Entwicklung und Charakterisierung von CMOS-kompatiblen Transducern zur Realisierung von Mikrosystemen aus dem Bereich der Chemo- und Biosensorik:
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Düsseldorf
VDI-Verl.
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| adam_text | Titel: Entwicklung und Charakterisierung von CMOS-kompatiblen Transducern zur Realisierung von Mikrosysteme
Autor: Rospert, Matthias
Jahr: 1995
Inhaltsverzeichnis Inhalt V Häufig verwendete Formelzeichen und Abkürzungen VII 1. Einleitung 1 2. CMOS-Prozeß ais Basistechnologie für Chemo- und Biosensoren 4 3. Hochplanare Interdigitalelektroden für ultradünne gassensitive Schichten 6 3.1 Homogene Halbleiter-Gassensoren 7 3.2 Herstellung hochplanarer Interdigitalelektroden 10 3.3 Besondere Prozeßschritte 15 3.4 Thermische Isolation der Sensorchips 19 3.5 Charakterisierung der Interdigitalelektroden 23 3.6 NO x -Sensor für Anwendungen im Kraftfahrzeug 25 4. Komponenten für Multisensorsysteme zur Messung von Stoffkonzentrationen in Flüssigkeiten 30 4.1 Ultramikroelektrodenarrays für amperometrische Sauerstoffsensoren 30 4.1.1 Amperometrische Elektroden zur Gelöstsauerstoffmessung 32 4.1.2 Die Saueistoffreduktion 36 4.1.3 Transportvorgänge an Mikroelektroden 40 4.1.4 CMOS-kompatibler Herstellungsprozeß für Ultramikroelektrodenarrays 44 4.1.5 Elektronenmikroskopische Charakterisierung 52 4.1.6 Eigenschaften der Ultramikroelektrodenarrays 57 4.1.7 Membranbedeckte Ultramikroelektrodenarrays 67 4.2 pH-sensitive Feldeffekttransistoren 73 4.2.1 Konventionelle pH-Wert-Messung 74 4.2.2 Ionenselektive Feldeffekttransistoren 78 4.2.3 Funktionsmechanismen von ISFETs mit anorganischer Gatebeschichtung 83 V
4.2.4 Modifizierter CMOS-Prozeß für pH-FETs mit S13N4- bzw. Si 3 N 4 -Si0 2 -Gate 87 4.2.5 Kennlinien und Schwellenspannungen der pH-FETs 92 4.2.6 Meßprinzip zur Erfassung der Schwellenspannungsänderungen 94 4.2.7 Charakterisierung der pH-sensitiven Feldeffekttransistoren 96 5. Monolithisch integriertes Multisensorsystem zur Messung von pH, pK + , p0 2 und Temperatur in Flüssigkeiten 101 5.1 Komponenten des monolithisch integrierten Multisensorsystems 102 5.2 Gesamtprozeß zur Herstellung des Sensorsystems 105 5.2.1 Modifizierter CMOS-Prozeß 105 5.2.2 Herstellung einer K + -sensitiven Membran 113 5.3 Ergebnisse 114 6. Zusammenfassung 118 8. Literaturverzeichnis 121 VI
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| topic | Biosensor (DE-588)4193016-2 gnd Integrierte Schaltung (DE-588)4027242-4 gnd Messgrößenumformer (DE-588)4169513-6 gnd Multisensor (DE-588)4257775-5 gnd CMOS (DE-588)4010319-5 gnd Sensorsystem (DE-588)4307964-7 gnd Chemischer Sensor (DE-588)4259288-4 gnd |
| topic_facet | Biosensor Integrierte Schaltung Messgrößenumformer Multisensor CMOS Sensorsystem Chemischer Sensor Hochschulschrift |
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