Habibi, M. (1995). Ein überlastsicheres, mit Mikromechanik hergestelltes Array von Absolutdrucksensoren und ein Differenzdrucksensor mit optimierter Fertigungsausbeute.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Habibi, Masoud. Ein überlastsicheres, Mit Mikromechanik Hergestelltes Array Von Absolutdrucksensoren Und Ein Differenzdrucksensor Mit Optimierter Fertigungsausbeute. 1995.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Habibi, Masoud. Ein überlastsicheres, Mit Mikromechanik Hergestelltes Array Von Absolutdrucksensoren Und Ein Differenzdrucksensor Mit Optimierter Fertigungsausbeute. 1995.
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