
TIEFENSKALIERUNG
.
33
3.2.3
AUSWERTUNG
DER
INTENSITAETS-ZEIT-PROFILE
.
36
3.2.4
TEILCHENDICHTE
.
36
3.2.5
ABSOLUTE
NACHWEISEMPFINDLICHKEIT
.
39
3.3
AUSWAHL
DER
PROBEN
.
41
3.3.1
VOLUMENGLASPROBEN
.
41
2
3.3.2
BESCHICHTUNGSSYSTEME
.
41
3.4
HERSTELLUNG
VON
BESCHICHTUNGEN
NACH
DEM
ALKOXID-GEL-PROZESS
.
44
3.4.1
THEORETISCHE
GRUNDLAGEN
ZUR
ALKOXID-GEL-METHODE
.
44
3.4.2
HERSTELLUNG
DER
BESCHICHTUNGEN
.
45
3.4.2.1
SYSTEME
SIO
2
,
SIO
2
-TIO
2
-ZRO
2
,
NA
2
O-SIO
2
-TIO
2
-ZRO
2
,
AL
2
O
3
-SIO
2
-NA
2
O
.
45
3.4.2.2
SYSTEME
SIO
2
-LI
2
O,
SIO
2
-BAO
.
45
3.4.3
EINSTELLUNG
UND
KONTROLLE
DER
SCHICHTDICKE
.
48
3.5
CHARAKTERISIERUNG
DER
SCHICHTEN
BEZUEGLICH
IHRER
QUALITAET
UND
IHRES
GLASIGEN
CHARAKTERS
.
49
3.5.1
LICHTMIKROSKOPISCHE
UNTERSUCHUNGEN
.
49
3.5.2
UNTERSUCHUNGEN
MIT
DEM
ATOMAREN
KRAFTMIKROSKOP
(AFM)
.
49
3.5.3
ROENTGENDIFFRAKTOMETRISCHE
UNTERSUCHUNGEN
.
50
4
ERGEBNISSE
UND
DISKUSSION
.
51
4.1
QUANTIFIZIERBARKEIT
IM
BEREICH
DER
SILICATISCHEN
GLAESER
UND
OXIDISCHEN
BESCHICHTUNGEN
.
51
4.1.1
MOLEKUELEMISSIONEN
.
51
4.1.2
RELATIVE
EMPFINDLICHKEITSFAKTOREN
.
54
4.1.3
ABSOLUTE
NACHWEISEMPFINDLICHKEIT
.
60
4.1.4
BEWERTUNG
DER
ERGEBNISSE
.
61
4.2
QUALITAET
UND GLASIGER
CHARAKTER
DER
BESCHICHTUNGEN
.
65"
4.3
CHARAKTERISIERUNG
DER
BESCHICHTUNGSSYSTEME
MIT
DEM
HOCHFREQUENZ-MODUS
(HFM)
DER
SNMS
.
74
3
4.3.1
ERFASSUNG
VON
WAESSRIGEN
UND
ORGANISCHEN
RESTEN
.
74
4.3.2
SPUTTERRATEN
.
78
'R
4.3.3
INTENSITAETS-ZEIT-UND
KONZENTRATIONS-TIEFENPROFILE
.
90
4.3.3.1
SIO
2
-LI
2
O/KIESELGLAS
UND
SIO
2
-BAO/KIESELGLAS
.
91
4.3.3.2
SIO
2
/FLOATGLAS
UND
SIO
2
-TIO
2
-ZRO
2
/FLOATGLAS
.
98
4.3.3.3
KOMMERZIELL
HERGESTELLTE
BESCHICHTUNGEN
.
104
4.4
VORGAENGE
WAEHREND
DER
TEMPERATURBEHANDLUNG
VON
ALKOXID-GEL-
BESCHICHTUNGEN
.
114
4.4.1
ORGANISCHE
UND
WAESSRIGE
RESTE
.
114
4.4.2
UNTERSUCHUNG
DER
NA-DIFEUESION
MIT
DEM
HFM
.
115
4.4.3
SPUTTERRATEN
.
119
4.4.4
SCHLUSSFOLGERUNGEN
BEZUEGLICH
DER
DIFFUESIONSPROZESSE
.
120
4.5
VERGLEICH
MIT
IM
SEPARATEN
BESCHUSSMODUS
(SBM)
DURCHGEFUEHRTEN
MESSUNGEN
.
124
4.5.1
RELATIVE
EMPFINDLICHKEITSFAKTOREN
.
124
4.5.2
UEBERGANGSBREITEN
.
128
5
ZUSAMMENFASSENDE
DISKUSSION
.
132
6
SYMBOLVERZEICHNIS
.
137
7
ANHANG
.
139
8
LITERATUR
.
142 |
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