Integrierte Sensoren für die Raster-Kraft-Mikroskopie: Entwurf, Charakterisierung und Anwendungen
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Thesis Book |
| Language: | German |
| Published: |
1995
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
| Physical Description: | III, 108 S. Ill., graph. Darst. |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV010678762 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19960701 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 960325s1995 ad|| m||| 00||| gerod | ||
| 016 | 7 | |a 947109994 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)632533281 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV010678762 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-91 |a DE-29T |a DE-355 |a DE-706 |a DE-11 |a DE-188 | ||
| 084 | |a PHY 136d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Linnemann, Reinhard |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Integrierte Sensoren für die Raster-Kraft-Mikroskopie |b Entwurf, Charakterisierung und Anwendungen |c vorgelegt von Reinhard Linnemann |
| 264 | 1 | |c 1995 | |
| 300 | |a III, 108 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Kassel, Univ.-GH, Diss., 1995 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Rasterkraftmikroskop |0 (DE-588)4333578-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Piezoelektrisches Bauelement |0 (DE-588)4174671-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Rasterkraftmikroskop |0 (DE-588)4333578-0 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Piezoelektrisches Bauelement |0 (DE-588)4174671-5 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007127055&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007127055 | |
Record in the Search Index
| _version_ | 1807320682912022528 |
|---|---|
| adam_text |
INHALTSVERZEICHNIS
EINLEITUNG
1
AUFGABENSTELLUNG
3
1
PRINZIP
DER
RASTER-SONDEN-MIKROSKOPIE
5
1.1
UNTERSUCHUNGSMETHODEN
DER
RASTER-KRAFT-MIKROSKOPIE
.
5
1.2
MESSMODI
IN
DER
RASTER-KRAFT-MIKROSKOPIE
.
7
1.3
MESSUNG
DER
KRAFT-WECHSELWIRKUNG
.
8
1.3.1
OPTISCHE
DETEKTIONSMETHODEN
.
8
1.3.2
ELEKTRISCHE
DETEKTIONSMETHODEN
.
9
1.3.3 INTEGRIERTE
OPTISCHE
DETEKTIONSMETHODEN
.
10
1.3.4 INTEGRIERTE
ELEKTRISCHE
DETEKTIONSMETHODEN
.
10
1.4
GERAETETECHNISCHE
GRUNDLAGEN
.
11
TEIL
A
:
MODELLIERUNG
UND
CHARAKTERISIERUNG
13
2
UEBERTRAGUNGSVERHALTEN
DES
EINFACHEN
INTEGRIERTEN
PIEZORESISTIVEN
SENSORS
13
2.1
MECHANISCHE
EIGENSCHAFTEN
DES
CANTILEVERS
.
13
2.2
ELEKTRISCHE
EIGENSCHAFTEN
DES
CANTILEVERS
.
14
2.3
PRINZIP
UND
AUFBAU
DES
RKM-SENSORS
.
16
2.4
DISKUSSION
.
19
2.5
SENSOREIGENSCHAFTEN
.
21
3
OPTIMIERUNG
DER
KRAFT
UND
WEGEMPFINDLICHKEIT
DES
INTEGRIERTEN
CANTILEVERS
22
3.1
OPTIMIERUNG
DURCH
AENDERUNG
DER
CANTILEVERDIMENSIONEN
.
22
3.2
OPTIMIERUNG
DURCH
AENDERUNG
DER
CANTILEVERGEOMETRIE
.
24
3.2.1
PRINZIP
DER
FINITE-ELEMENTE-METHODE
(FEM)
.
24
3.2.2
ERGEBNISSE
DER
FEM-SIMULATIONEN
.
25
4
OPTIMIERUNG
DER
SENSORGEOMETRIE
ZUR
TORSIONS
UND
LATERALKRAFTMESSUNG
29
4.1
MESSUNG
DER
TORSION
UND
DER
LATERALEN
KRAFT
.
29
4.2
DER
DIFFERENTIELLE
PIEZORESISTIVE
RKM-SENSOR
.
31
4.2.1
MECHANISCHES
VERHALTEN
DES
DIFFERENTIELLEN
CANTILEVERS
.
