Chemie der Phasengrenze Metall-Polymer: Untersuchungen zur Vorbehandlung und Plasma-unterstützten Metallisierung von Hochleistungspolymeren
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1994
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INHALTSVERZEICHNIS
1 EINLEITUNG_5
1.1 OBERFLAECHEN.5
1.2 AUFGABENSTELLUNG.6
2 WISSENSTAND_*_7
2.1 CHEMIE DER POLYMERE.7
2.1.1 DAS EPOXYDHARZ
.7
2.1.2 DAS POLYIMID.8
2.2 METALLABSCHEIDUNG AUF EPOXIDHARZEN.9
2.2.1 NASSCHEMISCHE MODIFIKATION DES EPOXIDHARZES
.9
2.2.2 WECHSELWIRKUNG METALL - POLYMER.YY.10
2.3 METALLABSCHEIDUNG AUF POLYIMID.1.11
2.3.1 NASSCHEMISCHE MODIFIKATION VON POLYIMID
.12
2.3.2 WECHSELWIRKUNG METALL - POLYIMID.14
2.4 HAFTUNGSMECHANISMEN.17
2.5 PLASMEN.18
2.5.1 GLEICHSTROM- GLIMMENTLADUNG.
.19
2.5.2 MODIFIKATION VON OBERFLAECHEN.28
2.5.3 PLASMA- UNTERSTUETZTE METALLABSCHEIDUNG.30
3
EXPERIMENTELLER TEIL_34
3.1 RASTERKRAFTMIKROSKOPIE.34
3.1.1 KRAEFTE
.34
3.1.2 SFM- AUFBAU.36
3.1.3 AUFNAHME- MODI
. 39
3.1.4 INTERPRETATION DER SFM- BILDER.40
3.1.5 QUANTITATIVE AUSWERTUNG DER SFM-BILDER.41
3.2 ANDERE EXPERIMENTELLE TECHNIKEN.42
3.2.1 RASTERTUNNELMIKROSKOPIE STM.
.42
3.2.2 RASTERELEKTRONENMIKROSKOPIE SEM.
.42
3.2.3 ANALYTISCHE ELEKTRONENMIKROSKOPIE AEM.
.44
3.2.4 ABBILDENDE ELEKTRONENSPEKTROSKOPIE ESI
.47
3.2.5 PHOTOELEKTRONENSPEKTROSKOPIE. 49
3.2.6 INFRAROTSPEKTROSKOPIE
.51
3.2.7 GRAVIMETRIE
.52
3.3 SUBSTRATE.52
3
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
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3.3.1 POLYIMID.
.52
3.3.2 EPOXIDHARZ
.54
3.4 NASSCHEMISCHE PROZESSE.57
3.5 PLASMA- PROZESSE.58
4 ERGEBNISSE_ 60
4.1 QUELLEN VON EPOXIDHARZ. 61
4.1.1 SFM- MESSUNGEN
.61
4.1.2 GRAVIMETRIE
.66
4.2 AETZEN / REDUZIEREN VON EPOXIDHARZ.68
4.2.1 SFM- MESSUNGEN
.70
4.2.2 INFRAROTSPEKTROSKOPIE
.74
4.2.3 ELEKTRONENSPEKTROSKOPIE.77
4.2.4 PHASENGRENZE GLAS/EPOXIDHARZ
.
7
^.79
4.2.5 PHASENGRENZE KUPFER/EPOXIDHARZ.
.81
4.2.6 DISKUSSION DES QUELL- UND AETZPROZESSES
.83
4.2.7 BEISPIEL EINER TECHNISCHEN ANWENDUNG DER SONDENMIKROSKOPIE
.85
4.3 PLASMAAETZEN VON POLYIMID.88
4.3.1 GRAVIMETRIE
.,.89
4.3.2 HOMOGENITAET DES PROZESSES - SFM.96
4.3.3 VARIATION DER HOCHFREQUENZ- LEISTUNG
- SFM.105
4.3.4 VARIATION DER EXPOSITIONSZEIT - SFM.
.108
4.3.5 ELEKTRONENSPEKTROSKOPIE
.111
4.4 PLASMAAETZEN VON EPOXIDHARZ.1
17
4.4.1 RASTERELEKTRONERUHIKROSKOPIE
.117
4.4.2 ELEKTRONENSPEKTROSKOPIE
.118
4.5 PLASMA- UNTERSTUETZTE METALLABSCHEIDUNG.120
4.5.1 STRUKTUR DER SCHICHT
.121
4.5.2 ELEKTRISCHE EIGENSCHAFTEN
.126
4.5.3 CHEMISCHE ZUSAMMENSETZUNG.127
4.5.4 DISKUSSION DER PLASMA- UNTERSTUETZTEN PALLADIUM- ABSCHEIDUNG.
.131
4.5.5 GALVANISCHE METALLABSCHEIDUNG
.131
4.5.6 DISKUSSION DES HAFTUNGS- MECHANISMUS
.141
5 ZUSAMMENFASSUNG_ 144
5.1 ERGEBNISSE DER ARBEIT.144
5.2 WEITERFUEHRENDE ARBEITEN.145
6 LITERATUR_146
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