33
4.3
ANDERE
VERFAHREN
ZUR
MESSUNG
LATERALER
KRAEFTE
.
36
4.4
VERGLEICH
UND
DISKUSSION
.
37
II
INHALTSVERZEICHNIS
5
CHARAKTERISIERUNG
DER
PIEZORESISTIVEN
CANTILEVER
39
5.1
EXPERIMENTELLE
UNTERSUCHUNG
DER
EMPFINDLICHKEIT
.
39
5.1.1
EMPFINDLICHKEIT
IM
STATISCHEN
MESSBETRIEB
.
40
5.1.2
EMPFINDLICHKEIT
DES
DYNAMISCHEN
MESSBETRIEBS
.
42
5.1.3
TEMPERATUREINFLUSS
.
45
5.2
SIGNAL-RAUSCH-VERHALTEN
DER
DETEKTIONSMETHODE
.
51
5.2.1
MECHANISCHES
RAUSCHEN
.
51
5.2.2
ELEKTRISCHES
RAUSCHEN
.
52
5.2.3
GESAMTRAUSCHEN
.
53
5.3
VERGLEICH
MIT
ANDEREN
DETEKTIONSMETHODEN
.
54
TEIL
B
:
ANWENDUNGEN
57
6
EINSATZ
DER
SENSOREN
ZUR
TOPOGRAPHISCHEN
ABBILDUNG
VON
OBERFLAECHEN
57
6.1
KRAFTWECHSELWIRKUNGEN
ZWISCHEN
SPITZE
UND
PROBE
.
57
6.2
UNTERSUCHUNGEN
VON
OBERFLAECHEN
IM
STATISCHEN
MODUS
.
58
6.2.1
MESSARTEFAKTE
DURCH
DIE
RASTEREINHEIT
.
59
6.2.2
MESSARTEFAKTE
DURCH
DIE
SPITZE
.
61
6.3
TOPOGRAPHISCHE
ABBILDUNG
IM
DYNAMISCHEN
MODUS
.
65
6.3.1
EINSTELLUNG
DES
OPTIMALEN
ARBEITSPUNKTES
IM
DYNAMISCHEN
MODUS
.
66
6.3.2
MESSUNGEN
IM
DYNAMISCHEN
MODUS
.
67
6.4
RAUHIGKEITSMESSUNGEN
MIT
DEM
RKM
.
69
7
TRIBOLOGISCHE
UNTERSUCHUNGEN
MIT
DEM
RKM
72
7.1
DIE
KRAFT-ABSTANDSKURVE
.
72
7.2
EXPERIMENTELLE
TRIBOLOGISCHE
UNTERSUCHUNGEN
.
76
7.2.1
WIRKUNG
VON
VAN
DER
WAALS-KRAEFTEN
.
77
7.2.2
ELASTISCHE
UND
PLASTISCHE
OBERFLAECHENEIGENSCHAFTEN
.
79
7.2.3
ADHAESION
.
86
7.3
ZUSAMMENFASSUNG
.
87
8
REIBUNGSKRAFTMIKROSKOPIE
88
8.1
MODELL
DES
REIBUNGSMECHANISMUS
.
88
8.2
TOPOGRAPHIE
UND
MATERIALEFFEKTE
IN
DER
FFM
.
.
.
.
90
8.2.1
TOPOGRAPHIEEINFLUSS
.
92
8.2.2
MATERIALEINFLUSS
.
93
8.2
3
TOPOGRAPHIE
UND
MATERIALEINFLUESSE
.
95
8.3
HAFT
UND
GLEITREIBUNG
IN
DER
FFM
.
96
8.4
ZUSAMMENFASSUNG
.
99
9
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
100
LISTE
BEREITS
VEROEFFENTLICHTER
TEILE
DER
DISSERTATION
109
DANKSAGUNG
110
INHALTSVERZEICHNIS
III
LEBENSLAUF
111
ERKLAERUNG
112 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Linnemann, Reinhard |
| author_facet | Linnemann, Reinhard |
| author_role | aut |
| author_sort | Linnemann, Reinhard |
| author_variant | r l rl |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV010678762 |
| classification_tum | PHY 136d |
| ctrlnum | (OCoLC)632533281 (DE-599)BVBBV010678762 |
| discipline | Physik |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV010678762</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19960701</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">960325s1995 ad|| m||| 00||| gerod</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">947109994</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)632533281</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV010678762</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-706</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield><subfield code="a">DE-188</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 136d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Linnemann, Reinhard</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Integrierte Sensoren für die Raster-Kraft-Mikroskopie</subfield><subfield code="b">Entwurf, Charakterisierung und Anwendungen</subfield><subfield code="c">vorgelegt von Reinhard Linnemann</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1995</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">III, 108 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Kassel, Univ.-GH, Diss., 1995</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Rasterkraftmikroskop</subfield><subfield code="0">(DE-588)4333578-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Piezoelektrisches Bauelement</subfield><subfield code="0">(DE-588)4174671-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Rasterkraftmikroskop</subfield><subfield code="0">(DE-588)4333578-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Piezoelektrisches Bauelement</subfield><subfield code="0">(DE-588)4174671-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007127055&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007127055</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV010678762 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-08-14T00:28:35Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007127055 |
| oclc_num | 632533281 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-29T DE-355 DE-BY-UBR DE-706 DE-11 DE-188 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-29T DE-355 DE-BY-UBR DE-706 DE-11 DE-188 |
| physical | III, 108 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1995 |
| publishDateSearch | 1995 |
| publishDateSort | 1995 |
| record_format | marc |
| spelling | Linnemann, Reinhard Verfasser aut Integrierte Sensoren für die Raster-Kraft-Mikroskopie Entwurf, Charakterisierung und Anwendungen vorgelegt von Reinhard Linnemann 1995 III, 108 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Kassel, Univ.-GH, Diss., 1995 Rasterkraftmikroskop (DE-588)4333578-0 gnd rswk-swf Piezoelektrisches Bauelement (DE-588)4174671-5 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Rasterkraftmikroskop (DE-588)4333578-0 s Piezoelektrisches Bauelement (DE-588)4174671-5 s DE-604 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007127055&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Linnemann, Reinhard Integrierte Sensoren für die Raster-Kraft-Mikroskopie Entwurf, Charakterisierung und Anwendungen Rasterkraftmikroskop (DE-588)4333578-0 gnd Piezoelektrisches Bauelement (DE-588)4174671-5 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4333578-0 (DE-588)4174671-5 (DE-588)4113937-9 |
| title | Integrierte Sensoren für die Raster-Kraft-Mikroskopie Entwurf, Charakterisierung und Anwendungen |
| title_auth | Integrierte Sensoren für die Raster-Kraft-Mikroskopie Entwurf, Charakterisierung und Anwendungen |
| title_exact_search | Integrierte Sensoren für die Raster-Kraft-Mikroskopie Entwurf, Charakterisierung und Anwendungen |
| title_full | Integrierte Sensoren für die Raster-Kraft-Mikroskopie Entwurf, Charakterisierung und Anwendungen vorgelegt von Reinhard Linnemann |
| title_fullStr | Integrierte Sensoren für die Raster-Kraft-Mikroskopie Entwurf, Charakterisierung und Anwendungen vorgelegt von Reinhard Linnemann |
| title_full_unstemmed | Integrierte Sensoren für die Raster-Kraft-Mikroskopie Entwurf, Charakterisierung und Anwendungen vorgelegt von Reinhard Linnemann |
| title_short | Integrierte Sensoren für die Raster-Kraft-Mikroskopie |
| title_sort | integrierte sensoren fur die raster kraft mikroskopie entwurf charakterisierung und anwendungen |
| title_sub | Entwurf, Charakterisierung und Anwendungen |
| topic | Rasterkraftmikroskop (DE-588)4333578-0 gnd Piezoelektrisches Bauelement (DE-588)4174671-5 gnd |
| topic_facet | Rasterkraftmikroskop Piezoelektrisches Bauelement Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007127055&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT linnemannreinhard integriertesensorenfurdierasterkraftmikroskopieentwurfcharakterisierungundanwendungen |